Измерительный микроскоп для контроля качества оптических деталей и систем

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано и оптическом производстве дляинтерференционного технологическогои аттестационного контроля оптическихдеталей и систем, в том числе с асферическими поверхностями, формирующих сферический волновой фронт,Цель изобретения - повышение производительности и точности контроляза счет того, что контроль осуществляется по интерференционной картинесферического волнового фронта, формируемой микроскопом. 15На фиг. 1 приведена оптическаясхема измерительного микроскопа; нафиг. 2 - вид его поля зрения.Микроскоп содержит микрообъектив 1и окуляр, включающий коллективнуюлинзу 2, плоскопараллельную пластинку 3 со шкалой 4, нанесенной на еезаднюю поверхность, и глазную линзу, 5. Плоскопараллельная пластинка 3установлена с возможностью поворота 25вокруг двух осей, одна .из которыхсовмещена с плоскостью шкалы 4, адругая совмещена с оптической осью00 .микроскопа,В попе зрения микроскопа наблюдаются пятно 6 рассеяния контролируемой детали или системы и интерференционная картина 7.Микроскоп работает следующим об. разом,Изображение Я точечного монохроматического источника, сформированно- го контролируемой деталью или системой (не показаны), проектируется микрообъективом 1 и коллективной линзой2 а плоскость шкалы 4 и затем рассматривается с помощью глазной линзы5. В поле зрения микроскопа (фиг. 2)наблюдается пятно 6 рассеяния. Интерференционная картина бокового сдвигаобразуется при интерференции волно 45вых фронтов, отраженных от гранейпластинки 3. После отражения от задней поверхности коллективной линзы 2волновые фронты проходят глазную линзу 5. В поле зрения микроскопа на 50блюдается интерференционная картина7. В исходном положении пластинка 3перпендикулярна оптической оси 00микроскопа, боковой сдвиг между интерферирующими фронтами равен нулю. 55Интерференционная картина имеетвид концентрических колец, число которых зависит от толщины пластинки 3, и не дает информации об искажениях волнового фронта. Конфигурация интерференционной картины подобна конфигурации контролируемой детали или зрачка контролируемой системы. Для получения информации об искажениях волнового Фронта необходимо ввести боковой сдвиг между интерферирующими фронтами. Боковой сдвиг вводится поворотом пластинки 3 вокруг оси, совмещенной с плоскостью шкалы 4. Угол поворота пластинки 3 составляет несколько градусов от исходного положения. Направление сдвига устанавливается поворотом пластинки 3 вокруг оси 00, причем оба эти поворота взаимно независимы. При введении бокового сдвига в поле зрения возникают интерференционные полосы. Если контролируемая деталь или система не вносит искажений волнового фронта, интерференционные полосы практически прямые. При наличии погрешностей изготовления интерференционные полосы искажаютсяМикроскоп позволяет проводить контроль формы волнового фронта по интерференционной картине бокового сдвига благодаря тому, что между волновыми фронтами, отраженными от поверхностей пластинки 3, установленной между линзами 2 и 5 окуляра, вводится боковой сдвиг, величина которого определяется углом поворота пластинки 3 вокруг оси, совмещенной с задней поверхностью пластинки 3, а направление сдвига устанавливается поворотом пластинки 3 вокруг оптической оси микроскопа,Формула изобретенияИзмерительный микроскоп для контроля качества оптических деталей и систем, содержащий микрообъектив и окуляр, включающий коллективную и глазную линзы и расположенную между линзами в передней фокальной плоскости глазной линзы плоскопараллельную пластинку с нанесенной на нее шкалой, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности и точностиконтроля, плоскопараллельная пластинка установлена с возможностью поворота вокруг двух взаимно перпендикулярных пересекающихся осей, одна из которых .совмещена с плоскостью шкалы, а другая - с оптической осью микроскопа.1580159 Заказ 2003 Тираж 490 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 при ГКНТ СЧС ательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 роизводствен Составитель Л.Лобзова Редактор Н.Лазаренко Техред И.Ходанич Корректор М.Кучерявая