Ио. -• т-х;: и: с11я; •;: шотк: д

(- ф ="ь 3 а в и с имое от авт. свидетельств а влено ЗО.П 11.196 л. 49 с, 30 О1266358125 с присоединением за и Уе МПК В 2 ио ите Комитет по обретений и ри Совете М СССРист та опубликования о 1 т,вторыизобретения Бараш, С.,130 ГьА СТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИ ЭЛЕМЕНТО Известны устройства для совмещения микроэлементов с перемещаемыми в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметными столиками, соединенными с исполшттельными элементами объемной гидравлической передачей, выполненной на сильфонах.Недостатками таких устройств являются сложные кинематические схемы и малая разрешающая способность.Цель предложенного изобретения - достижение уверенного совмещения с высокой разрешающей способностью и уменьшение трудоемкости изготовления устройства.Для этого в предлагаемом устройстве механизм настройки выполнен в виде поворотной вокруг вертикальной оси колонки, находящейся так же, как и предметный столик под воздействием узлов микронастройки, каждый из которых выполнен в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате теплового расширения.На чертеже показан продольный разрез предложенного устройства и схема подводки вакуума, а также крепление чувствительного элемента, производящего угловые перемещения центрального штока,Устройство содержит поворотную колонку 1, находящуюся в сепараторе, благодаря чему достигается беззазорное соединение и отсутствует биение оси вращения. Колонка при по 2мощи рычага 2 соединена с чувствительць.м элементом 3, и к ее верхней части приклеена 2,тьц резицовая прокладка 4. Колонка может регулироваться по высоте с помощью гайки 5.5 Поворотное основание б свободно стоит наплите 7 и имеет возможность вращательного и поступательного движения в любом направлении. Соприкасающиеся поверхности притерты и смазаны.10 В верхней части основания вклеено резиновое кольцо 8, на которое кладется фотошаблон, фиксируемьш рамкой 9, которая имеет возможность двигаться в направляющих 10 за счет теплового расширения чувствительного 15 элемента 11. Рамка вместе с нагревательнымэлементом закреплена на диске 12, который потеет возможность двигаться по направляю.щим 13, закрепленным на неподвижном диске 14, благодаря тепловому расширению чув20 вительного элемента 15.В колонке приклеена резиновая прокладка1 б, позволяющая свободно двигаться основанию б и в то же время герметцзцрующая поВ.25 жесткое соединение чувствительных элементов с движущимися частями не создает люфтов при движении в обратном направлении, что очень ценно при мцкронастройке, и каждый элемент находится в корпусе, благодаря ЗО чему влияние внешней среды минимально.Предложенное устройство работает следующим образом,На резиновю прокладку 4 кладется пластина с нанесенным рисунком. Затем на резиновое кольцо 8 кладется фотошаблон, фиксируемый рамкой. Для быстрого совмещения рисунка на фотошаблоне с рисунком на пластине основание б вместе с закрепленным на нем фотошаблоном простым движением руки перемещается относительно неподвижной колонки, на которой зафиксирована пластина.Благодаря тепловому расширению чувствительных элементов 11 и 15, которое регулируется при помощи реостатов, производится микронастройка в двух взаимно перпендикулярных напр авлениях. Угловое перемещение при микронастройке осуществляется посредством чувствительного элемента 3, линейное расширенне которого регулируется реостатом, а,при помощи рычага 2 преобразуется в угловое,перемещение колонки относительно фото- шаблона,После совмещения рисунков на фотошаблоне и пластине включается кран, и в полости В создается вакуум. Благодаря деформации резинового кольца8 фотошаблон под действнем атмосферного давления прижимается к пластине и тем самым производится фиксация фотошаблона от носительно пластины. Предмет изобретенияУстройство для совмещения микроэлемен тов, например микроминиатюрных элементоврадиоэлектронных схем, выполненное в виде перемещаемого в двух взаимно перпендикулярных направлениях предметного столика, установленного на поворотном основании, свя занном с механизмом удержания и настройкиположения одного из совмещаемых элементов, отличающееся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности устройства, в нем механизм настройки выполнен в виде поворот ной вокруг вертикальной оси колонки, находящейся, так же как и предметный столик, под воздействием узлов микронастройки, каждый из которых выполнен в виде пластины, изменяющей свои линейные размеры в результате 25 теплового расширения,аказ 13 .1 НИИП 11 Тираж 500Комитета по делам изобретений и открытииМосква, Ж, Раушская наб Типография, пр, Сапунова,Подписи ри Совете Министров ССС