401914

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельства-Заявлено 14.71.1971 ( 167005/26-25)с присоединением заявки-М, Кл. б 01 п 21/48 Государственный комитет Совета Министров АЗССР оо делам изобретений н открытийоритет ДК 535.8(088.8) Опубликовано 12,Х.1973, БюллетеньДата опубликования описания 18.11.1974 Авторыизобретени Ь. Кацнельсон и Лоба явител СТРО ОЭФФИЦИЕНТОВ ЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОТРАЖЕН ИЯ зобрете ам для е иало мат р мер д делени деталеИзвефицие держа ля исс я коэ й при стны нтов о щие и окол,або ие относится к оптическим приизмерения оптических параметров и может быть применено, паприледования спектрального распреффициентов отражения плоских малых углах падения.устройства для измерения коэфтражения плоских объектов, созмерительцую систему, собранную имационной схеме со светоделиающим ца пропускацце ц отрапо авт лтелем, ржение.Существенным недостатком устройств этого типа является то, что оци не позволяют производить абсолютные измерения. Чтобы определить чувствительность системы, приходится применять эталонный образец, в качестве которого обычно используют плоскую оптическую деталь, покрытую металлической пленкой, коэффициент отражения которой считается известным. Однако параметры таких образцов в определенной степени зависят от условий изготовления. Кроме того, их характеристики со временем меняются. Оба указанных фактора особенно сильно проявляются в УФ-области спектра.Целью изобретения является повышение точности измерения коэффициента отражения при малых углах падения путем сравнения потока, отраженного образцом, с потоком, на него падающим.Сушцость изобретения заключается в том, что в стройство, работающее по автоколлцмационной схеме, вводят оптические элементы; образующие дополнительный канал, по которому световой поток попадает ца приемник, минуя измеряемый образец. При этом в дополнительный канал введены два одинаковых светоделителя, один из которых работает ца пропускацие, а другойца отражение, за счет чего достигается равенство оптических потерь в измерительной системе (без образца) ц дополнительном канале.На фиг. 1 изображена оптическая схема устройства для измерения коэффициента отражения ца двухлучевом спектрофотометре; на фиг. 2 - вариант устройства для измерения по одцолучевой схеме.Устройство (фиг. 1) содержит источник излучения 1 в виде выходной щели монохроматора, фотоэлектрический приемник 2, автоколлимациоцпую измерительную систему, в которую входят светоделцтель 3, исследуемый образец 4 и зеркала 5, б, 7, дополнительный оптический канал, в который входят свето- делители 8, 9 ц зеркала 10, 11, 12, вращаю. щиеся синхронно зеркальные модуляторы 13, 14 и зеркала 15, 16, направляющие попере 401914менно свет либо через измерительную систему, либо через дополнительный канал.Оптически ипараметры светоделителей 8 и 9 аналогичны соответствующим параметрам светоделителя 3, при этом светоделители 3, 8, 9 установлены под одним углом к оптической оси устройства.Свет, направляемый из щели в измерительную систему, падает на светоделитель 3, коэффициенты отражения и пропускания которого приблизительно равны. Отраженный от светоделителя 3 поток падает на исследуемый образец 4. После отражения от него свет проходит сквозь светоделитель 3 и с помощью зеркал 5, 6 и 7 посылается на приемник 2.Поток, направляемый в дополнительный канал, падает на светоделитель 8. Отраженный светоделителем 8, он с помощью зеркал 10, 11, 12 и 16 и модулятора 14 направляется на приемник 2, На пути от зеокала 11 к зеркалу 12 свет проходит через светоделитель 9. Число зеркал, имеющих полное отражение, как в измерительной системе, так и в дополнительном канале одинаково. В обоих случаях луч один раз отражается от светоделителя и один раз проходит через него. Но измерительная система имеет на одно отражение больше за счет отражения на испытуемом образце 4. Сравнение световых потоков показало, что в измерительной системе, содержащей испытуемый образец, зарегистрирована меньшая величина, чем в дополнительном канале, Отношение этих потоков является коэффициентом отражения исследуемого образца 4.Принципиальное отличие предложенного устройства от известных заключается в том, что в дополнительный канал введены два светоделителя, один из которых 8 работает на отражение, а другой 9 - на пропускание. ,Этим полностью компенсируются потери при отражении и прохождении излучения через светоделитель 3, установленный в автоколлимационной измерительной системе. В результате значительно повышается точность изме. рения при нормальном падении луча на образец и углах падения, близких к нулевому,При необходимости можно изменять взаимное расположение зеркал и светоделителей,а также вводить в измерительный и дополнительный каналы фокусирующие элементы,5 Так, устройство для измерения коэффициентов отражения при однолучевой схеме(фиг. 2), кроме источника 1, приемника 2,светоделителей 3; 8, и образца 4, содержитзеркало 12, которое может занимать два раз 10 личных положения,При измерении потока, отраженного от образца, луч от источника 1 падает на зеркало12 и направляется им на светоделитель 3,пройдя сквозь который, луч падает на испы 15 туемый образец 4. После отражения от образца свет снова направляется к светоделителю 3 и отражается им на приемник 2.При измерении потока, падающего на образец, зеркало 12 устанавливается в положе 20 ние, показанное на фиг. 2 пунктиром, В результате луч от источника 1 направляетсяпоследовательно на зеркало 12, светоделитель 8, работающий на отражение, светоделитель 3, работающий на пропускание, и да 25 лее на приемник 2. Элементы 12, 8 и 3 образуют дополнительный оптический канал. Особенностью этого варианта является то, чтосветоделитель 3 используется как в измерительной системе, так и в дополнительном ка 30 нале.Предмет изобретенияУстройство для измерения коэффициентовотражения, содержащее источник излучения,35 фотоприемник, оптические элементы, образующие вместе с исследуемым образцом автоколлимационную измерительную систему сосветоделителем, работающим на пропусканиеи отражение, отличающееся тем, что, с целью40 повышения точности измерений, в него введендополнительный оптический канал, в которомустановлены два светоделителя, один из которых работает на пропускание, другой - наотражение, причем оптические параметры45 обоих светоделителей аналогичны соответствующим параметрам светоделителя измерительной системы и все светоделители расположены под одним и тем же углом к оптической оси устройства,401914 12 оставитель А. Шеломов едактор Т, Орловск Л. Грачев орректор Л, Чуркина Изд, М 9 И Государственн по делам Москва, Ж Тираж 755Совета Министрои открытийнаб., д, 4,5 ипография, пр, Сапунова Заказ 274/8цни о комитетазобретений5, Раушская ПодппсноСССР