Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик п 790372(23) П рноритет по делам иэааретеиий и открытий(54) Я ГОЛОВКА ЙЛ ПАРАМЕТРОВ ЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСРОС ХЕМ Изобретение относится к области радиотехники и может быть использованопри контроле. микросхем на неразрезаннойпластине,Известны зондовые головки, содержащие размещенные в диэлектрическом корпусе зонды, в виде. заостренных стержнейс диэлектрическим покрытием, позволяющим уменьшить шаг между зондамиОднако введение диэлектрика междузондами приводит к увеличению паразитных емкостей системы, что значительноухудШает ее электрические параметры,Известны зондовые головки для измерения электрических параметров микросхемсодержащие зонды в виде заостренныхстержней, соединенные экранированным заземленным коаксиальным кабелем с измерительным прибором, позволящие измерятьдинамические параметры микросхем на неразрезанной пластине21,Однако эти зондовые голограниченный частотный диа в области высоких частот из-за наличия значительньпс; межконтактных паразитных емкостей между открытыми зондами.Цель изобретения - расширение частотного предела измерении динамических параметров микросхем.Поставленная цель достигается тем, что в зондовой головке для измерения электрических параметров микросхем, содержащей размещенные в диэлектрическомпусе зонды в виде заостренных стержс диэлектрическим покрытием, соедикор ней ненных экр белем с йз зонд снабж торая разме крытии, сое землена,На фиг,головки; на электрическ Зондовая ческий корп в которых зена схема з зонд для из лов 1 ерения ем. дектрими 2,е заос ттров микросходержит диэндодержателязонды в вид овки имеютпазон измере мик осхе я динамических параме анированным коаксиапь мерительным прибором ен металлической обол щена на диэлектричес динена с экраном кабе72 фпо высокочастотным параметрам. Введение единого критерия оценки приьоров на пластине и в корпусном исполнении позво. ляет выявить брак "годных" полупроводниковых приборов на ранних стадиях технологического процесса. 3 7903 ренных стержней 3 и экранированные коаксиальные кабели 4 для соединения с измерительным прибором 5. Контролируемая пластинарасположена на предметном столике,6.5Центрапьная жила 7 кабеля 4 соединена со стержнем 3 зонда, На поверхность стержня 3 нанесено диэлектрическое покрытие - пленка 8, например фторопластовая, а сам зонд размешен в металпической обо почке 9 ( напри мер. медь, серебро) . Металлическая оболочка 9 зонда соединена с экраном 10 кабепя и заземлена.Зонаовая головка работает следуюшим образом.35Зонды, число которых соответствует числу зондируемых точек прибора, размещают.в зондодержателях зондовой головки. Визуально проводится настройка зондов на контактные площадки пластины и переи мещением предметного столика осушествляется контактирование.Предлагаемая зондовая головка позвопяет наряду с контролем статических параметров проводить предварительные измере-5 ния динамических параметров высокочастотных микросхем на пластине до герметизации их в корпусах, т.е. позволяет свести к единому критерию оценки качества приборов как на пластине, так и в корпусеЗО формула изобретения Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем, содержашая размещенные в диэлектрическом корпусе зонды в виде заостренных стержнейс диэлектрическим покрытием, соединенныхэкранированным коаксиальным кабелем сизмерительным прибором, о т л и ч а -ю ш а я с я тем, что, с целью расширения частотного предела измерения динамических параметров микросхем, каждыйзонд снабжен металлической оболочкой,которая размещена на диэлектрическом покрытии, соединена с экраном кабеля изаземлена.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРй 586577, кл, Н 05 К 1/04, 1975,2, Патент США М 3911.361,кл, 324-158, 1977 (прототип).
СмотретьЗаявка
2689459, 25.11.1978
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7501
САФОНОВ ВАСИЛИЙ СЕМЕНОВИЧ, ВДОВКИН АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01R 12/04, H01R 13/02
Метки: головка, зондовая, микросхем, параметров, электрических
Опубликовано: 23.12.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-790372-zondovaya-golovka-dlya-izmereniya-ehlektricheskikh-parametrov-mikroskhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем</a>
Делительная головка для чертежных приборов
Номер патента: 319177
Опубликовано: 25.05.1976
Автор: Перминов
МПК: B43L 13/02
Метки: головка, делительная, приборов, чертежных
...на ось 6 свободндыш 16 со скосами напус жестко закреплен нс гайкой 18,20 В корпусе имеетсякнопкой 20, вдоль котдве пружины 21 растясцепленные с клином,сом. В кронштейне сде26 шариков 22. Угольник паз для клина 19 ссрого расположеныжения, одним концомв другим - с корпуланы отверстия дляустановлен на оси имеет поворотный угольными линейками и корпус лоскости кронштейна укреп 23) Приоритет -43) Опубликовано 25,05.76.Бюллетень1 Э (53) УДК 744.3(45) Дата опубликования описания 10, 09, 731917736 и прижат к диску 7 винтом 23 с рычагом 24. Вкладыш, скоба и шайбы могут свободно поворачиваться относительно вгулки на 360 о, что позволяет устанавливать положение кнопки 20 в любой удобной зоне.Делительная головка работает следующим...
