Ста но к-полуавтомат для разделения листовых заготовок полупроводниковых материалов

пр тент( БР с-"вгй-и в ЕТЕНИЯ Сове Совете Социвлиотиче СПИ И 3 О РввпуОлик Б АВТОРСИОМ исимое от авт. свидетельства11011 Кл, 491, 12 49 с, 11/01 Ло 798983/25-8) явлено 17.Х,19 вкис присоединением з Приори МПК В 23 р В 23 с 1 УДК 621,967:621.98,0ламкрытий омитет по эобрвтвний и впри Совете МиСССР Опубликовано 12.Х.1966. БюллетеньДата опубликования описания 13,Х.19 бб атр Авторыизобретения, Х, Набиуллин, Е, М, Герцик и В. П, Шаранов явител АНОК-ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ЛИСТОВЫХАГОТОВОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ 2 авт. св.110111 разделения заготоатериалов на мнолощадью 100 м 2 и съемола и Известен из основногостанок-полуавтомат длявок полупроводниковых мгоугольные пластины пболее.Настоящее изобретение расширяет область использования основного изобретения, позволяя применигь его в станках-полуавтоматах для получения пластин малой площади, например от 1 до 10 мм для полупроводниковых диодов, триодов.Это достигается, тем, что резцы в головках установлены с шагом, кратным линейному размеру пластин, а головки выполнены периодически перемещающимися на величину линейного размера пластин. Кроме того, для с беспечен ия качественного разламывания прикрепленных к эластичной подложке пластин станок снабжен механизмом, выполненным в виде жесткого и эластичного подающих роликов.На фиг. 1 схематически изображен станок- полуавтомат, вид сверху; на фиг. 2 - механизм разламывания в разрезе; на фиг, 3 - заготовка, армированная гибким материалом.Листовая заготовка 1 (см. фиг. 1), армированная, например, липкой полиэтиленовой пленкой, укладывается на рабочую позицию 2 поворотного стола 3. Стол поворачивается, и заготовка 1 поступает на позицию надрезания. В головках 4 и Б укреплены резцы О, качающиеся в плоскости, перпендикулярной плоскости резания, и установленные один от другого на расстоянии, кратном размерам надрезаемых пластин, Головки установлены на каретках 7 и 8, совершающих возвратно- поступательное движение и установленных на ползуне 9, которому придано периодическое шаговое перемещение в направлении, перпен дикулярном направлению резания.Шаговое перемещение ползуна может осуществляться как в момент холостого хода кареток с головками (г. е. при движении от периферии к центру), так и во время выстоя в одном из крайних положений. После свершения необходимого числа ходов надрезания поворотный стол 3 поворачивается, и на надрезание поступает новая заготовка. В этом случае шаговое перемещение ползуна с ка ретками совершается в обратном направлении. Во избежание надрезания заготовок во время холосгого хода головок последние приподнимаются арретиром над плоскостью заготовки.2 Надрезанные заготовки вакуумнымником 10 удаляются с поворотного ст направляются на разламывание.Механизм разламывания 1 см. фиг, 2) состоит из жесткого опорного ролика 11, эла- зО стичного разламывающего ролика 12, беско 186269нечной ленты И, натяжного ролика 14 иприемного лотка 15.Для разламывания по линиям надреза заготовки 1 пропускаются дважды между вращающимися роликами 11 и 12 во взаимно- перпендикулярных направлениях. Разламывание заготовок по линиям надреза осуществляется за счет изгиба предыдущих пластин относительно последующих.Для предотвращения рассыпания заготовок 1 (см, фиг. 3) во время надрезания и разламывания последние армируются гибким листовым материалом 1 б, например пленкой, бумагой и т. п., приклеиваемым клеящим веществом 17 со стороны, противоположной стороне надрезания. Предмет изобретения1. Станок-полуавтомат для разделения листовых заготовок полупроводниковых материалов по авт. св,110111, отличающийся тем, что, с целью получения пластин малой площади, например 1 - 10 мм 2 для полупроводниковых диодов, триодов, резцы в головках установлены с шагом, кратным линейному размеру пластин, а головки выполнены периодически перемещающимися на величину линейного размера пластин.2. Станок-полуавтомат по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения качественного разламывания прикрепленных к эластичной подложке пластин, он снабжен механизмом, выполненным в виде жесткого и эластичного подающих роликов.186269 /71 бфиг. 3Составитель А, А. Банников Редактор Т. В. Данилова Теиред Т. П. Курилко Корректоры: Е. Д. Курдюмоваи С. М. Белугина Заказ 3026, 7 Тираж 2420 Формат бум. БОК 90/а Объем 0,27 изд. л. Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типографии, пр, Сапунова, 2