Турбомолекулярный вакуумный насос

союз совктскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИКгосудАРствкннок ПАткнтноквкдоыство сссР госпАтент сссюОПИСАНИЕ ИЗОБРК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Сущность изобретенщ по оси корпусаным патрубком распо жены циавдриче. тор и закрепленный на валу, снабженном оузлом и приводом, ротор. Ротор охватьеаепиндрический стэтор и образует с ним и к ло поотедовательно рааюложены по ходу газа турбо-.молекупярную и две молекулярные аупени откачки.Молекулярная ступень, рааюложенная со стороны нагнетатепя, образовайа поверхностью статора иЙ многозаходными спиральными канавками, вьитолнееами на поверхности ротора обращенной к ставход- тору. Канавки имеют уменьшаощуюся в сторону сей ста- нагнетания глубину и направлены в сторону, протипорным воположную нап)авлению вращения ротора 3т ци- за-пы, 1 ил.орп сомИзобретение относится к вакуумной технике,Цель изобретения - повышение экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, обеспечение откачки агрессивных сред и повышение надежности.На чертеже представлен насоспродольный разрез, Он содержит корпус 1 с входным патрубком 2, расположенные по оси корпуса 1 цилиндрический статор 3 и закрепленный на валу 4, снабженном опорным узлом 5 и приводом 6, ротор 7, охватывающий цилиндрический статор 3 и образующий с последним и корпусом 1 последовательно расположенные по ходу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, причем молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора 3 и многозаходными спиральными канавками 8, выполненными на поверхности ротора 7, обращенной к цилиндрическому статору 3, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленнцми в сторону, противоположную направлению вращения ротора 7, а опорный узел 5 и привод 6 вала 4 ротора 7 могут бцть расположенц снаружи корпуса 1. Кроме того, внутренние поверхности корФормула изобретения1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входнцм патрубком, расположенные по оси корпуса цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорнцм узлом и приводом, ротор, охватывающий цилиндрический статор и образующий с последним и корпусом последовательно расположенные по ходу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора и многозаходнцми спиральными канавками, выполненными йа поверхности ротора, обращенной к ципуса 1, ротора 7 и цилиндрического статора 3 снабжены защитным покрытием, а опорный узел 5 - фитилем, фитиледержателем.прижимающим фитиль к поверхности вала 45 ротора 7, и агрессивностойкой смазкой.Насос работает следующим образом.Газ из откачиваемого объема поступаетв корпус 1 через входной патрубок 2 и, про 10 ходя последовательно через турбомолекулярную и две молекулярные ступени,нагнетается преимущественно в атмосферу,т,е. наличия фарвакуумных средств откачкине требуется. Эффективность работы моле 15 кулярной ступени со стороны нагнетателяобеспечивается конфигурацией спиральныхканавок 8 на роторе 7, Наличие защитногопокрытия и агрессивностойкой смазкиопорного узла 5 позволяет откачивать лю 20 бце, даже агрессивные газы. Подача смазкик опорам осуществляется при помощи фитиля, прижимаемого фитиледержателем к поверхности вала 4 ротора 7. Форвакуумнаяоткачка может использоваться лишь при за 25 пуске насоса, что приводит к повышениюего экономичности,(56) Авторское свидетельство СССРВ 1384798, кл. Р 04 О 19/04, 1985,30линдрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину инаправленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора.2, Насос по п.1, отличающийся тем, чтоопорный узел и привод вала ротора расположены снаружи корпуса,3, Насос по п,1, отличающийся тем,40 что, с целью обеспечения откачки агрессивных газов, внутренние поверхностикорпуса, ротора и цилиндрического статора снабжены защитным покрытием, аопорный узел - фитилем и агрессивностой. 45 кой смазкой.4, Насос по п,З. отличающийся тем,что, с целью повышения надежности, опорный узел снабжен фитиледержателем, прижимающим фитиль к поверхности вала50 ротора.Редактор Т.Ю ксимишинец вэ рре кто каз 34 Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента13035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 ои венно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101