Способ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей

(5 ОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ тивности способа за счет измерения азимута поляризации в пределах площади всей зоны корреляции, а также за счет возможности измерения самой Формы микронеровностей. Облучают обьект 13 лазерным пучком с плоским волновым фронтом и азимутом поляризации вектора электрической напряженности в пределах угла 0 (ср( 90 относительно плоскости падения, проецируют с помощью цилиндрического объектива 7 сквозь магнитооптический модулятор 8 в плоскость линейного фотоприемника 10, осуществляющего разложение иэображения на множество элементов, определяют азимуты поляризации световых колебаний в пределах зоны корреляции, по которым судят о распределении крутизны и форме микронеровностей шероховатой поверхности. 1 ил. измерения самой формы микронеровностей.На чертеженая схема устрописываемый сУстройствония.четвертьвозаор 3,коллобьектив 5, полеческий обьектидулятор 8, полинейный фотозатор 11, миниЭОсущестел яследующим обр К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУЮв(71) Черновицкий государственный университет(56) Авторское свидетельство СССРМ 1456778, кл. 6 01 В 11/30, 1987,(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ КРУТИЗНЫ МИКРОНЕРОВНОСТЕЙ ШЕРОХОВАТЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляисследования структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, полупроводников и др. Цель изобретения - повышениеточности определения распределениякрутизны микронеровностей, имеющихнеплоскую форму поверхности, и информаИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для исследования структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, металлов, полупроводников и др., что актуально в оптике рассеивающих сред, неразрушающем контроле состояния поверхности, приборостроении и других отраслях науки и техники,Цель изобретения - повышение точности определения распределения крутизны микронеровностей, имеющих неплоскую форму поверхности, и информативности способа за счет измерения азимута поляризации в пределах площади всей зоны корреляции, а также за счет воэможности изображена принципиальойства, осуществляющегоп особ.содержит источник 1 излучелновую пластинку 2, полярииматор 4, проецирующийвую диафрагму 6, цилиндрив 7, магнитооптический моляриэатор-анализатор 9,приемник 10, спектроаналиВМ 12,ется описываемый способазом.1645811 7 У У 7 П Составитель Л. Ло Ходакова Техред М.Моргентэов ектор О. Ципле дакт аказ 1552Тираж 393ВНИИПИ Государственного комитета по113035, Москва, Жа,1 изводственно-издательский комбина На вход устройства поступает излучение от источника 1 излучения - однородового лазера ЛГ.Пластину 2 ориентируют так, чтобы ее ось наибольшей скорости составляла угол 45 относительно плоскости колебаний вектора электрической напряженности лазерной волны, что обеспечивает формирование циркулярно поляризованной волны, Поляризатор 3 устанавливают под произвольным углом 0 р ( 90 относительно плоскости падения, Коллиматор 4, состоящий из двух обьективов и диафрагмы между ними /на чертеже не показаны/, служит для расширения пучка и формирования волны с плоским волновым фронтом. Исследуемый обьект 13 осуществляет поляризационнофазовую модуляцию освещающего пучка. Объектив 5 проецирует изображение исследуемой шероховатой поверхности объекта 13 в плоскость полевой диафрагмы 6, которая выделяет отдельные зоны корреляции. Размеры диафрагмы 6 выбираются порядка 1/10 части размера эоны корреляции. Цилиндрический обьектив 7 формирует линейное изображение зоны корреляции и проецирует его сквозь магнитооптический модулятор 8 и расположенный за ним поляризатор-анализатор 9 в плоскость линейного фотоприемника 10, который выделяет М элементов в изображении зоны корреляции, сигналы от которых поступают последовательно в спектроанализатор 11, который выделяет из них гармонически изменяющиеся сигналы, частоты которых кратны частотам магнитооптической модуляции, и затем определяют совокупность амплитуд бк и Ьк. по которым определяют распределение азимутов поляризации,Далее путем сканирования полученного когерентного изображения выделяется но 10 15 20 25 30 35 40 вая зона корреляции и таким образом определяют массивы (д) и (Ь,), которые накапливаются в памяти миниЭВМ 12 и статистически обрабатываются. В результате получают информацию о распределении крутизны микронеровностей. поверхность которых неплоская, а также определяют их форму поверхности,Ф ормул а и зоб рете н и я Способ определения распределения крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей, заключающийся в том, что освещают шероховатую поверхность лазерным пучком с плоским волновым фронтом и с азимутом поляризации вектора электрической напряженности подуглом 0 р90 относительно плоскости падения пучка, проецируют иэображение шероховатой поверхности в плоскость регистрации, выделяют зоны корреляции иэображения и определяют распределение крутизны и формы микронеровностей шероховатых поверхностей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности опре-, деления распределения крутизны микроне- ровностей, имеющих неплоскую форму поверхности, и информативности способа эа счет определения формы микронеровностей шероховатых поверхностей, проецируют изображение эоны корреляции с помощью цилиндрического объектива через магнитооптический модулятор в плоскость регистрации линейного фотоприемника, выделяют частоты сигналов, кратные частоте магнитооптического модулятора, по амплитудам сигналов определяют распределение азимутов поляризации световых колебаний в пределах зоны корреляции ио нему судят о распределении крутизны и форме микро- неровностей шероховатых поверхностей,Подписное бретениям и открытиям при ГКНТ СССРаушская наб., 4/5