Интерферометр для измерения углов поворота объекта вокруг оси

(51) 1 В 9 02 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТ рЧ Зад8 лб ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельство СССР У 815490, кл. С 01 В 11/26, 1981.Авторское свидетельство СССР У 983449, кл. С 01 В 9/02, 1982. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВ ПОВОРОТА ОБЪЕКТА ВОКРУГ ОСИ (57) Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для прецизионного измерения углов поворота различных объек тов вокруг оси. Целью изобретения является повышение чувствительности и точности измерения углов поворота объекта, достигаемое за счет увеличения приращения разности хода в ветвях интерферометра при поворотах контролируемого объекта благодаря многократным отражениям ннтерферирующих пучков в обеих ветвях, Лазерный пучок 4 разделяется светоделительной пластиной 2 на два, каждый иэ которых направляется в систему иэ трех плоских зеркал. Зеркало 5 - общее для всех ветвей - связано с объектом измерения. При его развороте длина пути многократно отражаемого системой зеркал пучка в одной ветви увеличивается, а в другой уменьшается. Благодаря этому возникает изменение раз- сЮ ности хода интерферирующих пучков, которое регистрируется блоком 10 регистрации. 2 ил.1355863 2возникает приращение Ь разности ходаинтерферирующих пучков, которое регистрируется блоком 10,Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионного измерения углов поворота различных объектов вокруг оси.Цель изобретения - повышение чувствительности и точности измерения углов поворота объекта за счетве.личения приращения разности хода в ветвях интерферометра при поворотах контролируемого объекта благодаря многократным отражениям интерферирующих пучков в обеих ветвях.На фиг.1 изображена схема интерферометра; на фиг.2 - вид по стрелке А на фиг, 1.На схеме интерферометра (фиг. 1 и 2) обозначены лазер 1, светоделительная пластинка 2, пучок 3, полу ченный отражением части излучения лазера пластиной 2, пучок 4, представляющий собой прошедшую пластину 2 часть лазерного луча, общее для обеих ветвей интерферометра плоское зерка ло 5, закрепляемое на контролируемом объекте параллельно оси его поворота, плоские зеркала 6 и 7, образующие друг с другом тупой двухгранных угол, ребро которого параллельно зеркалу 5, 0 плоские зеркала 8 и 9, перпендикулярные соответственно зеркалам 6 и 7 и образующие с ребрами двухграннь я углов, составляемых зеркалами 6 и 7 с зеркалом 5, острые углы 7 , и блок 10 регистрации. Светоделительная поверхность пластины 2 лежит в плоскости, являющейся биссектрисой двухгранного угла, образованного зеркалами 6 и 7. Лазер 1 ориентирован таким 40 образом, что пучки 3 и 4 направлены внутрь двухгранных углов, образуемых зеркалами 6 и 5 7 и 5 соответственоно, под углами 1 = 90 - и(п - нечетное число) к их ребрам и параллельно.зеркалам 6 и 7.Интерферометр работает следующим образом.Пучок лазера 1 разделяется пластиной 2 на два пучка 3 и 4. Многократно отразившись от зеркал 5, 6, 8 и 5, 7, 9 соответственно, зти пучки возвращаются на светоделительную ппастину 2, совмещаются ею и интерферируют. Результат их интерференции регистрируется блоком 10, При разво.роте зеркала 5 оптическая длина хода пучка в одной из ветвей увеличивается, а в другой уменьшается. При этом В результате многократных отражений пучков в ветвях интерферометра малые углы разворота зеркала 5 обеспечивают значительное приращение разности хода, в реэультате чего происходит повышение чувствительности и точности измерений,Формула изобретения Интерферометр для измерения углов поворота объекта вокруг оси, содержащий источник излучения, светоделительную пластину, установленную на пути пучка излучения источника, две зеркальные системы, установленные по ходу соответственно прошедшего и отраженного светоделительной пластиной пучков, и блок регистрации, расположенный таким образом, что его оптическая ось совпадает с зеркальным изображением оси пучка источника, образованным светоделительной пластиной, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерения, зеркальные системы содержат одно общее плоское зеркало, закрепляемое на контролируемом объекте параллельно оси его поворота, второе и третье плоские зеркала, установленные неподвижно таким образом, что их отражающие поверхности обращены к отражающей поверхности первого зеркала и образуют друг с другом тупой двухгранный угол, ребро которого параллельно первому зеркалу, четвертое и пятое плоские зеркала, установленные неподвижно таким образом, что их отражающие поверхности перпердикулярны соответственно второму и третьему плоским зеркалам, обращены к ребрам двухгранных углов, образуемых соответственно первым и вторым, а также первым и третьим зеркалами, и составляют с этими ребрами острые углы, источник выполнен в виде лазера и установлен так, что ось его пучка параллельна второму плоскому зеркалу и составляет с ребром двухгранного углаобразованного первым и вторым плоскими зеркалами, угол 90 - п, где п - нечетное число, а светоделительная пластина ориентирована таким обз 1355863разом, что ее делительная поверхность угла, образованного вторым и третьим параллельна биссектрисе двухгранного зеркалами. Фиг Составитель М.Семчуковедактор А.Огар Техред И.Верес Корректор А ар аз 5767/37ВН Тираж 677 ИИПИ Государствейног по делам изобрете 113035, Москва Ж, Рсн По СС оми и и открытиишская наб д жРород, ул.Проектная,роизводственно-нолигр еское предприяти