Ионно-сорбционный насос

ЗОО 658 О Л И С А Н И Е ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Соеетских Социалистических РеспуслнкК АВТОРСКОМУ СВИДЕ 3 ЕЯЬС 7 ВУ Зависимое от авт, свидетельстваМПК Г 04 Ь 37 08 Заявлено 18 Х 968 ( 1283421/26-25 ем заявкиисоедине Коките по деламзобретений и открыт иорпт зете Министрое УДК 621,528(008.8) Опуоликовано.17.1971, Бюллетеньа опубликования описания 11.Ъ 111.1971 вторы зобретениВ Е. Иигтайчев, С, И. Мирошкин и Г, П, Быков Заявител ОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС Известны иопно-сорбциоппые насосы с радиальным электростатическим полем, содержащие охлаждаемый корпус (катод), центральный высоковольтный аподный электрод, па котором укреплен геттерный материал, 5 один или несколько источников электронов для их инжекции в пространство между катодом и центральным электродом.Известные насосы имеют корпус с фланцеВыъ Грисоечиеписъ к откаггваемому объе му, поэтому при встраивании их непосредственно в объем вблизи источника газовыделения возникают затруднешя, так как оболочка (катод) должна оьгть копцспт 1 тичпа с анодом с целью создания электростатического поля 15 цилиндрического конденсатора и тщательной экранировки реципиента от распыляемого сорбирующего материала. Корпус насоса и экранировка от запыления уменьшают скорость откачки известных насосов при встраивании 20 их внутрь откачиваемого объема.Цель изобретения является увеличение эффективной скорости откачки насоса.Для этого в предложенном насосе катод выполнен составным в виде охлаждаемых пла стнн, расположенных по окружности со взаимным перекрытием, так что между соседнимп пластинами имеется зазор реципиента от суолпмирующего материала и свободный доступ молекул откачпваемых газов к сорбирую- ЗО щим поверхностям, Благодаря этому обеспечивается экранировка.На фиг. 1 схематично изображен предложенный насос; а фиг. 2 - схема расположения электродов,Насос состоит из корпуса 1 и электродного блока, собранного на отражательной пластине 2. Электродный блок содержит анод 3, укрепленный на высоковольтном изоляторе 4 с помощью эсцентрикового зажима Б и эмиттеров б электронов с токоподводами, Блок электрически изолирован от корпуса керамическими изоляторами 7. Один из токоггодводов 8 является экраном, препятствуюц 1 им прямому попадапио электронов на анод, На аноде укреплены равномерно расположенные по сго длине цилиндры 9 из сорбируощего материала, Внутри корпуса смонтирован также третий электрод-сетка 10, имеющий отдельные токоподводы, благодаря чему он используется в качестве прямонакального нагревателя при обсзгакивапии электродов насоса,Корпус насоса состоит из экранов, которые образуот боковую поверхность цилиндра, выпо;пяопуо роль катода. Такая конструкция катода пе нарушает симметрии радиального электростатического поля, увеличивает производительность насоса при откачивании газов и является одновременно оптически плотной для сублпмпрующего материала, Экранировка300658 У по торцам обеспечивается торцовыми экранами 11 и отражательной пластиной 2. Катод охлаждается средой, подаваемой по трубкам 12, припаянным к отформованным пластинам.Насос крепится в откачиваемом объеме при помощи вакуумно-плотного разъема 13, который одновременно является водяным коллектором системы охлаждения.При работе насоса электроны, ицжектируемые эмиттером в электростатическое поле цилиндрического конденсатора, образованного заземленным катодом и положительным высоковольтным анодом, двигаются по эллиптическим (круговым) орбитам вокруг анода с большой длиной свободного пробега, ионизируют молекулы остаточного газа и, достигая анода, поддерживают температуру сублимации сорбирующего материала за счет электронной бомбардировки. Активные газы непрерывно сорбируются на охлаждаемых стенках корпуса насоса, а инертные газы ионизируются электронами, ускоряются сеткой и замуровываются па катоде свеженапыленной пленкой распыляемого материала. Сетка снижает потенциал мехкэлектродного пространства, и ионы, образовавшиеся внутри анодно-сеточного промежутка, ускоряются и внедряются в катод, в результате чего повы шается скорость откачки по инертным газам. П р ед м ет изобретения 1. Ионно-сорбционный насос, содержащий 10 цилиндрический катод, соосный с цим анод сзапасом сорбирующего материала и источник электронов, отличаощийся тем, что, с целью повышения эффективной скорости откачки насоса, катод выполнен составным в виде ряда 15 пластин, расположенных по окружности совзаимным, перекрытием так, что между каждыми двумя соседними пластинами имеется щелевой зазор, а совокупность пластин образует оптически непрозрачную систему для мо лекулярного потока испаряющегося с анодасорбирующего материала,2. Насос по п. 1, отличаоцийся тем, чтокаждая катодная пластина закреплена ца полой трубке, служащей для охлаждения пляс ТИНЫ.300658 фиг. 3 Составитель Г. ЖуковаТехред Л. Л, Евдоиов Корректор А, П. Васильева Редактор Т, Орловская Заказ 2794 Изд.513 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете,Ыинистров СССР Москва, Ж, Раушская аб., д. 4/5 Загорская типография