Фрезерная головка для геофизического прибора
Номер патента: 445744
Опубликовано: 05.10.1974
Автор: Кучеров
МПК: E21B 49/06, G01V 9/00
Метки: геофизического, головка, прибора, фрезерная
...с полуосью 7, на которой нарезаны червячные зубья. Полуось 7 имеетвыступ 8, входящий в паз полуоси 9, Со-осно с червяком 5 в корпусе прибора расположен дисковый тормоз 10, подвижныедиски которого соединены шпицами с валом6, а неподвижные - с корпусом прибора.Пружина сжатия 11 препятствует торможению статора, одним торцом упираясь в корпус прибора, другим через упорный шарикоподшипник -в буртик вала 6, Ротор 12двигателя через муфту 13, конические шестерни 14, 15 и эпицикпические коническиепередачи с шестернями 16, 17 соединенысо шпинделями 18 сферических фрез 19,Опоры шпинделей эксцентрично закрепленыв полуосях 7 и 9 на подшипниках качения.Напряжение на статор электродвигателя по-дается с помощью коппекторных колец...
Контактная измерительная головка для контрольных приборов
Номер патента: 458706
Опубликовано: 30.01.1975
Авторы: Зальцман, Орлов, Писаренко, Ростовцев, Филатов, Хаскин
МПК: G01B 11/02
Метки: головка, измерительная, контактная, контрольных, приборов
...обращен к линейной шкале на табло прибора.Это повышает точность измерения и удобство отсчета,На чертеже изображена принципиальная0 схема предложенной головки.Головка содержит измерительный наконечник 1 передающий механизм 2, первый (ведущий) сектор 3, второй (ведомый) сектор 4,упругую ленту 5 и световод 6. В данном случае передающий механизм 2 показан как рычажный, однако его кинематика может бытьи иной: например, он может быть рычажнозубчатым, зубчатым и другим.Упругая лента 5 1 закреплена своими конца 0 ми на периферии секторов 3 и 4, Сектор нагружен пружиной 7, растягиваюшей ленту 5, накоторой выполнен индекс 8.Усилия пружин 7, 9, 10 подобраны так, чтомомент от пружины 10, приведенный к изме 5 рительному наконечнику, превосходит...
Сканирующая головка для просмотровоизмерительных приборов
Номер патента: 500532
Опубликовано: 25.01.1976
Автор: Михайлов
МПК: G06K 9/13
Метки: головка, приборов, просмотровоизмерительных, сканирующая
...конструк- . ции и исключения влияния,на сбор света ,20 ,вала диска. призма, имеющие отверстий для рвэмния вала двигателя.На чертеже схематически изображкомпоновка элементов сканирующей гСканирующий диск 1 с прорезьюновлен соосно с линзой 3 и призмойкоторых выполнены отверстия 5 и 6прохода вала 7 диска 1, Нв валу 7новлен двигатель 8 и датчик угла пота 9. Призма разделяет сканирующее4на две части, исключает затенение сввалом 7 и раскладывает падающий исвета на четыре части, каждая из кодетектируется фотоумножителями 10 На чертеже показан ход лучей отражения трека 14 и измерительногокрестия 15,стройство работает следующим обра .Прорезь 2 при вращении диска 1 скает изображение, получаемое в плоско- диска 1, и при пересечении...
Делительная головка для чертежных приборов
Номер патента: 962026
Опубликовано: 30.09.1982
Автор: Эпштейн
МПК: B43L 13/02
Метки: головка, делительная, приборов, чертежных
...8. Лимб выполнен в виде диска с карманом, внутренняя поверхность которого контактирует снаружной поверхностью нониуса 9. Нониусв форме конусного сегмента крепится к неподвижному кронштейну 1, При таком расположении лимба и нониуса вращение угольника ничем не ограничивается, и он можетповорачиваться на 360,В центре кронштейна 1 жестко установлена втулка О, на которой свободно размещена шайба 11 и кольцо 12. Кольцо имеет два шлица, куда входят лапки скобы 13.Вертикальное перемещение кольца 12 относительно втулки 10 ограничено стопорнымкольцом 14. Над втулкой 10 на ось 2 свободно посажен вкладыш 15 со скосами наверхнем торце. В корпусе размещены клин16 и кнопка 17, которые взаимодействуютчерез кронштейн 18 с ленточной пружиной 19.К...
Предыдущий патент: Контактное устройство
Следующий патент: Способ монтажа печатной схемы
Случайный патент: Насадка для массообменных центробежных экстракторов