Вакуумный манипулятор

СОЮЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛ ИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 9) 11) 0 5)5 В 25 ) 21 00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельств184669, кл. В 2521/00 И. Никандров СС 85. НИ ПУЛЯТОРся к вакуумной техдля закрепления, и нагрева изделий в логического оборуения является поасширение технолоа счет обеспечения(54) ВА.КУУМ (57) Изобретен нике и предн перемещения, в вакуумных кам дования. Цель вышение надеж гических возмо ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР НЫЛ МА ие относит азначено ращения ерах техн ю изобре ности и р жностей з нагрева изделий. На торце внутреннеи трубы 11, коаксиально расположенной относительно корпуса 8, закреплен нагреватель 4, а токоподвод размещен в полости этой трубы. Вращение захвата 3 осуществляется от привода 6 вращательного перемещения посредством магнитной муфты 18, сердчник 23 которой размещен на внешней трубе 10, а ротор - на наружной поверхности корпуса 8, При этом захват изделия осуществляется посредством зажимных элементов 32, приходящих в движение посредством привода 7 их перемещений и закрепленных на рычагах 26, шарнирно установленных на диске 25 и подпружиненных относительно его. 2 з.п,ф-лы, 2 ил.зИзобретение относится к вакуумной технике и предназначено для закрепления, перемещения и нагрева изделий в вакуумных камерах технологического оборудования.Цел ью изобретени я является повышение надежности и расширение технологических возможностей за счет обеспечения нагрева изделия.На фиг. 1 изображен вакуумный манипулятор, общий вид; на фиг. 2 - сечение А - А на фиг. 1. 10Вакуумный манипулятор состоит из основания в виде фланца 1, исполнительного органа 2 с захватом 3 и нагревателем 4, приводов поступательного 5 и вращательного 6 перемещения захвата 3 и привода 7 перемещения зажимных элементов захвата.Фланец 1 представляет собой диск с центральным отверстием, имеющий вакуумное уплотнение для герметичного подсоединения к вакуумной камере оборудования.Исполнительный орган 2 состоит из кор пуса 8, расположенного в центральном отверстии фланца 1 и связанного с фланцем 1 посредством сильфона 9, и двух труб, установленных коаксиально оси корпуса, причем внешняя труба установлена с возможностью вращения, один из торцов ее связан с захватом 3, а другой торец - с приводом 6 вращательного перемещения. Торцы внутренней трубы 11 жестко связаны соответственно с нагревателем 4 и корпусом 8,Корпус 8 состоит из секций 12 - 14, герметично саед ненных между собой, Первая секция 12 герметично соединена с сильфоном 9 и расположена внутри него с зазором, достаточным для перемещения перпендикулярно оси манипулятора. Внутри первой 12 и второй 13 секций расположены внешняя 10 35 и внутренняя 11 трубы, причем внутренняя труба 11 соединена с второй секцией 13. Третья секция 14 имеет фланец 15 для установки привода 7 перемещения зажимных элементов захвата и гермовводы 16 для подачи электроэнергии на нагреватель 4.Привод 6 вращательного перемещения захвата представляет собой электродвигатель 17, кинематически связанный с магнитной муфтой 18 через зубчатые колеса 19 и 20. Магнитная муфта 18 имеет ротор 21, уста новленный на наружной поверхности второй секции 13 корпуса 8 на подшипниках 22, и сердечник 23, закрепленный внутри корпуса 8 на внешней трубе 10. Внешняя труба 10 расположена в канале между внутренней трубой 11 и корпусом 8 на подшипниках 24, 50Захват 3 установлен на внешней трубе 10 и представляет собой диск 25 с тремя рычагами 26, поворачивающимися на осях 27 под действием пружин 28, Рычаг 26 имеет плечо 29, на котором установлены ролик 30 и упор 31, последний ограничивает поворот рыча га 26 с зажимными элементами 32 при отсутствии изделия. Нагреватель 4 содержит нагревательный элемент 33, экраны 34, расположенные на изоляторе 35. Нагреватель 4 4закреплен на внутренней трубе 11, Токоподвод к нагревательному элементу 33 осуществляется проводами 36, проходящими внутривнутренней трубы 11 к гермовводам 16.Привод 7 перемещения зажимных элементов захвата состоит из двигателя 37, сильфонного ввода 38, стержня 39 и диска 40.Стержень 39 расположен во внутренней трубе 11 в направляющих 41. При перемещении стержня 39 диск 40 приходит вовзаимодействие с роликами 30 и поворачивает рычаги 26, тем самым открывая зажимные элементы 32 захвата 3.Для обеспечения передачи движениядиску 40 во внутренней трубе 11 имеютсяпазы, соответствующие по форме и размерам диску 40,Привод 5 поступательного перемещениязахвата выполнен в виде двигателя 42,каретки 43, установленной на направляющих 44, смонтированных на фланце 1. Перемещение каретки 43 осуществляется отдвигателя 42 посредством редуктора 45.Также возможно перемещение корпуса 8 в горизонтальной плоскости с помощью дополнительных приводов (не показаны),Вакуумный манипулятор работает следующим образом.