Интерферометр для контроля качества оптических

Союз Советских ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свЗаявлено 06.к.1971 тельства-6 011) 9,01644726,25-2 исоединением з вкиКомитет по делам аобретеиий и открытий ари Совете 1 аииаатрав СССРПриор нте Опубликова Дата опубл 21973. Бюллетень14 ДК 531,715.1 (088 писания 19 Х 11.1973 вания Авторыизобретения Пуряе азарева Заявит осковское ордена Ленина и ордена Т высшее техническое училище го Красного ЗнамениЭ. БауманаТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙсатором 4 людательИзобретение относится к области оптического приборостроения и предназначено для контроля оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра.Известен интерферометр для контроля качества оптических деталей, например асферических зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, объектив, создающий точечный источник света, светоделительцый блок в виде плоскопараллельной пластинки, эталонную, рабочую и наблюдательные ветви и компенсатор, установленный в рабочей ветви.В известном интер феро метре эталонный волновой фронт и волновой фронт сравнения создаются с помощью светоделительцого элемента - плоскопараллельной пластинки, к которому предъявляются высокие требования к точности его изготовления и установки в ицтерферометре.Кроме того, эталонный волновой фронт в известном интерферометре создается с помощью специальной оптической детали - сферического или плоского зеркала, установленного в эталонной ветви.Наличие высокочастотного разделительного элемента и эталонной ветви усложняет конструкцию интерферометра.Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что, с целью упрощения его,компецсятор установлен между ооъективом иконтролируемой деталью и выполнен так, чтоцентр кривизны первой вогнутой сферической5 поверхности компенсатора совмещен с заднимфокусом объектива, и лучи, отраженные отэтой поверхности, создают эталонный волновой фронт сравнения. я,чучи, преломленныенлц отраженные при участии всего компенса 0 торя в целом -- эталонный волновой фронт заданной формы; кроме того, с целью контроляменисковых положительных линз, компенсяторвыполнен и виде плосковогнутой линзы, плоская поверхность которой обращена к конгро 15 лпруемой линзе.Ня фиг, 1 изображена принципиальная схема интерферометра; на фнг. 2 - ряоочаяпетвь интерферометра прп контроле мецисконых положительных линз.20 Ицтерферометр содержит монохроматический источник светя 1, например, оптическийквантовый генератор, полупрозрачную пластинку 2, объектив 3, компенсатор 4, экран,);6 - контролируемая деталь, например, линза2) большого диаметра,Рабочая ветвь образована компени контролируемой деталью 6, цабцаяэкраном 5,Работает предлагаемый интерферометр сле 30 дующим образом.Параллельный пучок лучей, идущий из оптического квантового генератора, проходит через полупрозрачную пластинку 2 и направляется к объективу 8, который фокусирует лучи в заднем фокусе Р. После объектива 3 рас положен компенсатор 4, у которого первая поверхность является вогнутой сферической, причем центр кривизны С этой поверхности совмещен с задним фокусом Г объектива 3. Лучи, отраженные от первой поверхности ком пенсатора, создают эталонный сферический волновой фронт сравнения. Преломленные компенсатором лучи после выхода из него также создают эталонный волновой фронт, форма которого определяется параметрами контро лируемой детали. Например, для случая, изображенного на фиг. 1, волновой фронт, выходящий из компенсатора, является асферическим, но после преломления на первой поверхности контролируемой линзы б преобразуется 20 в сферический, совпадающий с теоретической формой второй, выпуклой поверхности линзы б. Поэтому после отражения от нее лучи повторяют свой путь в обратном направлении и интерферируют с лучами, отраженными от 25 первой поверхности компеисатора 4. По возникающей интерференционной картине, которую наблюдают при помощи экрана 5, делают заключение о качестве контролируемой детали.Отличительной особенностью интерферомет ра является устройство и положение компеисатора, с помощью которого одновременно создаются два эталонных волновых фронта: сферический волновой фронт сравнения и рабочий волновой фронт, форма которого определяется 35 параметрами контролируемой детали.К полупрозрачной пластинке 2 и объективу 3 не предъявляются высокие требования, так как через них всегда проходят только совмещенные пучки лучей. Поэтому в предлагае мом интерферометре, в отличие от известных, содержится только одна деталь, к которой предъявляются высокие требования, -- компенсатор.Интерферометр может быть применен для контроля качества вогнутых асферических поверхностей и линз большого диаметра. На фиг. 2 показано взаимное расположение компенсатора 4 в виде плосковогнутой линзы и менисковой линзы б, диаметр которой в несколько раз превышает диаметр компенсатора 4.Предлагаемый интерферометр позволяет с помощью компенсатора малого диаметра получить интерференционную картину одновременно всей контролируемой поверхности, а ие отдельных ее участков, что повышает надеж- НОСТЬ И ТОЧНОСТЬ КОНТРОЛЯ.Предмет изобретения1. Интерферометр для контроля качества оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, обьектив, создающий точечный источник света, рабочую н наблюдательные ветви, и линзовый компенсатор, отличающийся тем, что, с целью упрощения интерферометра, компенсатор установлен между объективом и контролируемой деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической поверхности компенсатора совмещен с задним фокусом обьектива, и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой фронт сравнения, а лучи, преломленные нли отраженные при участии всего компенсатора в целом, -- эталонный волновой фронт заданной формы.2, Интерферометр по и. 1, отличшощийся тем, что, с целью контроля меписковых положительных линз, компенсатор вьшолнен в виде плосковогнутой линзы, плоская поверхность которой обращена к контролируемой линзе,373519 Составитель Лобзова актор Н. Перышкова Техред Т. Курилко Корректоры Л. Царькова и Т, Гревцо