Устройство для автоматического совмещения подложки с маской

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 291382,Союз СоветскихСоцивлистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельстваМПК Н 051( 7/12 Заявлено 08.1 Х.1969 ( 1359009/26-9)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 06.1.1971, Бюллетень3Дата опубликования описания 22,11.1971 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 539.23.002.5(088,8) Авторыизобретения Р, А, Гаврилов и Н, М. Богачев Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО СОВМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖКИ С МАСКОЙИзобретение относится к области техвологин радиоэлектронной аппаратуры, в частности к оборудованию, используемому для изготовления многослойных тонкопленочных микросхем,Извесвное устройство для автоматического совмещения подложки с маской обеспечивает их совмещение с необходимой точностью и плотное,прилегание друг к другу.Целью изобретения является упрощение конструкции и повышение точности совмещения подложки с маской,Для этого к нижней плоскости маскодержателя вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые Х-образные пружины, которые другим своим, концом прикреплены к верхней,плоскости плавающей плиты маокодержателя.На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство (до совмещения); на фиг. 2 - то же, после совмещения.Устройство состоит из подложкодержателя и маскодержателя. Подложка 1 укреплена яа корпусе 2 подлогккодержателя с помощью специальных:прижимов и пружин и прилегает к нижней его плоскости:по периметру. Корпус 2,подложкодержателя установлен а гнезде диска 3 транспортирующего устройства и поддерживается в нем с помощью лланок 4 и пружины б. В корпусе 2 имеются конусное отверстие и паз с плоскими наклонными боковыми поверхностями (призматический паз), служащие для фиксации по шаровым поверхностям штифтов маскодержателя.5 Маска б закреплена на плавающей плите 7винтами и контактной сваркой. Плита 7 вывешена в основании 8 с помощью четырех изогнутых тонких пластинчатых Х-образных пружин 9, одна сторона которых укреплена 10 на плите 7, а другая - на основании 8. В основание 8 запрессованы два штифта 10 с шаровыми фиксирующими головками. Штифты служат для фиксации подложкодержателя по конусному отверстию и призматическому па зу. Штифт 11 играет роль третьей опоры иобеспечивает размещение различных подложкодержателей в идентичном положении, Основание 8 установлено в гнезде диска 12 маскодержателей и удерживается в нем с по мощью планок 18 и пружин 14.После транспортировки подложкодержате.ля на требуемую позицию диски 8 и 12 сближаются, и в результате подложкодержатель коническим отверстием и призматическим па зом устанавливается на шаровые головкиштифтов 10, а нижней плоскостью опирается на штифт 11. Основание 8 при этом смещается вниз по вертикали относительно диска маскодержателей, Пружина 14 способствует ЗО созданию требуемого усилия, необходимого3для надежного контактирования фиксирующих отверстий и штифтов, а также компенсации неточностей расположения,подложкои маскодержателей в различных позициях. Плита 7 и пружина 9 выполнены таким образом, что когда подложкодержатель установлен на штифты маскодержателя, подложка 1 оказывается плотно прижатой своей нииней плоскостью к маоке б. Это обеспечи,вается за счет смещения плиты 7 относительно основания 8 вниз по вертикали и деформации пружин 9. Основное назначение,пружин 9 - предотвращение смещения маски б в поджатом к подложке состоянии относительно штифтов 10 в плоскости,контактировапия. Это достигается за счет расположения пружин по сторонам плиты 7, Каждая пара противоположно размещенных пружин про 5 ю 15 тиводействует смещению плиты 7 в направлении оси симметрии, параллельной их большой стороне. Предмет изобретенияУстройство для автоматического совмещения подложки с маской, содержащее подложкодержатель с фиксирующими коническим отверстием и призматическим пазом, маскодержатель с фиксирующими шаровидной формы головками, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности совмещения, подложки с маской, к нижней плоскости маскодержателя вдоль каждой стороны его крепятся пластинчатые 2-образные пружины, которые другим своим концом прикреплены к верхней плоскости плавающей плиты маскодержателя.1 я, пр. Сапунова, 2 ипо 1 зд.132ЦНИИПИ Комите Заказ 240,9 Тирак 473 Подписноео делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5