Устройство для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов на лентоносителе

т 11 т 480144 ОП ИСАН И Еизоьеетения К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(23) ПриоритетОпубликовано 05,08.75. Бюллетень2Дата опубликования описания 16.11.75 Государственньй комит Совета Министров ССС по делам изобретений 53) УДК 621.382(088.8) н аткрытмй) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОНА ЛЕНТОНОСИТЕЛЕ ибо ов Изобретение о роля параметров быть использован ских параметров ров при двустор сов относительно носится к средствам конт- в электронике, Оно может для измерения электричеполупроводниковых прибоннем расположении корпулентоносителя. Известно устройство контроля, содержащее зондовую головку, неподвижно установленную на корпусе, подвижный предметный столик и механизм маркировки, расположенный за пределами устройства. Недостаток этого устройства состоит в том, что при подъеме предметного столика лентоноситель за счет натяжения деформируется, при этом возможно повреждение внутренних выводов полупроводниковых приборов.Рычажный механизм подъема предметного столика усложняет конструкцию, делает устройство неудобным в обслуживании и, кроме того, совмещенное расположение зондовой головки и механизма подъема исключает возможность установки механизма маркировки в корпусе устройства, что приводит к увеличению габаритов.25В предложенном устройстве указанные недостатки устранены благодаря тому, что устройство снабжено П-образным упором, установленным в пазу предметного столика и периодически подпирающим контактные площадки выводов полупроводниковых пр р снизу в момент контактирования.На фиг. 1 показано предложенное устройство, общий вид; на фиг. 2 - расположение П-образного упора относительно лентоносителя с полупроводниковым прибором, разрез по А - А на триг, 1; на фиг. 3 - устройство контактирования с 11-образным упором.Устроиство для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов содержит корпус 1, по направляющим 2 которого от электромагнитного привода 3 перемещается вертикально к позиции измерения держатель зондовой головки 4 с контактными щупами 5, На держателе зондовой головки неподвижно установлен профильный кулачок 6. Предметный столик 7 выполнен с вырубным штампом 8. В столике 7 имеется паз 9 для прохода контролируемого прибора, а перпендикулярно ему в п 10, в котором по шаровым опорам 11 перемещается П-образный упор 12 (фиг. 2), соединенный с рычагом 13 через толкатель 14, взаимодействующий с профильным кулачком 6. Рычаг 13 подпружинен к корпусу посредством пружины 15 (фиг, 3).Для зажима и фиксации лентоносителя в определенном положении на позиции измерения полупроводникового прибора в устройстве используются два механизма зажима.Устройство работает следующим образом.При включении привода перемещения лентоносителя - шагового механизма (на чертежах не показан) полупроводниковый прибор с двусторонним расположением корпуса относительно лентоносителя перемещается по пазу 9 предметного столика 7 к позиции измерения, Одновременно срабатывает электромагнитный привод 3, и держатель зондовой головки 4 по направляющим 2 движется также к позиции измерения. При своем движении держатель зондовой головки 4 профильным кулачком 6 взаимодействует с толкателем 14 рычага 13, и последний, растягивая пружину 15, перемещает по пазу 10 П-образный упор 12, обеспечивая тем самым подпор снизу контактных площадок выводов. После этого происходит контактирование щупов 5 зондовой головки с контактными площадка. ми выводов полупроводникового прибора.После контроля прибора в случае выявления брака по сигналу измерителя механизм маркировки 8 осуществляет вырубку бракованного корпуса, оставляя в целостности лентоноситель. Затем зондовая головка отводится вверх, освобождается толкатель 14 рычага 13, и пружина 15 возвращает П-образный упор 12 в исходное положение, освобождая паз 9 для прохода нового прибора. В случае годности прибора маркировочный механизм 5 не срабатывает. Предмет изобретенияУстройство для измерения электрических 10 параметров полупроводниковых приборов налентоносителе, содержащее корпус, в котором размещен держатель с зондовой головкой, число контактирующих щупов которой соответствует числу выводов прибора, предмет ный столик и механизм маркировки, выполненный в виде вырубного штампа, от ли ч аю щ е е с я тем, что, с целью упрощения устройства и исключения механического повреждения выводов, оно снабжено П-образным 2 Э упором, установленным в пазу предметногостолика на позиции измерения, соединенным с приводом держателя зондовой головки посредством подпружиненного рычага, толка- тель которого взаимодействует с неподвиж ным профильным кулачком, установленнымна держателе зондовой головки,480144 ЧЬг фр оставитель Н. Островская Техред Т. Курилко Корректор Т, Добровольска дактор Т. Орловска ПодписноеССР Заказ 16ЦНИИП Типография, пр. Сапунова. Изд.947Государственного комитета по делам изобретений Москва, Ж, Раушска Тираж 833Совета Министрооткрытийаб., д. 4/5