156253

Класс Н 051; 21 д, 37 тв156253 СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЪСТ-.лгг одписная группа Л 0 А. Стоян В, Мосее СМЕШАННАЯ МАГНИТО СИСТЕМА ПРИЗМ ЭЛ ЕКТРОН НОГОЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ ЮСТИРОВКИИКРОСКОПА Заявлено 29 июня 1962 в Комитет по делам изобретений и от Опубликовано в Бюллетене изобретениг. за784крытий при 12/26-10овете Министров СССРзнаков16 за 1963 г. и товарных ля юстировк формы выпол Известные смешанные магнитоэлектростатические системы призм для юстировки электронных микроскопов содержат две пары электронных призм, расположенных последовательно одна за другой по ходу пучка. Электростатическая система обладает значительным астигматизмом и комой отклонения при наклоне пучка на углы больше 0,1, а магнитная система - значительной комой отклонения при углах наклона пучка больше 1, причем обе аберрации возрастают с увеличением угла наклона пучка. Это искажает форму пучка и увеличивает зону освещения, снижая при этом яркость,В предлагаемой смешанной магнитоэлектростатпческой системе аберрации уменьшают путем применения немагнитных наконечников с прямолинейными верхними и нижними краями и выбором формы маг. НнтНЫХ ПОЛОСОВ.На фиг. 1 представлена схема электронных призм д и осветителя электронного микроскопа; па фиг. 2 и 3 -пения магнитных полюсов.Система содержит две пары электронных призм 1 и 2, расположенных одна за другой по ходу электронного пучка.Магнитные полюса первой по ходу пучка пары электронных призм 2 снабжены немагнитными наконечниками с прямолинейными верхним и нижним краями. Наконечник, на который подают потенциал, имеет 11-образное сечение. При углах до 0,5 астшматизм системы не превышает собственного астигматизма конденсора; далее он возрастает. До156253полнительный астигматизм, вносимый коррегирующими элементами пластины П-образного сечения, больше нормы. С увеличением расстояния от коррегирующих элементов до оси пучка их влияние уменьшается, поэтому астигматизм при отклонениях пучка в пределах 1 не превышает собственного астигматизма конденсора. В дальнейшем с ослаблением влияния коррегирующих элементов этот угол может увеличиться до 1,5.Таким образом, электростатическое поле в комбинированной магнитоэлектростатической системе юстировки с заземленными электродами, расположенными по одну сторону от пучка, отклоняет пучок практически без аберраций при углах наклона до 1,5, если наконечники верхней и нижней пары имеют прямолинейные края (причем наконецник, к которому приложен потенциал, имеет П-образное сечение).Для устранения астигматизма магнитные полюса со стороны, обращенной к осветителю, имеют прямолинейный край с прямоугольным (фиг. 2) или круглым (фиг. 3) вырезом, а с противоположной стороны края представляют собой полуокружности, радиусы которых равны половине расстояния от нижней точки 3 выреза до нижней точки 4 нижнего края полюса. Подбирая радиус Я кривизны полуокружности и высоту 6 полюса, можно полностью скоррегировать аберрации. При этом коррекция астигматизма не нарушается.Предмет изобретенияСмешанная магнитоэлектростатическая система призм для юстировки электронного микроскопа, содсржащая две пары электронных призм, расположенных последовательно одна за другой по ходу пучка, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения аберраци 11, магнитные полюса первой по ходу электронного пучка пары электронных призм снабжены немагнитными наконечниками с прямолинейными верхним и нижним краями, причем наконечник, на который подан по тснциал, имеет П-образное сечение.2. Смешанная магнитоэлектростатическая система для юстировки электронного микроскопа по и, 1, отл и ч а ю щ а я с я тем, что магнитные полюса со стороны, обращенной к осветителю, имеют прямолинейный край с прямоугольным (или круглым) вырезом, а с противоположной стороны края представляют собой полуокружности с радиусом, равным половине расстояния от нижней точки выреза до нижней точки нижнего края полюса.156253 Г- . - -1 /1ф Фи 2 Составитель В. С. Козловрасимова Техред А, А. Камышникова Корректор И, И. Зльмус актор Типография, пр, Сапунова Подп. к печ. 20/Ч 111 - 63 г.Зак. 2111/17ЦНИИПИ Государственного кМосква Формат б и 70 Тираж 1250 митета по делам Центр, пр. Серо