Датчик давления

(5 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления, Цельюизобретения является уменьшение габаритов датчика и повышение технологичности,Для этого в датчике давления; содержащем корпус, квадратную плату 2 с подстроечными резисторами, квадратный полупроводниковый кристалл 3 с тензореэисторами, закрепленный в корпусе на присоедини- тельной трубке и расположенный асимметрично относительно центра платы 2 в прямоугольном вырезе 5, выполненном в плате 2 перпендикулярно и параллельно ее сторонам, вырез 5 расположен в одном из углов платы 2 и выполнен в виде квадрата с размером сторон, определяемым по соотношению а = К+ и, где К - размер стороны кристалла 3, й - зазор между кристаллом 3 и платой 2, 2 ил.Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления,Целью изобретения является уменьшение габаритов датчика и повышение технологичности.На фиг, 1 изображен предлагаемый датчик давления, разрез, на фиг. 2 - то же, со снятой крышкой; вид сверхуДатчик содержит корпус 1 иэ поликарбонатной смолы, квадратную плиту 2 из керамики с подстроечными резисторами, квадратный полупроводниковый кристалл 3 из кремния 1 А 2 КМКЗФ 4,5/7,5-60, закрепленный в корпусе .на присоединительной трубке 4. из стекла ИХС(тензореэисторы не показаны), Полупроводниковый кристалл расположен асимметрично относительно центра платы в прямоугольном вырезе 5, выполненном в плате перпендикулярно и параллельно сторонам платы, Вырез расположен в одном из углов платы и выполнен в виде квадрата. Размеры сторон выреза определены в соответствии с заявляемым соотношением. При размерах кристалла ЗХ 3 мм и зазоре между кристаллом и платой 0,5 мм размер стороны выреза равен 3,5 мм.Тензорезисторы на кристалле соединены с подстроечными резисторами (не показаны) платы при помощи соединительных проводников б. Для подачи напряжения питания и съема выходного сигнала используются выводы 7. Для уменьшения влияния окружающей среды используется крышка 8 из поликарбонатной смолы. Кристалл присоединяется. к присоединительной трубке при помощи электростатики, Расположение выреза в одном из углов платы позволяет уменьшить габариты датчика за счет устранения одного из трех зазоров между кри-. сталлами и платой, а также позволяет более рациональное использование площади пла-ты вследствие наличия на ней одного срав: нительного широкого выступа вместо двух узких, на которых не всегда возможно размещение законченных элементом настройки, Кроме того, выполнение выреза в одном из углов платы позволяет повысить технологичность вследствие уменьшения требований к точности отработки расстояний, угловых координат и положений устанавливаемых сборок в связи с отсутствием необходимости очень точной предварительной ориентации собираемых сборок вследствие сопряжения кристалла и платы только по двум смежным сторонам кристалла (или выреза платы); Сопряжение кристалла и платы только по двум смежным сторонам кристалла (или выреза платы) позволяет осуществлять сборку в плоскости платы и кристалла во всех направлениях, заключенных между перпендикулярными к смежным граням выреза платы.На фиг.2 перпендикуляры показаны 5 знаком 1 - . На фиг. 2 видно, что сборка может осуществляться по любому направлению, заключенному между перпендикулярами,Сборка датчика осуществляется следующим образом.10 Кристалл при помощи электростатикисоединяется с присоединительной трубкой.Трубка с кристаллом устанавливается манипулятором в корпус. Плата предварительно располатается в одной плоскости с кристал лом в направлениизаключенном междуперпендикулярами. к смежным сторонам выреза. Наиболее приемлемым направлением является направление по диагонали кристалла, т,е, под углом 45 к смежным 20 сторонам выреза. На фиг. 2 это направлениеотмечено стрелкой. Манипулятор при помощи механических захватов, толщина которых выбрана равной ширине необходимого зазора между кристаллом и платой, перено сит плату по направлению, укаэанномустрелкой, до касания захватов соответствующих сторон выреза, Толкателем манипулятора плата прижимается к корпусу, закрепляется на нем и освобождается от 30 захватов. Таким образом, плата оказывается автоматически ориентированной относительно кристалла с необходимым зазором.В случае, если кристалл устанавливается на клее, то возможна ориентация кристалла по 35 плате.Габаритные размеры гибридных датчиков давления, изготовленных в соответствии с заявляемым решением, 10 Х 10 Х 16 мм.Таким образом, технико-экономические 40 преимущества предлагаемого датчика давления по сравнению с прототипом заключаются в уменьшении габаритов в 1,2-1,5 раза за счет рационального использования площади платы, а также эа счет .уменьшения 45 количества зазоров между кристаллом иплатой, кроме того, в повышении технологичности за счет возможности осуществления сборки на робото-технических комплексах с пониженными требованиями 50 к точности отработки расстояний, угловыхкоординат и положений устанавливаемых сборок. а также за счет повышения количества направлений, по которым может осуществляться сборка кристалла и платы, 55 Формула изобретенияДатчик давления, содержащий корпус,квадратный полупроводниковый кристалл, в котором по центру выполнена мембрана, закрепленный в корпусе на присоедини- тельной трубке, квадратную плату с под1642284 з= К+й,где К - размер стороны кристалла;Ь - зазор между кристаллом и платой. Составитель Н.Матрохинадактор М,Бандура Техред М.Моргентал Корректор О.Цип аказ 1140 Тираж 361 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 10 строечными резисторами, расположенную в одной плоскости с кристаллом; и тензорезисторы, закрепленные на мембране, при этом кристалл расположен в прямоугольном вырезе платысзазором,отличающийся 5 тем, что, с целью уменьшения габаритов и повышения технологичности, в нем вырез расположен в одном из углов платы и выполнен с размерами сторон з, определяемымииз соотношения