232537

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 232537 Секта Советскиа Социалистические Республикависпмое от авт, свидетельств 42 е, 23/55 1.1967 ( 1182032/18-10) Заявлено 28,т 1с присоединенПриоритет ем заявки М МПК С 01 Комитет ло делам обретений и открыти ри Совете Министров СССРД 1 681.2-53 (088.8) 681.2-55 (088.8) тубликовацза 1969 г,ата опубли 11.Х.1968. Бюллетень М вания описания 8.1 т.1969 Авторизобретения Ю. В, Фундатор Зяявител СТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГА Газ проходит через запорный вентиль 1,стабилизатор 2 давления, настраиваемый поманометру 8, постоянный дроссель 4, измеритель 5 расхода газа, запорный элемент 6 от 5 ссчного устройства аппарата (блок-вентил 1)поп ада 1 ет в горелку 7, стацовле 1111 О В кр 1 сталлизаторе техцолотч 1 ческой установки.Давление газа ца выходе стабилизаторадаьлеция изменяется реверсивным электро 10 двигателем 8, жестко сосзицецным с задятчиком стабилизатора давлсцил.На этот электродвигатель от программногоустройства 9 (генератора импульсов) поступает последовательность импульсов разной15 поллрцости, соответствующая технологическойпрограмме. Последовательность импульсовможет быть в любое время отключена, и управление настройкой стабилизатора давленияза датиком мОжст Осществллться В 1 тучц ю,20 Устройство состоит из двухсопсльного пцсвматического релс 10, пцсвматичсск 011 емкости11, переменного сопротивления 12, пневматического диода 18, ицзикатора И, пневмоэлсктропреобразователл 15, электросскуцдомера25 16, тумблера-псреключателя 17, конечных выключателей 18 и 19, конденсатора 20 и тумблера 21. Совокупность элементов 10, 11, 12 и18 Образует пцевматический ге 1 ератор имПУЛЬСОВ,30 Устройство 1 1,Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для программного изменения расхода газов при регулировании, например, процесса выращивания монокристаллов.Известные устройства, применяемые только при регулировании процесса выращивания монокристаллов, недостаточно точны и цс обеспечивают линейности и постоянной крутизны характеристики перемецноо сопротивления, а также воспроизводимости. Предложенное устройство отличастсл тем, что между стабилизатором давления и измерителем расхода установлен постоянный дросссль с гидравлическим сопротивлением, значительно превышающим коммуникационные сопротивления, а задатчик стабилизатора давления соединен муфтой с реверсивным электродвигателем, подключенным к пневмоэлектропреобразователю, управляемому пневматическим генератором импульсов с регулируемой скважностью импульсов.Это позволяет повысить точность устройства.На фиг. 1 приведена типовая ветвь предложенного устройства, например, при выращи. ванин монокристяллов на установках с мцогосопловыми гязовьп горелкяп; ня фиг.2 - схема программного устройства. тяботет следующим Образо3Частота следования импульсов программы вводится путем изменения величины переменного сопротивления 12. Длительность импульсов определяется вели ищой сопротивления диода 13 и подпора реле 10. Для создания требуемого диапазона частоты следования ц длительности импульсов примецястся емкость 11.Ицдикатор 14 фиксирует поступающую на пневмоэлектропреобразователь 1 о последовательность импульсов. Электросекундомер 16 дает количественную оценку работы генератора импульсов.Управ чяющий сигнал реверса электродвигателя формируется тумблером-переключателем 17 путем поочередного включения конденсатора 20 в одну или другую обмотку электродвигателя.Конечные выключатели 18 и 19 ограничивают перемещение муфты. Для обеспечения ручного управления в наладочных режимах контакты пневмоэлектропреобразователя 15 шунтируются тумблером 21.Расход газа изменяется при изменении заданий стабилизатору давления. При увеличении выходного давления этого стабилизатора расход газа увеличивается, при уменьшении - уменьшается. Время изменения выходных давлений стабилизатора зависит от величины частоты, генерируемой в генераторе импульсов.Перед началом работы снимают или рассчитывают расходную характеристику (давление-расход) каждой ветви многосопловой горелки, характеристику угла поворота электропривода в зависимости от частоты генератора в генераторе импульсов.Стабильность воспроизведения расходнойхарактеристики обеспечивается выбором со 5 противления постоянного дросселя, равногоце менее 95% от общего сопротивления ветвимцогосопловой газовой горелки, и термостабцльностью материала дросселя (термостабильное стекло),10 Зная перечисленные выше характеристикидля каждой ветви многосопловой горелки,можно путем соответствующего изменения частот генераторов, стоящих в программныхустройствах каждой ветви горелки, устано 1 Х вить определенные соотношения расходов различных газов, необходимые для выполнениятехнологической задачи.Предмет изобретения20Устройство для регулирования расхода газов, содержащее измеритель расхода, стабилизатор давления, программное устройство с реверсивным электродвигателем и запорные 25 элементы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, в нем между стабилизатором давления и измерителем расхода установлен постоянный дроссель с гидравлическим сопротивлением, значительно превышающим 30 коммуникационные сопротивления, а задатчикстабилизатора давления соединен муфтой с реверсивным электродвигателем, подключенным к ппевмоэлектропреобразователю, управляемому пневматическим генератором импуль- ЗХ сов с регулируемой скважностью импульсов,Типография, пр. Сапунова,Заказ 427/9 Тираж 427ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовеМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 Подписное Министров СССР