Манипулятор для герметизированного пространства вакуумной камеры
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1705069
Автор: Руднев
Текст
Изобретение отнпс итсл к робп 1 сз т ехнике и касаетал нанлпугл;орс О, пр;-:дназначенных дпя захгата н перемещения пластин больших и св:.рхбольшихИнтЕГРаЛЬНЫХ СХЕМ О Вакууна ИЛИ ИНОЙконтролируемой технслогицс.ской среде,Целью изобретения является расширение технологических возможностейпутем придания манипулятору дополнительной степени свободы.На Фиг. 1 изображен май 1 пулятцр,общий вид; на Фиг, 2 - то же, видО плане.Манипулятор для герметцзированного 15пространства состоит из полого корпуса 1, закрепленного на вакуумной ка-,мере, внутри которого аосредством двухсоосных подпружиненных опор 2 уста-,новлена механическая рука 3 с приводами линейного перемещения и поворота.Привод линейного перемещения содержит электродвигатель и червячный редуктор (не показан), эаквоченные встаканы 4, герметично укрепленный на 25корпусе 4 механической руки 3,Каждая из подпружмненных опор 2выполнена в виде винтовой пружины Б,закрепленной на стенке полого корпуса 1 посредством упругой диаФрагмы7 и резьбовой муфты 8, обеспечивающей регулировку поломения геометрической оси механической руки 3.Для этого в центральных отверстияхрезьбовых муФт 3 установлены опорныештиФты (боковые отверстия в этих муфтах предназначены для ключа). Опорные штиФты передают осевое усилиечерез диаФрагмы 7, спимая таким образом винтовую пружину 6. На другом 40конце винтовой пружины 6 установленаопора 9, выполненная в виде цилиндрас глухой внутренней растоцкой,. номинальный диаметр которой равен наружному диаметру винтовой пружины 6, Эта 45расточка является посадочн ым гнездомзакрепляемой в нем винтовой пружины6, На противоположном торце цилиндровЪвь:полнены захватные губки 10, представляющие собой цилндрицескую седловину, радиус которой спответствуЕт ДИаМЕтРУ УСтаНООЛИгаЕЛ 1.ГО В НЕЙкорпуса механичаской руки 3,Опоры 9 служат длл жесткого закрепления В них с О;бодпых концпО ОинтООых пружин 6, а захцагные губки 10 для закрепления корпуса механической руки,Приплод поворота механической руки выполнен О виде двигателя 11, установленного на полом корпусе 1, и лентоцпой передачи, ведущий шкив 12 которой закреплен на валу даигателя 11, а ведсмьй шкив 13 - на одпой из опор 9, при этом для герметизации ленты 14 в зонах ее прохода через стенку полого корпуса 1 применены сильФоны 15.Формула и з о б р е т е н и яМанипулятордля герметизированного пространства вакуумной камеры, содержащий механическую руку, включающую корпус и схват, в также привод линейного перемещения механической руки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с .целью расширения технологических возможностей путем обеспечения дополнительных степеней подвижности механической руке, он снабжен полым корпусом, закрепленным на стенке ва- . куумной камеры, стаканом, установлен" ным на корпусе механической руки, подпружиненными опорами, установленными соосно одна с другой внутри полого корпуса, и приводом поворота механической руки, выполненным в виде двигателя, размещенного на стенке по" лого корпуса, и ленточной передачи, причем привод линейного перемещения механической руки размещен в полости стакана, а каждая из подпружиненных опор выполнена в виде упругой диаФ- рагмы, резьбовой муФты, опорного элемента и винтовой пружины, орин конец которой посредством упругой риаФ- рагмы и резьбовой л 1 уФты закреплен на стенке полого корпуса, а другой посредстоом опорнсго элемента связан с корпусом механицаской руки, при .этом ведущий шкив лснтоцной перадачи установлен на валу двигателя, а ведомый - на сдном из опорных элементов.105 МЧ Соста вител ь В. Юи ряеваРедактор И.Бандура Техрер А.Ераочук , Корректе ааааа е е е е ЮЮ ее а ее ее е ее еаеа ее а е атее г-35 Раущская наб Подписное ткрытиямпри д. 4/5
СмотретьЗаявка
4735304, 27.07.1989
Е. В. Руднев
РУДНЕВ ЕВГЕНИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: B25J 21/00
Метки: вакуумной, герметизированного, камеры, манипулятор, пространства
Опубликовано: 15.01.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1705069-manipulyator-dlya-germetizirovannogo-prostranstva-vakuumnojj-kamery.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Манипулятор для герметизированного пространства вакуумной камеры</a>
Предыдущий патент: Вакуумный захват
Следующий патент: Раскряжевочная установка
Случайный патент: Способ исследования коррозии металлов