263011

2630 П О П И С А Н И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства М 111.1968 ( 1264084/26-9) л. 21 а, 7 аявлено с присоединением заявки ч ПриоритетОпубликовано К Н 05 Номитет по делам забрвтений и открыти при Совете Министров СССР621.3,049.7 ;774 (088.8) 04,1.1970. Бюллетень М 7 Дата опубликования описания 8.И.1 Авторы зобретен рюкЯ" Мальто и И очицкий,Заявите ТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕ 1 ЦЕНИ С ПОДЛО)ККОТОШАБЛО К раме 10 на направляющих, выполненныхв виде сдвоенных параллелограммов, состоя щих из плоских пружин 12, планок И - 17,подвешен якорь 18. На якоре 18 укреплено гнездо 19 с шаровым сегментом 20. В отверстие якоря 18 входит выступ рамы 10 с помещенным в нем подвижным плунжером 21.10 Плунжер 21 сферической головки упираетсяв якорь 18, Пневматический стопор 22, проходящий через отверстие в выступе рамы О при включенной камере 11 зажимает плунжер 21.15 В нижней части якоря 18 помещен винт23, на сферическую головку которого опирается плунжер 21, На винте 23 укреплен рычаг- указатель 24. К нижней части якоря 18 прикреплена тарелка 26, которая опирается на 20 пневматическую камеру 9. Плоские пружины12, имеющие две прорези, установленные на раме 10 вместе с планками 13 - 17, тарелкой 26, якорем 18 и гнездом 19, представляют собой шарниры параллелограммов.25 Кинематические звенья параллелограммовимеют одинаковую длину, а жесткость парал лелограммов, образованных средними участ ками 26 пружины 12, равна жесткости двух параллелограммов, образованных крайними 50 участками 27 пружины 12. Пружины 12 не меНастоящее изобретение относится к области технологии производства радиоаппаратуры, а именно к технологии изготовления полупроводниковых приборов.Известны устройства для совмещения рисунка фотошаблона с рисуиком подложки при контактной фотопечати, содержащие неподвижное основание, микроманипулятор и гнездо с шаровым сегментом, на котором раз щена подложка.Однако подобные устройства .не обеспечива. ют достаточно высокой точности совмещения фотошаблона с подложкой.Целью изобретения является повышение точности совмещения шаблона с подложкой.Для этого гнездо устанавливают на якоре, соединенном с рамой при помощи направляющих, выполненных в виде сдвоенных параллелограммов с упругими шарнирами, а внутри якоря размещают плунжер, снабженный стогором.На фиг. 1 изображен общий вид устройства; на фиг. 2 - механизм ориентации.Устройство состоит из неподвижного основания 1, микроманипулятора 2 с укрепленным на нем механизмом ориентации и образования зазора 3, фотошаблона 4, микроскопа 6, блока экспонирования 6 и подложки 7.Механизм ориентации состоит из плиты 8 с пневматической камерой 9 и рамы 10 с прикрепленной к ней пневматической камерой11.263011 фиг / подвижно закреплены серединой участков 27 к выступам 28 рамы 10. Середина участков 2 б пружины 12 прикреплена к якорю 18, тарелке 25 и гнезду 19, Поперечные совмещения, возникающие при работе параллелограммов, взаимно компенсируются, и перемещение гнезда 19 происходит строго прямолинейно.,Полупроводниковая подложка 7 помещается на поверхность шарового сегмента 20 и ориентируется в плоскости параллельно фотошаблону 4 и при помощи пневматической камеры перемещается на направляющих до упора в фотошаблон. Одновременно с перемещением подложки 7 перемещается якорь 18, а при помощи винта 23 перемещается и плунжер 21. После упора подложки 7 в фотошаблон 4 включается камера 11, которая стопором 22 фиксирует плунжер 21. Затем включается камера 9 и под действием пружины 12 гнездо 19 с шаровым сегментом 20 и подложкой 7 опускается до упора якоря 18 в головку плунжера 21. Зазор между голодовкой плунжера 21 и якорем 18 регулируется винтом 23 при помощи рычага-указателя 24. Ввиду того что зазор между головкой плунжера 21 и якорем 18 не зависит от величины хода гнезда 19 вверх, зазор между подложкой 7 и фотошаблоном 4 не зависит от толщины подложки, Б момент упора якоря 18 и винта 28 в плунжер 21 происходит касание поверхности сферы и плоскости, что обеспечивает постоян ную величину опускания подложки 7,и постоянство установки зазора между подложкой 7 и фотошаблоном 4.Вследспвие того что направляющие, выполненные в виде сдвоенных параллелограммов, 10 имеют высокую кинематическую точность идостаточную жесткость в поперечном направ лении при внецентренной нагрузке, при выбирании зазора не происходит смещения подложки относительно фотошаблона.15Предмет изобретенияУстройство для совмещения фотошаблонас подложкой, содержащее неподвижное основание, микроманипулятор и гнездо с шаро вым сегментом, несущим подложку, отличаюиееся тем, что, с целью повышения точности совмещения, гнездо установлено на якоре, соединенном с подпружиненной рамой при помощи направляющих, выполненных в виде 25 сдвоенных параллелограммов, снабженныхупругими шарнирами, а внутри якоря расположен плунжер с пневматическим стопором.263011г 2Составитель Ю, Козлов едактор А. В. Корнеев Техред Л, В. Куклина Корректор Л, И, Гавриловаказ333/11 Тираж 500 Подписное НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская набд, 4/5пография, пр. Сапунова, 2