Устройство для измерения расстояния до отражающей поверхности

Номер патента: 520507

Опубликовано: 05.07.1976

Авторы: Власов, Штанько

МПК: G01B 9/021

Метки: вектора, диффузно-отражающего, интерференционного, объекта, перемещения, поверхности, проекции

...другом канале, в резульате чего пучки в различных каналах станоятся когерентными и по поляризации и образуют интерференционную картину в плоскос 35тирегистратора. Используяметод двух эксггозипий и прикладывая к объекту деформирую 1нгую нагрузку, на восстановленном изобракении попучеют интерференционную картину,ггредставляюшую собой изолинии проекции век 1тора перемещения поверхности диффузно-от-ражаюшего объекта на направление, перпендиггулярно биссектрисе угла между направлениями 2 и 3Сравним предложенное устройство саналогом и прототипом по чувствительности и точностным характеристикам, В аналоге используется двухканальное освещение исследуемого объекта и одноканальнаясистема записи информации, распол женнаясиметрично. оптической оси,...

Номер патента: 1760312

Опубликовано: 07.09.1992

Авторы: Котляр, Сойфер, Храмов

МПК: G01B 11/24

Метки: интерферометр, отражающих, плоскостности, поверхностей

...двумя исследуемыми волновыми фронтами, смещенными и наклоненными по отношению друг к другу. Поэтому малые случайные смещения и наклоны любых оптических элементов схемы приводят только к малым смещениям интерферограммы и не искажают ее, а это в свою очередь означает повышение надежности и достоверности результатов измерения отклонения поверхности от плоскости, Во-вторых, вместо двух дифракционных решеток в прототипе в поперечносдвиговом интерферометре использована только одна решетка, которая помещена после второго объектива в сходящемся пучке в области фокуса, и поэтому имеет небольшие размеры, независящие от размеров контролируемой поверхности. В-третьих, предложенная оптическая схема с одним делительным элементом позволяет при...

Номер патента: 1460598

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Сойту, Трегуб

МПК: G01B 11/27, G01B 9/02

Метки: интерферометр, кривизны, отражающих, поверхностей, радиусов

...поверхности совпадал с центром кривизны высокоточной поверхности сравнения мениска 7. Отра зившись от контролируемого объекта 1 световой поток, не измеяя своего сферического волнового фронта (при качественном изготовлении контролируемого объекта), возвращается в строго обратном направлении и на высокоточной поверхности сравнения мениска 7 интерферирует с вторым световым потоком, образуя интерференционную картину, которая при помощи линз 6 и 4, светоделительной пластины 3 и окуляра 5 рассматривается в поле зрения окуляра 5.Микросмещени-. ем контролируемого объекта 11 в направлении, перпендикулярном оптической оси, добиваются наличия в цоле зрения окуляра 5 определенного (в зависимости от метода обработки интерференционной картины)...

Номер патента: 1744452

Опубликовано: 30.06.1992

Авторы: Котляр, Сойфер, Храмов

МПК: G01B 11/24

Метки: интерферометр, отражающих, плоскостности, поверхностей

...интерферограммы без ее видоизменения, что повышает надежность и достоверность измерений величины отклонения исследуемой поверхности от плоскости. Делительный элемент расположен в сходящемся (или расходящемся) световом пучке в области вблизи фокуса первого объектива и поэтому имеет малые размеры, не зависящие от размеров контролируемой поверхности. Предлагаемая оптическая схема с делительным элементом (дифракционной решеткой) является примером поперечно-сдвигового интерферометра, в котором величина изгибов интерференционных полос на интерферограмме пропорциональна не величине отклонения контролируемой поверхности от плоскости (как в интерферометре Физо), а пропорциональна первой производной функции отклонения от плоскости, так как...

Номер патента: 1758421

Опубликовано: 30.08.1992

Автор: Хопов

МПК: G01B 11/24

Метки: диффузно, объектов, отражающих, поверхности, профиля

...образом,Положение уголкового отражателя измеряется относительно начального значения, которое фиксируется при помощи второй измерительной системы, Эта система представляет собой интерферометр, который функционирует аналогично устройству измерения размеров обьекта, В опорном плече интерферометра находится зеркало 15, а в обьектном - зеркало 16, относительно которого и фиксируется начальное положение уголкового отражателя б. В момент времени при изменении положения уголкового отражателя, когда на входном окне фотоприемника 17 появляются контрастные интерференционные полосы, блок 18 выдает импульс на счетчик 14 и обнуляет его вь 1 ходы. Первая измерительфокальная плоскость совмещена г плоско 3. Устройство по и. 2, о т л и ч а ю щее с я...