Способ определения функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности

ОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСКИЕСПУБЛИК 1635000 А ф)5 6 01 В 11/30 ГОСУД Р СТВЕ Н 1 ЬПО ИЗОБРЕТЕНИПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТИ ОТКРЫТИЯМ И ИЕ ИЗ БР ЕНИ АВТОРСКОМ ТЕЛЬСТВУ источник 1 излучеастинку 2 враща , коллиматор 4,6, диафрагму 7, ятор 8, фотоэлекции блок 10 связи ет излуче- дномодовоит иэ двух ними и слумирования нтом. Пларазом, что авляет угол лазерного(71) Черновицкий государственный университет(56) Авторское свидетельство СССРФ 1456778, кл. 0 01 В 11/30, 1987,(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФУНКЦИИРАСПРЕДЕЛЕНИЯ УГЛОВ НАКЛОНА МИКРОНЕРОВНОСТЕЙ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИИ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляисследования структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, металлов, полупроводников и т.д., что актуально,в оптикерассеивающих сред, нераэрушающем контИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, металлов, полупроводников и т.д., что актуально в оптике рассеивающих сред, нерэзрушэющем контроле состояния поверхности, приборостроении и других отраслях науки и техники.Цель изобретения - повышение информативности способа эа счет определения функции распределения углов наклона микронеровностей с учетом их пространственной ориентации, определяемой меридианальным и сагиттальным углами.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для реализации предлагаемого способа,роле состояния поверхности, приборостроении. Цель изобретения - повышение информативности способа за счет определения функции распределения углов наклона микронеровностей с учетом их пространственной ориентации, определяемой меридиональным и сагиттальным углами.Задают вращающуюся плоскость поляризации лазерного пучка, определяют азимут поляризации освещающей волны, при котором интенсивность поля в пределах выделенной эоны корреляции минимальна, измеряют поворот плоскости поляризации световых колебаний в данной зоне и по измеренным данным определяют функцию распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности с учетом ф их пространственно-угловой ориентации.1 ил,Устройство содержитния, четвертьволновую плющийся поляризатор 3объектив 5, поляризатормагнитооптический модултрический блок 9 регистраи мини-ЭВМ 11.Предлагаемый способ осуществляетсяследующим образом.На вход устройства поступание от источника 1 излучения - ого лазера. Коллиматор 4 состообьективов и диафрагмы междужит для расширения пучка и форволны с плоским волновым фростинка 2 ориентируется таким обее ось наибольшей скорости сост45 с плоскостью поляризациипучка, что позволяет получить циркулярную поляризацию освещающего пучка. Поляризатор 6 вращается с помощью шагового двигателя (не показан), что обеспечивает вращение плоскости колебаний световой волны относительно плоскости падения, Объект 12 осуществляет поляризационнофазовую модуляцию лазерного пучка, Объектив 5 проецирует изображение исследуемой шероховатой поверхности объекта 12 сквозь поляризатор 3 в плоскость полевой диафрагмы 7, за которой расположены магнитооптический модулятор 8 и фотоэлектрический блок 9 регистрации, Размер полевой диафрагмы 7 выбирается порядка 1/10 части размера зоны корреляции. С помощью вращающегося поляризатора 3 добиваются получения минимального сигнала в иэображении зоны корреляции, которому соответствует угловой отсчет х. Затем с помощью системы поля ризатора 6 - магнитооптический модулятор 8 определяют величину поворота г, азимута поляризации световых колебаний выделенной зоны корреляциил=д 7где т 7 - угловой отсчет.Путем сканирования полученного когерентного иэображения выделяется новая зона корреляции и таким образом, определяется массив значений азимутов поляризации х и поворотов плоскости поляризации с, который накапливается в памяти блока 10 связи с мини-ЭБМ 11 и статистически обрабатывается. В результате получают распределение пространственно-угловых 10 15 20 25 30 35 ориентаций микронеровностей исследуемой шероховатой поверхности Объекта 12.Предлагаемый способ расширяет возможности измерения функции распределения наклонов микроплощадок в наиболее общей сигуации - случайной пространственной ориентации микронеровностей шероховатой поверхности. Формула изобретения Способ определения функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности, заключающийся в том, что освещают исследуемую шероховатую поверхность линейно поляризованной лазерной волной, формируют когерентное изображение исследуемой поверхности в плоскости регистрации, сканируют полученное изображение, выделяют эоны корреляции, измеряют амплитуды поляризации поля в пределах каждой эоны и определяют функцию распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения информативности способа, производят вращение плоскости поляризации лазерной волны, измеряют азимут линейной поляризации освещающей волны, при которой интенсивность поля в пределах выделенной эоны корреляции минимальна, измеряют угол поворота плоскости поляризации световых колебаний в данной зоне, а определение функции распределения углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности осуществляют с учетом их пространственной ориентации по измеренным данным,1635000Составитель Л, Лобзоваедактор Л. Пчолинская Техред М.Моргентал Корректор И. Муска Заказ 747 Тираж 387 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГК113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Произвоственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101