Эксимерный лазер на галогенидах инертных газов

(55 Н 01 Я 3/225 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН орское. бюро АН м ти фирмы 1.ап)бба ЕМ 6 50 Е, ЕМ 6 , ЕМ 6 200 Е, ЕМ 6 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(56) Рекламный проспектРоуз% "Ехс 1 п)ег 1 азегз"101 Е, ЕМ 6 102 Е, ЕМ 6 103 Е 1 Е, с. 6.Техническое описание эксимерного имльсного лазера. ЭЛИ - 72, СКБ АН ЭССР,Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к эксимерным лазерам, использующим в качестве одной из компонент рабочей сйеси галогеносодержащие смеси, например хлорсодержащие.Известен эксимернцй лазер на галогенсодержащих рабочих смесях, использующий систему газоснабжения,.которая для приготовления газовой смеси содержит два баллона с инертными газами и один баллон со смесью галогеноносителя, а именно хлористого водорода, резервуар смешения газов с манометрами, вентиль на входе газового резервуара, в котором расположен циркуляционный вентилятор, и вакуумный насос с (Рильтром-поглотителем.Известен эксимернцй лазер на галогенидах инертных газов, содержащий разрядную камеру, соединенную с газовым резервуаром, систему вакуумирования и газовую систему с тремя трактами для заполнения газового резервуара компонентами(54) ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР НА ГАЛОГЕНИДАХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ(57) Изобретение относится к квантовой электронике. Лазер содержит газовый резервуар 2 с разрядной камерой, систему вакуумирования 3 и газовую систему 1 заполнения лазера газами. Система 1 включает тракт 4 галогеноносителя, тракт 5 инертного газа и тракт 6 буферного газа. Тракт 4 образован газогенератором 7 галогеноносителя и магнитным клапаном 8. Конструкция газогенератора 7 позволяет в момент заправки лазера вырабатывать необходимую порцию галогеноносителя. 2 ил,рабочей смеси, включающую в себя объемы с галогеноносителем, инертным и буферным газами, соединенные с магнитными клапанами, и два сосуда дозирования.Недостаток известного лазера закл ючается в том, что по требованиям техники безопасности из-за токсичности хлористого водорода рекомендуется использовать разааеаВ бавленный в буферном газе хлористый водород, что приводит к уменьшению полных . заправок лазера рабочей смесью, находящейся в стандартном баллоне, Система дозирования галогеноносителя в известном лазере с использованием образцового ма- а нометра позволяет обеспечить требуемую точность дозирования только при использо. вании разбавленного инертным газом галогеноносителя. Это усложняет применение лазеров, так как требует организации газового хозяйства, что включает в себя достав-ку. хранение и переливание газа, хранение, контроль и подготовку баллонов. Кроме то10 15 20 30 40 45 55 го, система напуска газа не обеспечивает константного объема порции напускаемого газа по мере расходования газа из баллона, что приводит к нестабильности выходных параметров лазерного излучения.Целью изобретения является упрощение и повышение безопасности работы лазера, а также улучшение стабильности выходных параметров излучения,Указанная цель достигается тем, что в эксимерном лазере на галогенидах инертных газов объем с галогеноносителем выполнен в виде газогенератора, объединенного с одним из сосудов дозирования, а газовые тракты после магнитных клапанов соединены со входом другого сосуда дозирования, подключенного к газовому резервуару с помощью магнитного клапана. На фиг.1 показана схема лазера; нафиг,2 - газогенератор, продольное сечение. Зксимерный лазер на галогеносодержащих рабочих смесях содержит джазовую систему 1 заполнения лазера газами, газовый резервуар 2 с разрядной камерой и систему вакуумирования 3, Система 1 заполнения лазера газами в свою очередь содержит три тракта - соответственно трем компонентам эксимерной газовой смеси: тракт 4 галогеноносителя, тракт 5 инертного газа и тракт 6 буферного газа, при этом тракт 4 галогеноносителя включает в себя газогенератор 7 галогеноносителя и магнитный клапан 8, тракт 5 инертного газа - баллон 9 с вентилем и магнитный клапан 10, тракт 6 буферного газа - баллон 11 с вентилем и магнитный клапан 12, Выходы магнитных клапанов 8, 10 и 12 соединены в общую точку 13 и подсоединены ко входу общего сосуда доэирования 14, выход которого соединен со входом магнитного клапана 15, выход которого в свою очередь соединен со входом газового резервуара 2, который соединен с системой вакуумирования 3, Газовый резервуар 2 снабжен мановакуумметром 16.