Травитель для ниобата бария-стронция

СОЮЗ СОВЕТСНИНСООИЛЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН Я 01660 8, 29/30 51)5 С 30 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНК АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ н 1 осаИопцш п 1 о 1974,. ИЯ лек олупроет быть я слоев ниобата ения -шение ка" барилкремние иц устройств на При изготовле основе необходим тые слои, так ка рия-стронция про трические свойстм 2-3 мкм. транителя. Сна"тношениях сме 1) Приготовление чала н ныбранных со шивают серную, фтор кислоты, потом пост соляную кислоту. Пол постепенно доводят пературы 20 - 60 С.ть толсата баетоэлекрнах странлин слои нио вляют сег а при тол сто-нодороднуюпенно добавляют ученный раствор о требуемой тем ольэуемый ен, содер авитель, исп сннб.%; к ных сл ГОСУД 4 РСТБЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГИНТ СССР(56) 11 о У., РцгцЬаса Л., 03.еСсЬ ранга дп зйгопгхцш - ЬагЬае. "РЬуз загцз зо 1 Ы 1(а), У 1, 147-153,54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ НИОБАТА БАРСТРОНЦИЯ(57) Изобретение относится кроиной технике, а именно к пводниковой технологии, и можиспользовано для стравливанисегнетоэлектриков, конкретнобария-стройция. Цель изобрет Изобретение относится к электронной технике, а именно к полупроводниковой технологии, ц может быть использовано для стравливания слоев сегнетоэлектриков, а именно ниобата бария-стронция.Цель изобретения - улуч честна поверхности ниобата стронция в вице пленки на вой подложке.н их улучшение качества понерхности ниобата бария-стронция в виде пленкина кремниевой подложке, Для этогоиспользуется травитель, содержащийфтористоводородную (НР) серную(НЯО) и соляную (НС 1) кислоты приследующем соотношении компонентов,об.Х: НР 25-80; НС 1 10-35; Н 8010-50. Травлению подвергались пленки нцобата бария-стронция, полученные методом ВЧ-плазменного распыления, толщиной 1-2 мкм. Травление проводится при 20-60 С со скоростью не ниже 0,1-0,2 мкм/мнн. Монокристаллический кремний и поликристаллический кремний, на которыхсформирован слой ниобата бария-стропция, при этом,не травятся. 1 табл, Фтористонодороднуюкислоту 25-80 Соляную кислоту 10-35 Серную кислоту . 10-50 Для экспериментальной проверки предлагаемого состава приготовляют смеси, которые получают смешивание указанных ингредиентов, Травление осуществляют в следующей последовательности.25-80 10-35 10-50 80 О,Ф НРНС 1Н 80вЮг ННС 1 Зерен осадка нет,чистая поверхность 1 О 2) Травление. Подготовленную дляобработки ппастнну выкладывают воткрытый торопластовый стакан, заливают слоем травителя толщиной 12 си и при перемешивании выдерживают в течение времени, предварительно определенного по контрольномуобразцу,3) Прекращение травления. По окончании необходимого времени образецвынимают из.травителя, тщательно промывают под струей деиониэованной во"ды с обеих сторон,4) Сушка. Тщательно отицтую пластину сушат либо под струей осушенно-.го воздуха нлп инертного газалибоцентрифугированием,П р и и е р. Пластину монокристаплнческого кремния с сформирован Сным слоем ниобата бария-стронция высушивают до постоянного веса на мик. роаиалитических весах с точностью(510) О" г, травят в НР : НС 1ЙБО по приведенной выше методи- .25ке. Снова взвешивают и по убои ввесе рассчитывают среднюю скоростьтравления где фу -,скорость травления,мкм/мии,6 Р - потеря в весе, гд - плотность растворяемоговеществаг/сиравная 1 35В частностиу.5;4 Р/см ,8 - площадь образца, смф.;с,- время травления, мин,Подбор травителя осуществляют таким обрати, чтобы скорость травлеаия не была ниве 0,1-0,2 мки/мин ина поверхности не оставалось налета,В таблице приведены значения скорости растворения слоев ииобата бария"стронция для различных соотношений компонентов. Травлению подвергали пленки ннобата бария-стронция, полученные методом ВЧ-плазменного распыления, толщиной 1-2 мки.Из таблицы видно, что скорость травления в травителях, содержащих большое количество серной кислоты, чрезвычайно низка, а при малом со-, держании соляной кислоты на поверх"1 ности остается нерастворимый налет, содержащий, как показал рентгеновский микроанализ, повышенное количе" ство бария и стронция по сравнению с исходным образцом.Другие отклонения содержания. койпонентов за граничные пределы не дают положительных результатов.Предлагаемый травитель вписывается в маршрут изготовления, так как монокристаллический и поликристаллический кремний не травятся в этом травнтеле. Ф о р и у л а и з о б р е т е н и я,Травитель длп ниобата бария-стронция, содержащий фтористоводородную кислоту., о т л и ч а ю щ и й с я теи, что, с целью улучшения качества поверхности ниобата бария-стронция в аиде пленки на кремниевой подлой" ке, он дополнительно содержит серную. и соляную кислоты при следующей соотношении компонентов, об.йФтористоводороднаяхислотаСоляная кислотаСерная кислота2 . Зерен 0,3-0,6 икм на площади 10 ВЗерен нет, чистаяповерхность 2 3 1Травления практически нет 0,00 5 НРНС 1ЕЕ ФВ 04 0 2 Зерен нет поверхнос с 6 0,15 Поверхность чи тая., эерен нет Травления нрактически нет,0 0,004 То 8 НРНС 1ЕЕ.80,8010 Составитель Е,ПисареГорячева Техред С,Мигунова Корректор И. Эрдели едак Тнр писно венного комитета по иэобретениян и открытиям при113035, Москва, Ж"35, Раущская наб., д. 4/5 эдательскнй комбинат "Патент"г,Уагород, ул. Гагарина,Заказ 4060УЧИЯМ ГосударсеПронэводсгвенноНР . 10 НС 1 1 О ЕЕ,ЗО 4 80 х 10 мкмжд 30 щту