Способ изготовления составного рубин-керамического микроинструмента

союз сОВетскихсоциАлистическихРЕСПУБЛИК 51 4 С 0 5/ 1 е относ абаритн икроинс для расп схем в Изобретен одству мало отовок дляладыв аютодин сложей, Подд ится к произых изделий-затрумента; исайки (разварки) ьзуемого отово электроннои,и иотехничес тегральн в ко раствор ной прап укладываю и сушат п температур скоростью течение 1 поднимают темпю 100-150 С/ч дают при этой т1,5-2 ч, охлажд за коро)пературе ыдержитече ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЫ Т(56) Электронная техника: Научнотехн.об. Гаэоразрядные приборы,1971, вып. 2 (22), с. 98-104.Типовой технологический процессКТРПГА 01201.00046: Комплект документов на типовой тех. процессизготовления стержней КтРи Кт ПГА.012 01, 00074,(57) Изобретение относится к произ"водству микроинструмента для распайки интегральных схем в электронной,электротехнической и радиотехнической промышленностях. Изобретение наэлектротехническои радкой промышленностях.Целью изобретения является повышение выхода годных и стойкости микроинструмента.Керамический корпус заготовки формуют из шлихера состава 85,52 керамика ВК 94-2 и термопластичная связка 14,57 Перед формованием в литьевой форме размещают рубиновый наконечник. Отформованные заготовки ук 8014707 правлено на повышение выхода годныхи стойкости микроинструмента. Дляэтого корпус заготовки формуют путемзаливки рубиновой втулки керамическим шликером. Затем заготовку подвергают утильному обжигу, пропитывают на полную глубину насыщенным спиртовым расТвором хлорида марганца исушат следующим образом: нагреваютдо 10010 С со скоростью 15-20 С/ч,выдерживают, нагревают до 550+10 Ссо скоростью 100-150 С/ч, снова выдерживают. При этом спекание ведут сдвумя изотермическими выдержками:при 1200+10 С и максимальной температуре, составляющей 1520+30 С, причем скорость нагрева в интервале1200-1520 С составляет 100+10 С/ч.Выход годных составляет 40-423, стойкость микроинструмента повышаетсяв 1,5-2 раза, 4 табл. керамические подцоны техническои саливают в печь, льный обжиг за-заготовки опус- нный спиртовой арганца до полэаготовки вновь ческие поддоны у режиму: до нагревают со выдерживают в пересыпаяны устанавтвляют удстуженныецентрировористого мки. Затемна керамиследующемы 100+1 бС15-20 С/ч3 1470727ют с печью в течение 15-16 ч (табл.1и 2).Второй обжиг осуществляют в вакуумной печи типа СНВ или СШВ последующему режиму: равномерныйподъем температуры в течение 3-4 чдо 1200410 С, выдержка 1 ч, подъемтемпературы со скоростью 100+10 Сдо 1520 ф 30 С, выдержка 1 ч и охлаждение с печью 10-12 ч (табл.З и 4),90Выход годных изделий 40-427.Стойкость микроинструмента повьппается в 1,5-2 раза,Зависимость выхода годных изделий 15от скорости подъема температуры до100+10 С приведена в табл.1. Таблица 3 Выход годСкорость 5 подъематемпературы,С/ч Примечание ных изделий, Е Экономическинецелесообразно 100 110 120 42 41 32 18 Микротрещины соединения130 Таблица 1 Зависимость выхода годных от20 температуры окончательного обжига приведена в табл.4. Выход годных изделий, % Скорость подъема температуры,С/ч Примечание Таблица 4 Выход год- Примечаниеных изделий, Е Температура, С 10 40 Экономическинецелесообразно 1450 Непрочное соединение рубина с керамикой 15 20 25 41 40 36 30 МикротрещинысоединенияТрещины сое"динения 40 41 42 42 40 33 1500 1510 1520 1530 1550 1600 35 Пережог керамики и соединения Таблица 2 40 Скорость подьема температуры, С/ч Выход годПримечание ных изделий, Е 45 90 40 Экономическинецелесообразно 40 40 32 100 150 200 250 50 МикротрещинысоединенияТо же 55Зависимость выхода годных изделий от скорости подъема температуры в интервале 1200-1520 С приведена в табл.3,Зависимость выхода годных изделийот скорости подъема температуры до550+10 С приведена в табл.2. Формула изобретения Способ изготовления составного рубин-керамического микроинструмента путем формования из термопластичного шликера на основе алюмооксидной керамики ВК 94-2 заготовки с рубиновой вставкой на торце с последующим утильным обжигом и слеканием в вакууме, включающим равномерный нагрев за 3-4 ч до 1200 С, нагрев до максимальной температуры, выдержку при ней.и охлаждение, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения выхода годных и стойкости микроинструмента, заготовки после утильного обжига пропитывают на полную глубину насыщенным спиртовым раст5 1470727 Составитель А.ФедотовТехред Л.Сердюкова Корректор Л.Патай Редактор Н.Гунько Заказ 1433/27 Тираж 589 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10 вором хлорида марганда, сушат путемнагрева до 100+10 С со скоростью15-20 С/ч, выдержки, нагрева до 550++10 С со скоростью 100-150 С/ч и пов 5торной выдержки, а спекание проводят с двумя изотермическими вьщержкамн - при 1200 л 10 С и максимальной темпераотуре 1520+30 С, причем скорость наго рева в интервале 1200-1520 С составляет 100+10 С/ч.