Устройство для изготовления фотошаблонов печатных плат и интегральных схем

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК И 5 0 03 В 27/32 ИСАНИЕ РЕТЕНИ ГОТОВЛЕНИЯ НЫХ ПЛАТ И фотографиче едствам изго атных плат и емых в радиои. Цель изобе 7 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(56) Я 2 М 2.840.001, ТО Техническое описние и инструкция по эксплуатации фотокмеры ЭМ,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ И 3 ФОТОШАБЛОНОВ ПЕЧАТ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (57) Изобретение относится ской технике, в частности к с товления фотошаблонов пе интегральных схем, применя технической промышленност,Ы 1670668 А 1 ретения - повышение качества, точности изготовления фотошаблонов и производительности. Устройство содержит светонепроницаемую перегородку, благодаря чему работу с Фотопластинкой можно осуществлять при неактиничном освещении. В процессе экспонирования с помощью управляемых манипуляторов 12, 13 изменяют положение оригиналодержателя с оригиналом 18, контролируют точность фокусировки, наблюдая в микроскоп 9. Микроскоп 9 может перемещаться относительно фото- пластины. Его положение контролируют с помощью линеек 10, Предложенное устройство может работать с фотопластинами различных форматов, Для их закрепления используются зажимы, установленные на рейках 8, 3 ил., 1 з,п.ф-лы,10 Устройство относится к фотографической технике, в частности к средствам изготовления фотошаблонов печатных плат и интегральных схем, применяемых в радиотехнической промышленности.Целью изобретения является повышение качества и точности изготовления фото- шаблонов печатных плат и интегральных схем, а также повышение производительности устройства.На чертеже изображен общий вид устройства.Устройство состоит иэ горизонтальной станины 1, на которой укреплены с возможностью горизонтального перемещения оригиналодержатель 2 с регулируемыми упорами 3 и источником 4 освещения, а также фотоголовка 5, содержащая подвижный диафрагмируемый объектив с электромеханическим затвором (на чертеже не показаны) и пластинодержатель. Пластинодержатель состоит из рупора б и рамы 7 с вертикальными и горизонтальными направляющими. По вертикальным направляющим скользят горизонтальные рейки 8 с зажимами для установки фотопластины или тестового стекла, а по горизонтальным направляющим может перемещаться кронштейн с закрепленным на нем установочным микроскопом 9. Горизонтальные и вертикальные направляющие, а также кронштейн снабжены мерными линейками 10. Пластинодержатель укреплен с возможностью прецизионного перемещения в плоскости фотопластины относительно фотоголовки 5, причем контроль перемещения пластинодержателя производится при помощи отсчетных микроскопов 11. Фотоголовка 5 расположена в окне светонепроницаемой перегородки.Оригиналодержатель содержит узел дистанционного механического управления регулируемыми упорами, состоящий из двух телескопических штанг 12, которые одним концом прикреплены к регулируемым упорам 3, а другим концом проходят через светонепроницаемую перегородку в темное помещение и заканчиваются ручками 13, Под фотоголовкой 5 находится блок 14 управления, а под станиной 1 блок питания (на чертеже не показан). Движение объектива осуществляется ручкой 15, а пластинодержатель приводится в движение по оси Х (или У) ручкой 16 (по оси У ручка не показана). Общее перемещение фотоголовки 5 осуществляется ручкой 17. Оригинал 18 закреплен на оригиналодержателе 2.Устройство работает следующим образом. 15 го 25 30 35 40 45 50 55 На оригиналодержатель 2 устанавливают оригинал 18, на рейки 8 пластинодержателя устанавливают тестовое контрольное стекло с нанесенной прецизионной сеткой. Подключают фотокамеру к сети питания и открывают электромеханический затвор, По рискам сетки тестового стекла настраивают на резкость установочный микроскоп 9. Настраивают на резкость изображение оригинала 18, добиваясь наилучшего качества изображения по всему полю топологии, Для этого перемещают в разные точки установочный микроскоп 9, проверяют в этих точках резкость изображения и при необходимости вводят корректировку путем передвижения объектива относительно оригиналодержателя 2. Затем, перемещая установочный микроскоп 9, устанавливают его перекрестие на иэображении базового реперного знака оригинала 18. Перемещают каретку с микроскопом 9 по координате Х, наблюдая в микроскоп за положением горизонтальной стороны (линии) оригинала, Если имеется вертикальное смещение линии относительно перекрестия микроскопа 9, производят регулировку положения оригинала 18 вращением регулируемых упоров 3 ручками 13 управления до тех пор, пока линия оригинала 18 не будет одинаково смещена относительно перекрестия микроскопа 9. Затем при определенном положении оригиналодержателя 2 относительно фото- головки 5, манипулируя ручками 15 и 17 и контролируя изображение оригинала 18 на тестовом стекле (либо с помощью отсчетного микроскопа 11) в микроскоп 9, выставляют масштаб сьемки. После этого снимают тестовую пластину с сеткой, закрывают электромеханический затвор, устанавливают на пульте блока 14 управления необходимое время экспозиции. Вставляют фотопластину светочувствительным слоем к оригиналу 18. при помощи ручек 16 управления перемещают фотопластину в такое положение, чтобы можно было расположить одно возле другого необходимое количество мультипликаций (повторений изображения) и произвести первое экспонирование. Во время экспонирования контролируют резкость изображения оригинала на эмульсионном слое фотопластины и при необходимости вводят корректировку по резкости с помощью ручки 15 управления перемещением объектива. С помощью ручек 16 перемещают фотопластину по горизонтали (или вертикали) на шаг мультиплицирования, экспонируют фотопластину второй раз и т.д. в соответствии со схемой мультипликации, Затем производят химико-фотографическую обработку фотопластины,1670668 Составитель Ю,ИвановРедактор О.Спесивых Техред М.Моргентал Корректор В.Гирняк Заказ 2751 Тираж 278 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина. 101 Формула изобретения 1. Устройство для изготовления фото- шаблонов печатных плат и интегральных схем, содержащее блок управления, блок питания, станину, на которой с возможностью перемещения установлены оригиналодержатель с регулируемыми упорами и источником освещения, объектив с затвором, а также установленный с возможностью перемещения относительно обьектива пластинодержатель, на котором закреплен установочный микроскоп. о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения качества, точности изготовления фотошаблонов и производительности, объектив установлен в окне введенной светонепроницаемой перегородки, образующей две камеры, со стороны пластинодержателя установлен источник неактиничного освещения, а также в устройство введены дистанционно управля емые манипуляторы, установленные с возможностью взаимодействия с упорами, причем установочный микроскоп установлен с возможностью перемещения относительно оригиналодержателя и снабжен 10 отсчетными линейками.2. Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения удобства в работе, пластинодержатель снабжен 15 подвижными зажимами и мерными линейками,