Способ доводки пластин

(51)5 В 24 В 37/О ГОСУДАРСТВЕННО ВЕДОМСТВО ССС (ГОСПАТЕНТ СССР ПАТЕН ИЗОБР а соотношенительного переле: ТОРСКОМУ С ВИДЕТЕЛЬСТ(72) В.Г.Шульга, И,И.Данилов и А,М.Мазин (56) Авторское свидетельство СССР М 837806, кл. В 24 В 37/04, 1979.(54) СПОСОБ ДОВОДКИ ПЛАСТИН (57) Использование: абразивная обработка при доводке тонких пластин из кремния, стекла и других хрупких материалов, Сущность изобретения: твердости инструментов выбираются неодинаковыми; Соотношение твердостей должно находиться в предела 10-500. Кроме того,Н 2 Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано при доводке пластин из кремния, стекла и хрупких материалов,Известен способ доводки деталей, согласно которому с целью повышения качества обработки изменяют характеристику жесткости одного из притиров. Этим обеспечивается управление механизмом разрушения материала детали и выбор оптимальных режимов с точки зрения качества поверхности пластины (шероховатость, вид и глубина нарушенного слоя),Однако в случае двусторонней обработки пластин с разными припусками на разные стороны, отличаю.циеся более чем в 60 раз, или односторонней обработки известный способ не обе печивает требуемых параметров обработачных деталей,Цель изобретения - повышение точности и снижение себестоимости обработки.Для достижения цели соотношение твердостей нижнего и верхнего инструментов выбирают по формуле: 17827 О 8 А 1 назначают соотношение линейных скор стей относительного перемещения из фо мулы; 2-10, где Ч 1 и Ч 2 - средниеУ 2Ч 1линейные скорости центров пластин относительно первого и второго ийструментов, В результате износ сторон пластины будет отличаться более чем в 60 раз, Таким образом может быть реализована односторонняя обработка пластин при сохранении преимуществ двусторонней обработки, заключающихся в повышении точности обработки за счет возможности вращения пластин вокруг своей оси. 1 ил., 1 табл, -500, Н 2 Н 1инейных скоростей относищения выбирают по форму 2 - 10,2Ч 1где Ч 1 и Ч 2 - средние линейные скоростицентров пластин относительно одного идругого инструментов.На чертеже показано устройство для реализации предлагаемого способа доводки.При производстве, полупроводниковыхприборов специального назначения стоитзадача односторонней обработки тонкихпластин кремния с припуском на обработкуоколо 110 мкм. Требования к геометриче-ским параметрам, а именно к отклонению отплоскостности и плоскопараллельности,предьявляются жесткие. Способы доводки сжестким закреплением пластин к планлайбе не позволяют достичь.требуемых параметров точности геометрии пластин. Крометого, желательно исключение операцииприклеивания, т.к. она всегда связана с дополнительными операциями очистки. Сво. бодное расположение пластин в сепараторе позволит обеспечить управление ее положением в гнезде, в результате чего может быть. достигнута повышенная точность геометрии пластин.Для достижения поставленной цели необходимо выполнение следующих условий:- свободное расположение пластин относительно инструментов;- силовая разгрузка пластин от силового воздействия сепаратора из-за малой толщины;- соотношение износов сторон пластины должно различаться более чем в 60 раз,Последнее требование обеспечивается суперпозицией двух факторов - соотношением твердостей инструментов Н 1 и Н 2 и соотношением относительных скоростей движения Ч 1 и Ч 2. Задать скорость с одной стороны пластины относительно инструмента, равную О, нет возможности, т.к. тогда нарушается условие силовой разгрузки сепаратора и возникает его поломка или поломка пластины. Условия неполной разгрузки могут быть соблюдены йри скорости инструмента с меньшей твердостью относительно деталей не в , где Ч 2 - скоростьЧ 210движения инструмента с большей твердостью относительно деталей.Соотношение твердостей инструментов -10 при -10; не дают разности в Нг Ч 2Н 1 Ч 1Н 2 износе в 60 раз. При соотношении -500Н 1 ухудшаются условия равномерного прижима пластйны к нижнему притиру, что ведет к ухудшению точности геометрии пластин.Кроме того, пластина утопает в мягком инструменте, образуется значительный валик при движении пластины, что ведет к резко му нарушению условий разгрузки. СоотноЧ 2 Н 2щения -2 и -500 также не даютЧ 1разности в износе хотя бы в 60 раз,На притир 1 наклеивается полироваль ный материал типа искусственной замши 2,На притире 3 в сепараторе 4 раскладываются пластины 5, Задаются соответствующие частоты вращения.П р и м е р. Проводилась обработка 15 пластин кремния диаметром 60 мм с исходной толщиной 300 мкм.Время обработки 60 мин, зернистостьабразива 7 мкм. Данные и результаты экспериментов приведены в таблице.20Формула изобретения Способ доводки пластин, при которомих размещают в сепараторе между двумя25 инструментами с различной твердостью исообщают пластинам и инструментам относительные перемещения, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения точностии снижения себестоимости обработки, твер 30 дости инструментов и средние линейныескорости центров пластин относительнокаждого инструмента выбирают соответственно из соотношений35 10 Н500,Н 2Н 12- 10,Ч 2Ч 1