Способ травления рисунков на металлизированных поверхностях

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 3409 А 1 И 9) (Н) 1)5 С 23 Р 1/О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ чи,оло-.й ап.464 Для рисунка форме и чинуле: 1002,Ю Ф де Д - величина растр штриха;влив ани а форме;а образце,11 ф - ширина штриха Ь - ширина штриха Так ти кр на микр -1-16 х,В табл,1 приведены авы травящей компози езультаты испытаний. зученные соси; в табл.2 -СУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТпо изОБРетениям и ОтнРытиямпРи Гннт сссР Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Омский политехнический интут(54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ РИСУНКОВТАЛЛИЗИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ Изобретение относится к получению рисунков с заданными размерами методом травления на металлизированных поверхностях и может быть использовано в электронике, оптике, точном машиностроении, полиграфии.Цель изобретения - повышение точности воспроизведения рисунка.На металлизированную медью химическим и электрохимическим способами стеклянную пластинку с изменяющимся по толщине медным слоем через трафаретную форму, включающую штриховые элементы с различной шириной штриха (60-860 мкм), наносят композицию. Время травления 10 с при комнатной температуре, За это время полностью удаляется слой толщиной до 0,3 мкм, Отработанную травяшуюкомпозицию смывают водой (30-40 фС), а затем обработанную пластинку сушат.(5) Изобретение касается получениярисунков с заданными размерами методом травления на металлизированныхповерхностях и может быть использовано в электронике, оптике, точноммашиностроении, полиграфии. Цельюизобретения является повышение точности воспроизведения рисунка. Травящая композиция содержит, мас.7) хлорное железо 15-50; олигоэфиракрилатМДФ20-40; аэросил 30-45. Повышение точности воспроизведения рисунка достигается введением в композициюолигоэфиракрилата МДФи аэросила,2 табл. ценки качества получаемогоизмеряют ширину штриха нана образцах и вычисляют велитравливания штриха по формуизмеряют величину неровностриха, Измерения проводяткопе шеорса с насадкой МОВ1534095 МДФ Аэросил 20-40 30-45 Таблица 1 45 1 О 45 40 45 30 35 50 20 30 60 35 20 30 35 Таблица,2 Максимальная ве- личина Времятравления на Качество рисунка Составкомпозиции Ширина Величина Ширинаштриха накопиях,мкм Неровностькрая, мкм максистравли- ваемого растравливания штрихаформы,мкм мальную глубину с слоямеди,мкм штриха,Х 0,3 10 0,5 0,4 0,5 0,7 0,7 0,5 0,7 0,8 1,1 30 0,5 1- 15 20 2,0 1,5 50 5,0 2 -3 50 5,0 830 20 Технико-экономическим преимуществом предлагаемого способа является повышение точности воспроизведения рисунка. Формула изобретения Способ травления рисунков на ме". таллизированных поверхностях, включа ющий печатание на поверхности травящей композицией, выдержку ее в течение времени, обеспечивающего травле-.,н ние рисунка, смывание отработанного травителя и сушку, о т л и ч а ю - 15 щ и й с я тем, что, с целью повышения точности воспроизведения рисунка, травление, осуществляют композидией следующего состава, мас.%:Хлорное железо .15-50 Олигоэбиракрилат 880,0 660,0 336,8 187,0 57,2 880,0 660,0 316,8 187,0 57 р 2 880,0 660,0 316,8 1870 52,3 880,0 660,0 3168 , 1870Г) 8800 660 О 3368 387 О 57,2 880 0 6600 884,4662,6318,4188,357,6884,4664,6319,3389,058,1884,6665,3320,3189,858;3893,2673,8326,3393,559,5902,0693,7339,9205,966,2883,56640 0,5 0,8 1,1 1 ф 5 1,9 1,5 2,1 3,0 3,5 4,0 2 ф 5 5,1 7,3 10,1 35,7 0,4 0,66Продолжение табл.2 1534095 Качество рисунка Величина Ширина растравливания стравливаемого штриха,Х слоямеди, мкм 1,5- 2 Известный 10+ 1,0 5-8+ Показатели качества воспроизведения изобретения сняты на образцах алюминизированной лавсановой пленки с толщиной алюминиевого слоя 0,5 мкм, травление рисунка осуществляют по известному способу, Медные образцы не подвергаются травлению по известному способу. Составитель В.ЕгоровТехред Л.Сердюкова Корректор О. Ципле Редактор Н. Гунько Тираж 805 Заказ 24 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101 Составкомпозиции Максимальная величина Времятравления на максимальнуюглубину,с штриха фордик,316,8187,057,0 800,0300,050,0 Ширинаштриха накопиях,мкм 3 9,0188,957,7 821,1319,357,0 0,7 ,1,0 1,2 2,66,414,0 Неровностькрая, мкм