При приеме изделия на вакуумный манипулятор с загруженного устройства, например передающего манипулятора, необходимораскрыть зажимные элементы 32 захвата 3 ивыполнить линейное перемещение захвата 3из исходного положения на позицию перегрузки изделия, захватить изделие и вернуться в исходное состояние.Раскрытие зажимных элементов 32 захвата 3 осуществляется при линейном перемещении вперед диска 40, закрепленного наконце стержня 39, который, вступая в контакт с роликом 30, установленном на плече 29 рычага 26, преодолевает усилие пружины 28 и поворачивает рычаг 26 на оси 27.Линейное движение стержня 39 выполняетсяза счет перемещения сильфонного ввода 38,приводимого в движение двигателем 37 приработе привода 7 перемещения зажимных эле.ментов захвата. Величина перемещения определяется датчиками конечных положений(не показаны), установленными на этомприводе,По окончании раскрытия зажимных элементов 32 захвата 3 включается двигатель42 привода 5 поступательного перемещениязахвата, который выполняет линейное перемещение исполнительного органа 3 на позицию перегрузки. Величина перемещенияфиксируется датчиками конечных положений(не показаны), установленными на исполнительном органе.Изделие подводится передающим манипулятором (не показан) на позицию перегрузки, после чего выполняется его захват. Привыполнении этой операции стержень 39 перемещается в исходное состояние до тех пор,пока между диском 40 и роликом 30 не об1 548046 формула изобретения А-А уьиг. Составител ехред И. Вираж 678 Редактор Л. ГратиллоЗаказ 105НИИПИ Государственного113035, МПроизводственно.издател орректор СПодписное евкуь ытиям при ГКНТ ССС д. 45род, ул. Гагарина, 101 комитета по изобре сква, Ж - 35, Рау кий комбинат Пат ниям и отк ская наб. нт. г. Ужг разуется зазор, при этом рычаги 26 под усилием пружины 28 поворачиваются на оси 27 и с помощью зажимных элементов 32 удерживают изделие.Передающий манипулятор, раскрыв свой захват, уходит на исходную позицию. С помощью привода 5 поступательного перемещения изделие устанавливается на позицию технологической операции, например на позицию металлизации. Подается напряжение питания на гермовводы 16, тем самым 10 осуществляя разогрев изделия нагревателем 4. В:ключается двигатель 17, который через посредство шестерен 19 и 20 начинает" вращать в опорных подшипниках 22 ротор 21 магнитной муфты 18.В свою очередь вращение ротора 21 обес 15 печивает вращение в опорных подшипниках 24 сердечника 23 и внешней трубы 1 О, а следовательно, и самого изделия, установленного в зажимных элементах 32 захвата 3, закрепленного на внешней трубе О. Число 20 оборотов вращения изделия определяется скоростью вращения двигателя и системой управления его работой и может меняться в широких пределах. Для исключения механических повреждений захвата 3 при его врашении и отсутствия в зажимных элемен 25 тах 32 изделия служит упор 31, ограничиваю 1 ций перемещение ролика 30 рычага 26 к диску 40, закрепленному на стержне 39 приводаперемещения зажимных элементов захвата.По окончании технологической операции двигатель 17 прекрашает работу, снимается напряжение питания с нагревателя 4 и вакуумный манипулятор перемещается на позицию перегрузки изделия. Подходит передающий манипулятор, захватывает изделие и З 5 стоит до тех пор, пока вакуумный манипулятор не раскроет зажимные элементы 32 и не вернется в исходное состояние. После этого передающий манипулятор уходит на исходную позицию. 6Работа вакуумного манипулятора может выполняться как в ручном, так и в автоматическом режимах в соответствии с введенным алгоритмом работы в микропроцессор или в вычислительную машину,1. Вакуумный манипулятор, содержащий основание, исполнительный орган с захватом и приводы поступательного и вращательного перемещений захвата; двигатели которых установлены на корпусе исполнительного органа, и сильфон, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и расширения технологических возможностей за счет обеспечения нагрева изделий, он снабжен нагревателем с токоподводом, а исполнительный орган выполнен в виде труб, коаксиально установленных вдоль оси корпуса, связанного с основанием посредством сильфона, причем торцы внешней трубы связаны соответственно с захватом и приводом вращательного перемещения, а торцы внутренней трубы - с нагревателем и корпусом, при этом токоподводы размещены в полости внутренней трубы. 2. Манипулятор по и. 1, отличающийся тем, что захват выполнен в виде диска, жестко связанного с внешней трубой, рычагов с зажим ными элементами, шарнирно связанных с диском и подпружиненных относительно него, и привода перемещения зажимных элементов, включаюшего двигатель, связанный с диском посредством стержня, расположенного во внутренней трубе. 3. Манипулятор по п. 1, отличающийся тем, что привод вращательного перемещения выполнен в виде двигателя, кинематически связанного с магнитной муфтой, сердечник которой размещен на внешней трубе, а ротор - на наружной поверхности корпуса.