Многодисковый станок для резки

)5 В 28 О 1/ ЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВ(56) Авторское свидетельство СССРВ 613908, кл. В 28 О 1/04, 1977.(54) многодисковый стАнокдля Резки(57) Изобретение относится к технологическочу оборудованию для обработки неметзллических материалов и мажет быть использовано при резке хрупких и твердых мг. ериалов, а также при резке полупроводниковых пластин на кристаллы, и позволяет увеличить выход годных кристаллов. Это достигается тем, что после резки в отверстие 20 подают под давлением масло, поршень 14 идет влево, головкой 16 поворачивая корпус 6 вокруг оси 9 и поднимая дисковые пилы вверх. После чего стол отводится на исходную позицию выгрузки-загрузки, 2 ил.Изобретение относится к технологическому оборудованию для обработки неметаллических материалов и может бытьиспользовано при резке хрупких и твердыхматериалов, а также при резке полупроводниковых пластин на кристаллы,Целью изобретения является.увеличение выхода годных кристаллов.На фиг. 1 показан станок, общий вид; нафиг. 2 - шпиндельный узел и узел подъема 10его.Многодисковый станок для резки состоит иэ рабочего стола 1 с приводом, шпиндельного узла 2 с приводом, механизмарегулирования глубины реза и механизма 15подъема шпиндельного узла, Привод рабочего стола выполнен в виде направляющих3, по которым перемещается стол 1 с помощью гидроцилиндра 4.Шпиндельный узел 2 состоит из двух, 20частей корпуса 5 и корпуса 6, один иэ кото. рых,5 установлен с возможностью перемещения относительно второго 6. Корпус 5шпиндельного узла несет дисковые пилы7, установленные на валу 8 шпинделя. Вал 258 вращается от привода, например электродвигателя (не показан),Корпус 6 шпиндельного узла несет насебе корпус 5 и установлен на валу 9 с возможностью качания вокруг него. Корпус б в 30нижней части имеет паз 10, а в верхнейчасти микровинт 11, с помощью которого понаправляющим 12 перемещается корпус 5шпиндельного узла. Механизм регулирования глубины реза выполнен в виде сопряжения "ласточкин хвост", которымсоединяются корпус 5 и корпус б шпиндельного узла и микровинтэ 11, с помощью которого осуществляется перемещение.Узел подъема шпиндельного узла выполнен в виде гидропривода; содержащегокорпус 13, в котором перемещаются поршень.14 и упор 15. Поршень 14 снабженголовкой 16, которая входит к паз 10 качающейся части 6 шпиндельного узла,45 Корпус 13 гидроприводэ имеет две полости 17 и 18 и отверстия 19, 20, связывающие эти полости с резервуаром (не показан), На рабочем столе 1 закрепля ется полупроводниковая пластина 22 и он имеет вертикальную ось 23, Рабочий стол, шпиндельный узел и узел подъема шпиндельного узла установлены на станине 21. 55 Устройство работает следующим образом.На столе 1 закрепляют полупроводниковую пластину 22. Включают гидропривод. Масло через отверстие 19 под давлением подается в полость 17, перемещая поршень 14 в правое крайнее положение. При этом шпиндельный узел, поворачиваясь вокруг оси 9, опускается в крайнее нижнее положение до упора 15. Затем микровинтом 10 корпус 5 шпиндельного узла поднимают в верхнее крайнее положение.Стол 1 с пластиной 22 перемещают с помощью гидроцилиндра 4 по направляющим 3 до совпадения вертикальной оси 23 столика 1 и оси шпиндельного узла 2. После этого микровинтом 10 корпус 5 плавно опускают вниз до контактирования алмазных дисковых пил с пластиной, что регистрируется прибором, например емкостным датчиком (не показан). После чего по нониусу микро- винта устанавливается требуемая глубина резания, затем пластину разрезают, После окончания резки в отверстие 20 подают под давлением масло, поршень 14 идет влево, головкой 16 поворачивая корпус 6 вокруг оси 9 и поднимая дисковые пилы 7 вверх, После чего стол 1 отводится на исходную позицию выгрузки-загрузки.Далее станок работает в автоматическом режиме, точно выдерживая глубину резания: загрузка пластины на рабочий стол, перемещение стола на позицию резки, опускание шпиндельного узла вниз до упора 15, прореэание пластины; подъем шпинделя, возврат стола на позицию разгрузки-загрузки.Формула изобретения Многодисковый станок для резки, включающий рабочий стол с приводом, шпиндельный узел с набором алмазных дисковых пил, и механизм регулирования глубины реза, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения выхода годных кристаллов, он снабжен механизмам подъема дисковых пил, выполненным в виде гидроцилиндра, при этом корпус шпиндельного узла выполнен в виде неподвижной и шарнирно соединенной с ней подвижной части, в которой расположен механизм регулирования глубины резания, а в неподвижной части размещен гидроцилиндр механизма подъема дисковых пил, шток которого размещен в подвижной части корпуса шпиндельного уз1678635 Составитель Е. БулековТехред М.Моргентал ректор Т. Палий едактор А. Мотыль л. Гагарина, 101 изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужго аказ 3173 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5