Сильфонный эксцентриковый ввод вращения в герметизированный объем

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ27 вии с осью, нин эксцент прогреве в ст ведет к умень ний цикла в с ическ нию с состоянии,Эт них напряжелияющих на уследнего. ильфон талостное ушение ил. СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ И ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СССРУ 599119, кл. Е 16 Н 21/18, 1978.(54) СИЛЬФОННЫЙ ЭКСЦЕНТРИКОВЪЙ ВВОДВРАЩЕНИЯ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫЙ ОБЪЕМ(57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в прогреваемых сверхвысоковакуумных установках. Цель изобретения -повьппение надежности ввода, Ввод содержит корпус 1, размещенные в немведущий 2 и ведомый 3 эксцентриковые валы. Валы 2 и 3 связаны междусобой посредством промежуточногозвена 4, Звено 4 и корпус 1 соединяются с сильАоном 5 посредством компенсирующих вкладышей 6, состоящихиз металлических частей 7 и 8 с различными коэААициентами теплового расширения, таким образом,что наибольший прогиб вкладышей 6 при прогреве соответствует местам наибольших деформаций сильфона 5 и уменьшается до нуля к местам, расположенным на оси, перпендикулярной оси максимальных деформаций, положение которой определяется положением эксцентриковых валов 2 и 3 при прогреве. Это положение задается по меткам, нанесенным на эксцентриковый вал 2 и корпус 1. Метка на корпусе наносится при совпадении осей металлических частей 7 и 8 на вкладьппах 6, а метка на эксцентриковом валу 2 - в соответстхарактеризующей направлерика, Предлагаемый вводяет исключить возникновение осых деФормаций в сильйоне при206 510 15 20 25 30 35 40 45 50 55 3 1506Изобретение относится к вакуумнойтехнике и может быть использованодля герметизации подвижных деталейв снерхвысоковакуумцом прогренаемомоборудовании,Цель изобретения - повышение надежности ввода за счет исключениявозникновения остаточных леформацийв сильфоне при обеэгаживающем прогреве в статически фиксированном положении ведущего вала.На фиг.1 приведен эксцентриковыйввод вращения, общий вид ца фиг, 2вид Л ца фиг.1; на фиг 3 - вид Бна фиг,1Эксцентриковьп ввод вращения содержит корпус 1, размещенные в немведущий 2 и ведомый 3 эксцецтриковыевалы, которые связаны между собойпромежуточным звеном 4. Звено 4 икорпус 1 соединяются с сильфоном 5посредством компенсирующих вкладьппей6, состоящих из металлических частей7 и 8, с различными коэффициентамитеплового расширения, таким образом,что наибольший прогиб кольцевых вкладышей 6 при прогреве соответствуетместам наибольших деформаций сильфона 5 и уменьшается до нуля к местам,расположенным на оси, перпЕндикулярной оси максимальных деформаций, положение которой определяется положением эксцентриковых валов 2 и 3 припрогреве, которое задается по меткам9 и 1 О, нанесенньм на входной эксцентриковый вал 2 и корпус 1. Причемметка 10 на корпусе наносится в соответствии с положением оси металлических частей 7 и 8 на вкладьппах 6таким образом, чтобы они совпадали,а метка 9 - на входном эксцентриковом валу 2 в соответствии с осью,характеризующей направление эксцентрика,Реализация переменной величиныпрогиба вкладышей 6 достигается засчет переменного поперечного сеченияметаллических частей 7 и 8, имеющих клиновидную форму, Таким образом, сочетание утолщенной части клина 7 с большим коэффициентом температурного расширения с утоненнойчастью клина 8 с меньшим коэдхЬициентом температурного расширения припрогреве приводит к неравномерномупрогибу вкладьппей 6 в соответствиис требуемой величиной, определяемой прицудительцо деформцроваццым состоянием сильфоца, что принодит к выпрямлению упругой линии сильфона и,как следствие, к устранению остаточной деформации. Подбор материаловпары металлических частей 7 ц 8 производится н соответствии с конструктивно заданным экспецтриситетом итемпературой обезгажинающего прогрева,Преимущество предлагаемой конструкции по сравнению с известной состоит н поньппении надежности. Так, использование вкладышей с биметаллическими полукольцами в стандартном эксцентриконом вводе ВЗСпоказало, что наработка до разрушения сильфона после проведения обезгажинающего прогрева до 350 Г увеличилась с 5,51 О до 1,5 10 циклов, Это поз 5 йволяет увеличить надежность вакуумного технологического оборудования и повысить коэдхЬициецт выхода годных изделий Формула изобретения Гильфонный эксцентриковый ввод вращения в герметизиронанный объем, содержащий корпус, размещенные в нем ведущий и ведомый эксцентриковые валы, связывающее их промежуточное звено и соединяющий последнее с корпусом упругодеформированцый сильфон, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности за счет исключения возникновения остаточных деформаций н сильфоне при обезгажинающем прогреве н статически фиксированном положении ведущего вала, сильфон соединен с корпусом и промежуточным звеном посредством компенсирующих вкладьппей, каждый из которых состоит из двух биметаллических полуколец переменного поперечного сечения, металлы пар которых с .большим и меньшим коэффициентами теплового расширения соответственно размещены диаметрально противоположно друг другу на противоположных торцовых поверхностях соответствующего вкладьппа, при этом положение биметаллических полуколец, связь 1 вающих сильфон с промежуточным звеном,соответствует положению почуколец,связывающих сильфон с корпусом1506206 Со ведактор Н,Лазаренко Те Коррект ожо Заказ 5410/38 Тираж 72 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 КНТ ССС Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 О Фиг. ставитель А,Храмцохред М.Ходанич Юидб