Газогенератор 7 галогеноносителя (фиг,2) представляет собой сосуд 17, разделенный по высоте на три объема; верхний 18, средний 19 и нижний 20, при этом объем 18 отделен от обьема 19 при помощи промежуточной стенки 21, оснащенной трубкой 22, при помощи которой объем 18 сообщается с объемом 20; объем 19 отделен от объема 20 при помощи сетки 23, на которой размещена соль 24 (например, КС); объемы 18 и 20 заполнены концентрированной кислотой (например, серной); в стенке сосуда 17 в пределах объема 19 выполнено отверстие 25 для выхода газа (НС); в крышке сосуда 17 выполнено отверстие 26, с помощью которого обьем 18 соединяется с атмосферой.Устройство работает следующим образом.Для приготовления рабочей смеси в газовом резервуаре 2 вакуумируют его и сосуд дозирования 14 от отработанной смеси при помощи системы вакуумирования 3 путем открытия магнитного клапана 15(аналогичные клапаны 8, 10 и 12 при этом закрыты). Компоненты рабочей смеси лазера дозируют в вакуумированный газовый резервуар 2 в следующей последовательности: галогеноноситель, например НО, инертный газ, например Хе, буферный газ, например Не, Для доэирования хлористого водорода открывается магнитный клапан 8, при этом клапан 15 закрыт. Гостоянство давления галогеноносителя в устройстве обеспечивается следующим образом.После получения 100 (а данный газоге.нератор рассчитан именно на такое количество) порций НС по 60 мл каждая прореагирует 13,2 г серной кислоты, Следовательно, объем кислоты уменьшится приблизительно на 7,2 см . Исходя из размеровзсосуда с кислотой изменение высоты столба кислоты составит менее 0.5, а на одну порцию 0,005. Таким образом практически обеспечивается постоянство давления хлористого водорода,Для напуска инертного газа открывается клапан 10 (клапаны 8 и 12 двух других трактов при этом закрыты), инертный газ из баллона 9 поступает в сосуд дозирования 14 до уравновешивания давлений в тракте 5 инертного газа и в сосуде дозирования 14, Клапан 10 закрывается и открывается клапан 15, Инертный гаэ вследствие перепада давления поступает в газовый резервуар 2 лазера. Правильно выбранный объем сосуда доэирования 14 и,значение давления в тракте 5, которое поддерживается постоянным с помощью специального редуктора (чтобы не усложнять чертеж, не показан). позволяют ввести требуемое количество инертного газа в газовый резервуар 2 лазера. Кроме того, при напуске инертного газа происходит вымывание остатков НС иэ сосуда дозирования в газовый резервуар 2 лазера.Для доэирования буферного газа открывают клапаны 12 и 15 (клапаны 8 и 10 других трактов при этом закрыты) и по показанию мановакуумметра 16 производят напуск заданного количества буферного газа; При этом, как и при напуске инертного газа, происходит вымывание остатков Хе из сосуда дозирования в газовый резервуар 2 лазера.Таким образом, в устройстве генератор галогеноносителя автоматически вырабаты,Максимишинец аказ 775 Тираж ВНИИПИ Государственного комитета по изобретен 113035, Москва, Ж, Раушскаяодписное и открытиям при ГКНб 4/5 изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 вает точную порцию галогеноносителя, отвечающую заданному объему сосуда дозирования. Точность дозировки компонент рабочей смеси лазера в конечном счете определяет точность параметров работы лазе ра (энергия излучения и ее стабильность).Улучшаются условия техники безопасноститак как отсутствует баллон с галогеноносителем. например НО, Изобретение создает также предпосылки для автомати зации процесса приготовления рабочей смеси в газовом резервуаре лазера. Формула изобретенияЭксимерный лазер на галогенидан 15 инертных газов, содержащий разрядную камеру, соединенную с газовым резервуаром,Составитель Ю,С Редактор Н.Горват Техред М,Моргенсистему вакуумирования и газовую систему с тремя трактами для заполнения газового резервуара компонентами рабочей смеси, включающую в себя объемы с галогеноносителем, инертным и буФерным газами, соединенные с магнитными клапанами, и два сосуда дозирования, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения и повышения безопасности работы лазера, а также улучшения стабильности выходных параметров излучения, объем с галогеноносителем выполнен в виде газогенератора, объединенного с одним из сосудов дозирования, а газовые тракты после магнитных клапанов соединены с входом другого сосуда дозирования, подключенного к газовому резервуару с помощью магнитного клапана.