Лазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИ СПУБЛИК 5)5 Н 01 1, 21/3Фйб --ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОПОКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР Е ИЗОБРЕТЕН О ВИДЕТЕЛЬСТ 8 ВТОРСКОМ44 М. Буфан, л. Иванов, Морозов, Яковлева тпаг ).о Прос Ьазег кт фирмы Рцч 1.эоп Ап Езгегег Бгее,РАСТРОВОГО ТОШАБЛОНОВ г 1.ез, Сагп Ы.Я.А ЙСТВО ИЯ ФО о етение относится к радиое. Цель изобретения - подежности и расширение фунвозможностей. Лазерное астрового типа для изго(5 Л троникние ннальнойств эл хо р ци ст лазер 1, по ледовательно еркало 2, оп ния луча, оп отное зеркал Изобретение отно лектронике, в част твам для изготовлек радиок устройтошаблонов нологически итс ходу луча расположены тическая ситический зато 5, фокуситное зерка, установкоторого п поворотное т стемавор 4,печатных плат.Цель изобретениядежности устройстваего функциональныхНа чертеже предсустройство, обтройство для инов печатных повышение наи расширениевозможностей.тавлено предлагащий вид.эготовленияплат содержит 9 оро отклоняющеетрическич емое Ус шабло(54) ЛАЗЕРНОЕ УСТРОТИПА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕПЕЧАТНЫХ ПЛАТ товления печатных плат содержит блок управления, технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения луча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фокусирующую систему, в фокусе которой расположена плоскость кассеты с фотоматериалом, поворотные зеркала, зеркальную призму и расположенное эа ним кадровое отклоняющее зеркало с магнитоэлект рическим приводом, датчиком углового положения зеркала и блоком управления движением кадрового отклоняющего зеркала, а кодирующая система соединена с фотоэлектронным умножителем, расположенным в фокусе конденсора, который установлен за плоскостью кассеты с фотоматериалом по ходу лазерного лучауч технологического лазера сканирует плоскость кассеты с фотоматериалом, осуществляя формирование топологии фотошаблонов печатных плат, 1 ил,рующая система б, повор ло 7, эегкальнзя призма ленная на валу двигател ное зеркало 10, кадрово зеркало 11 с магнитоэле приводом 12, кассета слом 13, конденсор 14 и фотоэлектронный умножитель (ФЭУ) 15. Кроме того, устройство содержит блок 16 управления оптическим затвором 4, выод коорого подсоединен к оптическому затвору 4, датчик 17 углового положения призмы 8, датчик 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала 11, блок 19 управления движением кадрового отклоняющего зеркала 11, выход которого подсоединен к управляющему входумагнитоэлектрического привода 12, кодирующую систему 20, вхо - ды которой соединены с выходом ФЭУ 15, датчиком 17 углового положения призмы и датчиком 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала, и блок 1 управления.Устройство работает следующим образом.Луч технологического лазера 1 после поворота зеркалом 2 сжимается с помощью оптической системы 3 до размеров входного окна оптического затвора 4, Рабочий луч, прошедший оптический затвор 4, направляетсяповоротным зеркалом 5 в фокусирующую систему 6, которая фокусирует лазерный луч в плоскости кассеты с фотоматериалом 13. Поворотное зеркало 7направляет луч, прошедший фокусирующую систему 6, на вращающуюся зеркальную призму 8, которая обеспечивает его горизонтальную развертку каждой гранью, Развернутый луч направляется поворотным зеркалом 10 накадровое отклоняющее зеркало 11, обеспечивающее кадровую развертку лучана кассете с фотоматериалом 13. Вклю 40чение и выключение луча осуществляктоптическим затвором 4.В качестве технологического лазера в устройстве можно использоватьаргоновый лазер непрерывного действия(длина волны излучения 0,48 мкм,45 мощность 50 мВт), Оптическая система 3 представляет собой трубку Галилея, оптический затвор 4 выполнен на основе промышленного акустооптического модулятора МЛ, фокусирующая си "тема 6 включает в себя расширитель луча (трубка Галилея) и объектив с фокусным расстоянием, равным плине хо. да луча от фокчсипующей системы до плоскости кассеты с фотоматериалом 13. 5Блок 21 управления (микроЭВМ "Электроника") осуществляет управ;1 ение движением кадрового откпоняющего зеркала 11 в режимах прорисовки и калибровки через "лок 19 управления, а также управление оптическим затвором через блок 16 управления,В режиме калибровки в фокальной плоскости фокусирующей системы 6 вместо фотоматериала устанавливается эталонный образец с нанесенными на него с высокой точностью кпестообразными реперами. За образцом устанавливаются конденсор: 14 и ФЭУ 15, Образец сканируют лазерным лучом в режиме развертки типа телевизионного растоа, В моменты пересечения лучом плеча репера на выходе ФЭУ появляется видеосигнал, который используе.тся кодирующей системой О для инициирования передачи координат точки пересечения от датчика 17 углсвого положения призмы и датчика 18 углового положения кадрового отклоняющего зеркала в блок 2 1 управления, Используя полученный при сканировании массив координат, блок 21 управления вычисляет координаты центров реперов (в единицах отсчета устройства) и, зная реальное положение реперов на образце, вычисляет коэффициенты преобразования от системы координат устройства к системе координат, определяемой реперами на образцеа также величины коррекций, которые необходимо вносить в выводимую информацию для компенсации систематических искажений.Формула изобретенияЛазерное устройство растрового типа для изготовления фотошаблонов печатных плат, содержащее блоки управления. технологический лазер, по ходу луча которого расположены оптическая система сужения луча, оптический затвор с блоком управления оптического затвора, фокусирующая система, в фокусе которой расположена кассета с фотоматериалом, поворотные зеркала и зеркальная призма, установленная на валу двигателя, с датчиком углового положения, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и расширения Аункциональных возможностей устройства, оно снабжено кадровым отклоняющим зеркалом с магнитоэлектрическим приводом, датчиком углового положения кадрового отклоняющего зеркала и блоком управлен:.,я движением кадрового отклоняЗаказ 3741 Тираж 467 Подписное ВНИИПИ Государственного комитет" по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производствепв -пэдатевьский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 ющего зеркала, расположенным междузеркальной призмой и плоскостью кассети с фотоматериалом, и кодирующейсистемой, конденсором ., установленным по ходу лазерного луча у кассетыс фотоматериалом с противоположнойстороны от кадрового отклоняющегозер".ала, и фотоэлектронным умножителем, расположенным в фокусе конденсора, причем кодирующая система соединена с фотоэлектронным умножтелеми блоком управления, а блок управления кадрового отклоняющего зеркалаи датчик углового положения кадровогоотклоняющего зеркала соединены с блоком управления