Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника

(56) Ющук С.М., Попние электросопротивночных контактов. -тория, 1973 11 4, сАвторское свидетФ 1250982, кл. С 01 ником. Согласно данному способу измеряют сопротивление участка проволоки заданной длины путем подсоединения к проволоке пары зажимов,измеряют сопротивление участка тонкопленочного проводника также заданной длины путем установки на плейкепары шупов, затем определяют длиныучастков проволоки и тонкопленочного проводника от контактного соединения, равные половине от первоначально заданных, измеряют сопротивление цепи: половина участка проволоки - контактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника, путем подсоединения к ним первого зажима и первого щупа и измеряют сопротивление участка цепи: половина участка проволоки - контактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника путем подсоединения к ним второго зажима и второго щупа, а сопротивление контактного соединения определяют по формуле, приведенной в описании изобретения. 1 ил. Павлиш,Смеркло Измереоплелаборанко А.И ения то аводска ство С 27/00,СР198 ражен атически и ротроНа чбъектСогл ртеже сх змерения сит к эле тени Изобхинке микроэле ольэованоивления в частности к ожет быть исп ежу провол 1 че сно черт актное с нике, и измерен тактных еди ение ез электросопроединений инт альн мик подложодсоеди при- заложенным 6 - мест 3, расп чем 5 и жимов и хем и микросборок.эобретенияеделения сопрсоединения. точ овышен тивлен е ительного прибора а 7 и 8 - места к сти тановрово тактно ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯГ%фИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТНОГО СОЕДИНЕНИЯ ПРОВОЛОКИИ ТОН КОПЛЕНОЧНОГО ПРОВОДНИКА(57) Изобретение может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок.Цель изобретения - повышение точности процесса измерения - достигаетсяэа счет введения дополнительной операции измерения участка цели контактного соединения, образованного проволочным выводом и пленочным провод -тонкопленочнымпроводником142309 10 15 виде Кку) КкЗ Виде Клщ е Ккщ 9 водник, соответствующих 1 -му и 2-му ки щупов нд то)колечцом провод -ггике 3,Определение сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника осуществляется следующим образом.Измеряется сопротивление К отдельного учдсткд проволоки 1 путем подсоединения к цей двух зажимов нд заданном расстоянии 1, Проводится замер сопротивления цд измерительном приборе и регистрируется измеренный результдт. При этом результат измерения представляется в К = К + Ку +Ккр + Кку + Кп) )(1) где К), Ку - сопротивления 1-го и 202-го зажимов соотнетственцо,- переходные сопротивления контактов зажжим - проволока, со ответствующих 1 -му и2-му зажимамКпр - сопротивление участкапроволоки,Измеряется сопротивление Х) отдельного участка тонкопленочного проводника 3 путем устдновки на пленкудвух щупов нд зддацном расстоянии 1.Проводится замер сопротинления измерительным прибором и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения представляется в К ) = Кщ + ,д +Хлщ +Кщ+Кл) (2) 40 где Кщ Ки) - сопротивление 1-гои 2-го щупов соотнетственно,переходные сопротцнления контактов щуптонкопленочный прощупам,Кя) - сопротивление участ ка тонкопленочного проводника,Далее последовательно измеряютсясопротивления К к, и К 4 участка цепипроволока 1 - контактное соединение 2 - тонкопленочный проводник 3,путем с)ответствующего подсоедине -ция 1 -го или )-го зажимов к проволо. ке 1 нд 1)дсс гояции 1- 1 о м.та2 контактного соединения 2 и со)тнетствующей устднон) и 1-гс или 2-го щупон ца пленочный проводк 3 цд1расстоянии 1 от местд ко)тактгг)2соединения 2. Проводится замер сопротивления измерительным прибором И РЕГИСтРИРУЕтСЯ ИзМЕРЕЦНЫй РРЗУЛЬтат.При этом результаты измерения можно предстдвить в виде1 1 К 3 Кр +Кк+2 Кпр+К+ - Кпл Ф+К, + (4) где К)К к) ) КлрКпл )1Ккг, Кщ,) - сос гдвляющиР измеренного сопротивлениясогласно уравнениям(1) и (2),К - сопротивление контактного соединения.Суммируя уравнения (3) и (4) ссоответствующей подстанонкой в ихправые части значений из (1) и (2),находят сопротивление контактногосоединения.Таким образом, сопротивление контактного соединения находят, пронедя четыре отдельных замера, сопротивления участка проволоки К, сопротивления участка тонкопленочногопроводника Кди сопротивления участка цепи половина участка проволокиконтактное соединение - половина участка тонкопленочного проводникапри соответствующем подключении кним пары измеритеЛьных зондов: 1-йзажим и 1-й щуп и пары измерительныхзондов: 2-й зажим и 2-й щуп Ки К 4по формуле1К = (Кз + К 4 - К - К)., (5) Для обеспечения необходимых расстояний при установке зондов используют инструмент или прибор для измерения линейных размеров, например микроскоп УИИ.При использовании предлагаемого способа повьшается точность опреде92309 л. глине ил я и зме рител я с опротивления через второй зажим и второй щуп, а сопротивление контактного соединения определяют по формуле б- 2(К + К К( К) ф гле К, - измеренное сопротивление участка проволоки; К, - измеренное сопротивление участка тонкопленочногоСпособ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкопленочного проводника, заклю 10 чающийся в том, что измеряют сопротивление участка проволоки путем подпроводника,К 1 - сопротивление участкацепи: половина участка проволоки - контактное соединения к участку проволоки измерителя сопротивления через пару за 15 жимов, измеряют сопротивление участка тонкопленочного проводника путем подсоединения к участку тонкоплесоединение - половинаучастка тонкопленочного тивления через пару щупов, из 20меряют сопротивление участка цепи: тактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника путем подсоединения измерителя сопротивления через первый зажим и первый щуп, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что с целью повышения точности,измеряют сопротивление участка цепи: половина участка проволоки - контактЭО ное соединение - половина участка Составитель В. БобровРедактор И. Горная Техред А, Кравчук Коррек Горная 3873/48 И Государственного 113035, За ВН Тираж 713митета по изобретениясква, Ж, Раушская одписноеоткрытиям ид. 4/5 Т СС роизводственно-издательский комбинат Патен. Ужгород, ул. Гагарина, 101 нив ртхг ( я, (1 1 ныхо 1 )дн х ( зОтпалп(мых у( рйста такм е удешевляете я проне.с з г(- ления измерительных )(. Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я ночного проводника измерителя сопрополовИна участка проволоки - контонкопленочного проводника путем проводника, измеренноепутем подсоединения к нимизмерителя сопротивлениячерез первый зажим и первый щуп;К 1 - сопротивление участка цепи:половина участка проволоки - контактное соединение - половина участка тонкопленочного проводника,измеренное путем подсоединения к ним измерителясопротивления через второйзажим и второй щуп.