418717

ОПИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспуолик от авт. свидетел ьств а М 2.06,72 ( 1791479/25-28 ависиь Кл, 6 0 Ь 11/30 6 015 9102 Заявлено тением заявки Ы с присое Гасударственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийриоритет531.715.1(088.8 бликовано 05.03.7 юллетець9 Дата опубликования описания 20.08.74 Авторы зобретени. Панов Заявитель МИКРОПРОФИЛОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОТСТУПЛЕНИЙ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОТ ПРАВИЛЪНО ГЕОМЕТРИЧЕСКОЙ ФОРМЫазоца и повышения точ оинтерферометр выполи а в одну из его ветвей сталь псрсмсццой толщи лирусмой по величине р твями, ицтерферометра, ой, например, стекляцць компсцсатор,ция диап ля, микр тивным, ческая д пия рег между в щая соб душный ности контрои двухобъеквведсца оцтпы для создаазцости хода представляюй или возИзобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для контроля качества поверхностей с локальными микронеровностями и для контроля отступлений поверхностей от пра вильной геометрической формы.Известен микропрофилометр МИИ, содержащий однообъективный двухлучевой микроинтерферометр и наблюдательную систему со спектроскопом. 10Условием получения интерференционцых полос на спектре изохроматических полос, как известно, является разность хода 6 между ветвями интерферометра. В приборе МИИна спектре получается всегда пять полос, так как 15 разность хода 6 - величина постоянная и получается за счет утолщения на 5,5 мкм плоско-параллельной пластины в ветви сравнения параллельной пластины в ветви сравнения интерферометра. 20Таким образом, известный микропрофилометр обладает существенным недостатком, заключающимся в том, что постоянное число полос на спектре, с помощью которых происходит измеренис величин дефектов обработки 25 поверхностей, ограничивает область измерения и не дает высокой точности измсрсций в некоторых диапазонах классов чистоты.Предлагаемый микропрофилометр отличас- ся от известного тем, что, с целью расшпрс На чертеже изображена принципиальная оптичсская схема предлагаемого микропрофилометра, Микропрофилометр содержит осветительную систему, двухобъективный микроицтерферометр, имеющий две интерференционцые ветви (рабочую и ветвь сравнения), наблюдательную систему со спектроскопом.Освстптсльцая система состоит из источника света 1, коллектора 2, зеркала 3, апертурной диафрагмы 4. линзы 5, светофильтра 6, полевой диафрагмы 7, зеркала 8, проекционного объектива 9.Коллектор 2 и зеркало 3 проектируют источник света 1 в апертурную диафрагму 4, расположсццую в передней фокальцой плоскости линзы 5. Зеркало 8 и проекционный объектив 9 вмсстс с линзой 5 проектир, ют апсрдцаф 13 агм 4 в плоскость выходного зрачка мцкрообъсктцвов 10 ц 11. Объектив 9 проектирует полсгую диафрагму 7 в бесконечность.Рабочая интерферационная ветвь состоит из испытуемой поверхности 12, микрообъектива 10 оптической детали 13 переменной толщины и светоделительной пластины 14.Ветвь сравнения состоит из поверхности 15 сравнения, микрообъектива 11, плоскопараллельной пластины 16, компенсационных клиньев 17 и светоделительной пластины 14.Наблюдательная ветвь со спектроскопом состоит из объектива 18, призмы 19, зеркала 20, щели 21, окуляра с вынесенным зрачком 22, дифракцио иной решетки 23, светоделительной призмы 24, призмы 25, окуляра 26 с сеткой 27, коллектора 28 и лампы 29.По принципу действия прибор представляет собой двухлучевой микро-интерферометр, обеспечивающий получение полос разного наклона, локализованных в бесконечности, которые с помощью светоделительной пластины 14, объектива 18, призмы 19, зеркала 20 переносятся в плоскость щели 21. В тех местах испытуемой поверхности, где имеются неровности, изменяется разность хода в интер ферирующих пучках, и интерференционные полосы искривляются. По величине исккривления можно измерять величину неровности.Работает предлагаемый микропрофилометр следующим образом.Щель 21 выделяет на испытуемой поверхности узкий участок, профиль которого и рассматривается с помощью спектроскопа. На спектре за спектроскопом появляются изохроматические интерференционные полосы - полосы равного хроматического порядка, искривление которых измеряется с помощью окуляра 26 с сеткой 27, Различные величины неровностей вызывают различные по величине искривления полос. Для повышения точности измерения необходимо иметь возможностьиз.5 менять число полос в поле наблюдения, чтоосуществляется в данном устройстве деталью 13, которая позволяет ввести дополнительную регулируемую разность хода между ветвями интерферометра и получить тем самым опти мальное для данного класса чистоты числоизохроматических полос.В предлагаемом микропрофилометре рольоптической детали переменной толщины выполняют ахроматические клинья, что позволя ет при замене спектроскопа на обычный окуляр и установке клиньев в нулевое положение превратить микропрофилометр в микроинтерферометр для измерения величин шероховатости деталей, толщин пленок и величин де формации.Предмет изобретенияМикропрофилометр для контроля качества 25 и отступлений поверхностей от правильной геометрической формы, содержащий двухлученой микроинтерферометр и наблюдательную систему со спектроскопом, о тл и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения диапазона и 30 повышения точности контроля, микроинтерферометр выполнен двухобъективным, а в одну из его ветвей введена оптическая деталь переменной толщины для создания регулируемой по величине разности хода между ветвями ин терферометра, представляющая собой, например, стеклянный или воздушный компенсатор.418717 Составитель Лобзова Редактор И. Квачадзе Техред Т, Курилко Корректор Л. ЧуркиПодписСССР Заказ 1771/8ЦНИИП ипографня, пр. Сапунова,Изд.551сударственного ко по делам изобр Москва, Ж, Р Тираж 7601 итета Совета Министртений и открытийушская наб., д. 4(5