Измеритель толщины напыляемыхпленок

Номер патента: 412466

Авторы: Зоь, Ни

ZIP архив

Текст

.;.т:СКМО П И С А-"Й".И"Е - 42466ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалкстицеских Республик(51) М, Кл, 6 01 Ь 7/О вки-с присоединением з осударственный комитетСовета Министров СССРпа делам изобретенийи открытий 32) Приоритет 53) УДК 621.317: 531.(54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ ПЛЕНОКИзобретение относится к,конструкциям установок для напыления тонких пленок и может найти применение в радиоэлектронике, например при изготовлении тонкопленочных интегральных схем и полупроводниковых приборов.Известно устройство, описанное в авт. св.348856, для,контроля толщины напыляемых пленок, использующее в качестве датчиков кварцевые резонаторы.Эти датчики,имеют весьма малый ресурс 1 работы, т. е, требуют сравнительно частой замены, увеличение ресурса достигается введением в конструкцию датчика вращающе 1 ося обтюр атора с,регулиру е 1 мой площадью щвли.Однако увеличение ресурса (повышение надежности) при такой конструкции является недостаточным. В даиной конструкции напыление пленки производится по всей площали резонатора, в то время ка,к его активная площадь составляет примерно /з от ее полного значения. Это обстоятельство приводит к излишнему нагреву,резонатора, Кроме того, известная конструкция создает предпосылки для увеличения ошибки измерения вследствие того, что осаждение пленки на кварцевый, резонатор происходит дискретными порциями. Пленка осаждается только в те моменты, кот да щель обтюратора в процессе его вращения открывает кварцевый,резонатор. Поэтому в показаниях прибора не отражается динамика процесса осаждения пленки.Цель предлагаемого изобретения - повышение надежности работы устройства и устра пение факторов, снижающих точность измерения.Для этого в обтюраторе выполнены отверстия, размещенные ло концентрической окружиости с заданными угловыми и,ралиаль ными смещения,ми, а привод его выполненыаговым.Кроме того, в течение полного цикла на;пыления угол поворота обтюратора составляет Зб 0. Это спосособствует устранению вариации 15 чувствительности датчика, а число отверстийв обтюраторе и число дискретных угловых пе,ремещений за олин оборот находятся в,соотношении 1: 2, благодаря чему улучшается компенсация температурной ошибки,20 На фиг. 1,и 2 представлен один,из упрощеннвох вариантов датчика; на фиг. 3 - схема размещения отверстий в лиске обтюратора, равноиерно смещенных по углу и радиусу; на фнг. 4 - схема запыления,резонатора. Из меритель толщины напыляемых пленок содержит корпус 1, первый кварцевый резонатор 2, второй кварцевый резонатор 3, отверстия 4 в псорпусе датчика, обтюратор 5, толкатель 6, электромагнит 7, якорь 8,эле,кт.ро,магнита, ЗО пружину 9 якоря, храновик 10, отверстия 11в обтюраторе, активную поверхность 12 кварца,и пятна 13 пленки.В абтвраторе о датчика выполнены шесть отверстий диаметром 3 им и двенадцать угловых,шагов на полный ооорот.Устройетво работает следующим образом.В исходном состоянии,юварцевый,резонатор 2 закрыт диском обтюратора б, Над активньв участксм второго кварцевого,резонатора 3 находится одно из отверстий обтюратора, через которое на,резонатор 3 осаждается:пленка.Вследствие осаидения;пленки частота кварцевого .резонатора 3, а следовательно, и разностная частота обоих резонаторов начинает изменяться. По достижении разносной частотой некоторого заданного значения извне ритель разностной частоты выдает, команду на электромагнит 7, который,с;помощью яко,ря 8, толкателя 6 и храповика 10 поворачивает обтюратор 5 на ЗО.В результате этого поворота кварцевый резонатор д будет закрыт для напыления, а резонатор 2 откроется для напыления. С этого момента .резонаторы поменяются ролями и пленка будет напыляться на,резонатор 2, З Разностная частота дри эгом будет уменьшаться. По достижении разностной частотой первоначальною, исходного значеняя электро.мапнит 7 вновь .получает сигнал от измерителя разностной частоты и перемещает обтюра О тор 5 еще на 30. В дальнейшем цикл повторяется. После двенадцати переключений .подается команда на прекращение напыления.Предмет,из о бр ет енияИзмеритель толщины напыляемых пленокпо акт. св.348856, отличающийся тем, что, с целью повышения,надежности, в обтюраторе выполнены отверстияразмещенные по 20 концентрической окружности о задаиными угловыми л,радикальными смещениями, а привод его выполнен,шаговым.ектор В. Гутман Заказ 1051/290ЦНИИ Изд,42 осударственного по делам из Москва, Ж, Тираж 760комитета Совета Министров ССбретений и открытийРаушская наб., д, 4/5 писное Тип. Харьк. фил. пред. Патент

Смотреть

Заявка

1719117, 29.11.1971

В. М. Гудков, В. И. Геращенко, С. В. Киселев

и, зо ете, ни

МПК / Метки

МПК: G01B 7/06

Метки: измеритель, напыляемыхпленок, толщины

Опубликовано: 25.01.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-412466-izmeritel-tolshhiny-napylyaemykhplenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Измеритель толщины напыляемыхпленок</a>

Похожие патенты