Способ разламывания проскрайбированных полупроводниковых пластин

Номер патента: 208135

Авторы: Зайдель, Фейгинов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 208 Зб Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельствач, 21 д, 11/О Заявлено 09,1.1967 ( 1124767/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 29,Х 11.1967. БюллетеньДата опубликования описания 28.11.1968 011 Комитет по делвм зооретеиий и открытий лри Совете йкииистрое СССРУДК 621.382.2/3,002,2 (088.8) Авторыизобретени И, Фейгинов и Г, И. Зайдель аявите СПОСОБ РАЗЛАМЬВАНИЯ ПРОСКРАЙБИРОВАННЬ 1 Х ПОЛ УП РО ВОДН И КО ВЪ 1 Х ПЛАСТ И Нределенным усилием. Подл усилия выбирают в зависи мых размеров элементов.Способ обеспечивает высо ки без нарушения стерильно как пластинка, разделенная тается упакованной в проз пригодна для последующих браковка по результатам з ний). ожку и ве мости от т ичин ебуе кое качеств сти процесс на элемент рачную плеопераций ондовых и о лома, так ы, оснку и(раз- змереПредмет изобретения Для разламывания проскрайбированной полупроводниковой пластинки ее укладывают на упругий элемент и прокатывают валиком. Другой способ заключается в том, что пластинку наклеивают на всевозможные подложки: стальную ленту, вощеную бумагу., пленку из пластиката и т. д., и огибают по цилиндрической или рифленой поверхности.Предлагаемый способ позволяет повысить производительность и качество получаемых кристаллов и заключается в следующем.Пластинку помещают между прозрачными пленками, которые механически скрепляют между собой. После этого упакованная плас 1 инка ориентируется относительно сетки оптического устройства, установленного параллельно оси ломочных валиков, Ориентация пластинки производится путем вращения в плоскости до совмещения с сеткой оптического устройства, Затем упакованную в прозрачную пленку пластинку прижимают скрайбированной стороной к упругой подложке, а с обратной стороны прокатывают валиком с опСпособ разламывания проскрайбированных 5 полупроводниковых пластин на упругой подложке с помощью ломочного валика, отличаюиийся тем, что, с целью увеличения производительности и качества получаемых кристаллов, полупроводниковую пластину помещают 0 между прозрачными пленками, механическисоединенными между собой, и ориентируют скрайбы на пластине параллельно оси ломочного валика по сетке оптического устройства.

Смотреть

Заявка

1124767

Н. И. Фейгинов, Г. И. Зайдель

МПК / Метки

МПК: H01L 21/304

Метки: пластин, полупроводниковых, проскрайбированных, разламывания

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-208135-sposob-razlamyvaniya-proskrajjbirovannykh-poluprovodnikovykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ разламывания проскрайбированных полупроводниковых пластин</a>

Похожие патенты