Микроскоп для контроля качества обработки

271818 ОП И САНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗав ое от авт. свидетельстваЗаявлено 01 ЛЧ.1969 ( 1321172/25-2с присоединением заявкиКл. 42 Ь) 12 02 МПК 6 01 Ь 11130 601 Ь 9/04 УДК 531.717,8.531,715,27 (088,8)Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРПриоритетОпубликовано 26.Ч.1970. Бюллетень1Дата опубликования описания 10.1 Х.1970 Авторыизобрете В, А. Зверев и А. А, Куч ви ИКРОСКОП ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОБРАПОВЕРХНОСТИ И 30 Известен микроскоп для контроля качества обработки поверхности, содержащий источник света, исходный растр, оптическую систему, проецирующую изображение штрихов растра на контролируемую поверхность, и измерительную фотоэлектрическую систему.Предлагаемый микроскоп отличается от известного тем, что в его измерительную систему введено светоделительное устройство, разделяющее ее на две ветви, в одну из которых в плоскость изображения исходного растра помещен растр сравнения, штрихи которого совпадают по фазе с изображением штрихов исходного растра в этой плоскости, а шаги обоих растров равны.Это позволяет автоматизировать процесс контроля.На фиг. 1 изображена принципиальная оптическая схема микроскопа; на фиг. 2 - картина наложения изображения штрихов исходного растра на штрихи растра сравнения (исследуемая поверхность не имеет неровностей); на фиг. 3 - картина наложения изображения штрихов исходного растра на штрихи растра сравнения (исследуемая поверхность имеет ступеньку).Описываемый микроскоп содержит источник света 1, исходный растр 2, оптическую систему 3, проецирующую изображение штрихов растра на контролируемую поверхность 4, и измерительную фотоэлектрическую систему б.В последнюю введено светоделительное устройство б, разделяющее ее на две ветви 7 и 8, в одну из которых в плоскость изображения 5 исходного растра помещен растр сравнения 9,штрихи которого совпадают по фазе с изображением штрихов исходного растра в этой плоскости, а шаги обоих растров равны.Микроскоп работает следующим образом.0 Оптической системой 3 на поверхности 4создается изображение штрихов исходного растра, причем штрихи проектируются на эту поверхность под некоторым углом. В случае отсутствия на поверхности 4 неровностей, 5 штрихи, отразившись от нее без искажения,изображаются в плоскостях а - а и б - б обеих ветвей системы 5.Вследствие равенства шагов исходного растра и растра сравнения, а также изофазного 0 расположения их штрихов (см. фиг, 2), когдаразность фаз каждой пары сопряженных штрихов по всей поверхности растра сравнения одинакова и равна нулю, модулированные световые потоки от обеих ветвей измери тельной системы будут иметь максимальныевеличины и могут быть выравнены. Отношение электрических сигналов в системе б в этот момент становится равным единице.Появление на поверхности 4 неровностей271818 3 изображенных на ней штрихов исходного растра, что, в свою очередь, приводит к изменению фазы их расположения в плоскости изображения б - б (см. фиг. 3). Отношение электрических сигналов в системе 5 становится отличным от единицы, По величине этого отношения системой 5 и вырабатывается автоматически результат контроля. Предмет изобретения Микроскоп для контроля качества обработки поверхности, содержащий источник света,исходный растр, оптическую систему, проецирующую изображение штрихов растра на контролируемую поверхность, и измерительную фотоэлектрическую систему, отличающийся 5 тем, что, с целью автоматизации процессаконтроля, в измерительную систему введено светоделительное устройство, разделяющее ее на две ветви, в одну из которых в плоскость изображения исходного растра помещен 10 растр сравнения, штрихи которого совпадаютпо фазе с изображением штрихов исходного растра в этой плоскости, а шаги обоих растров равны.ааслаа Составитель ЛобзоваТехред Л. В. Куклина Корректор Н. С. Сударенкова Редактор А. Бер Заказ 2397/13 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Пгйражеиял.гаАага Уюааааиеаеас.гИиагл фаслрсааРиеьио Рас глаюаАелю