Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 268 А 5 Н 21 0 РЕТЕНИЯ К АВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТ тер мен тре ение термокомпе устройстве (фиг.2), с овку 5, рабочая ем ер) заполнена гр полнителя б, абра7 и интенсифици нсатора одержакость коанулами батываеествляется следующим ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗ(71) Всесоюзный научно-исследовательский. и проектно-конструкторский институт технологии машиностроения(56) Восстановление электродов для повторного использования из забракованных выпрямительных элементов. Технологическая инструкция ДЖИЦ 252 ЗТЖ 1000,00001, 1983.(54) СПОСОБ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ВОЛЬФРАМОВЫХ ИЛИ МОЛИБДЕНОВЫХ ТЕР- МОКОМПЕНСАТОРОВ Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а именно к . способам очистки поверхности металличе- . ских деталей от нанесенных на них тонким слоев другого металла, и может быть использовано при восстановлении термоком-пенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования.Цель изобретения - повышение выхода годных.На фиг.1 показан отбракованный выпрямительный элемент, подлежащий обработке с целью восстановления термокомпенсатора; на фиг.2 - схема объемной виброобработки выпрямительных элементов.(57) Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонких слоев другого метала, и может быть использовано при восстановлении термокомпенсаторов из забракованных выпрямительных ементов для их повторного использова ния. Целью изобретения является повышение выхода годных, В специальном торроидальном контейнере проводят удаление металлических покрытий (никель, силумин) в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают от 2,75 до 4,35, а объем термокомпенсаторов - от 0,5 до 1 соответственно от объема раствора химического травителя. 2 ил. Выпрямительный элемент (фиг.1) состот из термокомпенсатора 1, слоя 2 силумина ли другого материала, крепящего пластиу, например никеля. Для восстановлениямокомпенсатора из отбракованного элета после распайки пластины 3 кремния буется удалить покрытие 4 и слой 2. Восстанов производится в щем виброуста торой (контей абразивного н мыми деталям раствором 8. Способ осу разом.В устройстве фиг.2) проводят удаление металлических покрытий в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают равным 2,754,35 об.ч., а объем термокомпенсаторов - 0,51,0 об,ч. от объема раствора химического травителя,П р и м е р. Восстанавливают термокомпенсаторыф 24 мм из сплава ТСМ-З, на контактной цилиндрической поверхности которых нанесен слой никеля толщиной 0,01 мм, а на плоскости - слой силумина, имеющий неравномерную толщину 0,1 - 0,2 мм.После операции распайки, при которой удаляют пластину 3 кремния, термокомпенсаторы с покрытиями подвергают объемной виброобработке в виброустановке с контейнером тороидальной формы емкостью 60 л, В качестве гранул абразивного наполнителя используют гранулированный крупнозернистый наполнитель в виде треугольных призм с высотой ребра 10 мм. В контейнер заливают 10 - 15 л водного раствора, содержащего химические добавки, интенсифицирующие процесс обработки, например 30-ный раствор щавелевой кислоты или азотной, который принимается за одну объемную часть, В контейнер помещают обрабатываемые детали (термокомпенсаторы) и абразивный наполнитель, объем которых от объема раствора химического травителя составляет, об.ч.: Обрабатываемые детали 0,51,0 Абразивный наполнитель 2,754,35.Незагружаемый объем контейнера составляет 10 л,Восстановление термокомпенсатороввыполняют следующим образом.В контейнер загружают компоненты вуказанном соотношении. При этом партия5 одновременно обрабатываемых термокомпенсаторов составляет 2500 шт, Длительность обработки составляет 240 мин причастоте колебаний контейнера 48 Гц и амплитуде колебаний 1,2 мм.10 По окончании обработки термокомпенсаторы промывают в контейнере, выгружают из виброустановки (просеиванием дляотделения от наполнителя) и передают дляконтроля и повторного использования. Об 15 работанные термокомпенсаторы имеютсветло-серебристый цвет, на котором хорошо видны дефекты поверхности.Способ восстановления термокомпенсаторов позволяет увеличить выход годныхтермокомпенсаторов на 70 - 73, создать20 экологически чистые условия труда, что значительно улучшает условия труда работников, занимающихся восстановлениемтермокомпенсато ров,Формула изобретения25. Способ восстановления вольфрамовыхили молибденовых термокомпенсаторов,включающий удаление с использованныхтермокомпенсаторов металлических покрытий химическим травлением, о т л и ч а ю щ 30 и й с я тем, что, с целью увеличения выходагодных, удаление металлических покрытийосуществляют в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом, причем объем абразива выбирают равным35 2,75 - 4,35 об,ч., а объем термокомпенсаторов - 0,5-1,0 об.ч. от объема раствора химического травителя.1711268 4 5 Составитель С.МанякинТехред М.Моргентал Корректор Редактор И,Шул ч Заказ 346 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета па изобретениям и открытиям при ГКНТ С 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 тельский комбинат "Патент оизводственн город ул Гагарина 1