Способ юстировки зеркал резонатора лазера

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 464856 А ся)5 Н 01 Я 3/08 САНИЕ ИЗОБРЕТЕН ТЕЛЬСТВУ ВТОРСКОМУ С е бюро А ко, И.В,М СР 5.КАЛ РЕЗ асти кв исполь сится к о может бы 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СМ 286823, кл. Н 01 Я 3/086, 197Авторское свидетельство СМ 1101128, кл, Н 01 5 3/086, 19(54) СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ЗЕНАТОРА ЛАЗЕРА(57) Изобретение отнотовой электроники и вано при работе с лазерами, требующими периодической настройки резонатора, Цель изобретения - повышение точности юстировки. Юстировка зеркал 2.1 и 2,2 резонатора заключается в выделении из области поперечного сечения пучка части потока излучения с поперечным размером, не превышающим размеры поперечных мод для данного типа резонатора, измерении степени пространственной когерентности лазерного излучения в пределах указанной эоны и определении величины и направления угла раэъюстировки по величине и направлению уменьшения степени пространственной когерентности от своего максимального значения, 2 ил.Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано при работе с лазерами, требующими периодической настройки резонатора.Целью изобретения является повышение точности юстировки.На фиг.1 и 2 изображены варианты устройства для реализации способа,Устройство для реализации способа функциональнО сОстОит иэ следующих эл 8- ментов фиг,1): лазера 1, зеркала 2,1 и 2,2 которого Образуют резонатор, диафрагмы 3, устройства 4 для измерения изменений стагани пространственной когерентности лазерного излучения и регисратора 5 оптического излучения, Зеркала 2,1 и 2,2 резонатора помещены в держатели на фигурах не показаны), обеспечивающие относительные угловые перемещения зеркал. Размеры и форма отверстий в диафрагме 3 определяются размерами поперечных мод лазерного излучения, т,е. зависят от свойств резонатора и активной среды лазера. Р качестве устройства 4 для измерения изменений степени пространственной когерентнссти может быггь испбльзован интерферсметр поперечного сдвига. В качесве регистратора 5 может служить непрозрачный экран визуальная регистрация) либо пространственный регистратор оптического излучения типа еидикона, матрицы на прибосе с зарядовой вязью и т,п,Размеры выделенной зоны 1, е пределах кгп арой измеряют степень пространственной кОГар 8 нтнссти излучения, не должны и.;ееышать Оазмерсв поперечных мод ал; кснкратнсгс типа резонатора, т,е, дслхкны удовлетворять соотношению б с двумя отверстиями, установленный с возможностью поворота вокруг оси, параллельной оси резонатора. Если расстояниемежду центрами отверстий е экране удав летворяет соотношению 1), то в плоскостирегистрации, состоящей от экрана с отверстиями на расстоянии 7, наблюдают инерференционные полосы. Контраст указанных полос зависит от модсесй структуры излуче О ния для данной конфиг, рации резонатооа иактивной среды лазера, а т:-оке от размеров отверстий в экране, При рвенстве размеров отверстий йх диаметр о выбирается из условия обеспечения ксн 1 раста еозникаю щих в плоскости регистрации интарфаоенционных полос, что с использованием критерия Рэлая приво вик следующему неравенству;2 О1 Е г-41где А - длина волны из.;учения Генерации. Последняя формула определяет ееличи 25 ну верхней границы размсрое отверстий е экране,При сьюстированном резонатора е пло скости регистрации наблюдают систему КОНРастных ИНТаРфаР 8 НС ИОННЫХ ЛОГОС. 30 параллельных линии, ссединясшей центры отверстий, Расстояние х между полосами ОППЕДЕЛЯЕТ Я И, Сот Ос а .,;Ил ГЬГда Кфрчисло зон Фрс", аля н; поверхности экрана с отверстиями для сха ь 1 рагстрации, гда 3 - поперечный размер сечения активной ср 8 ды лазара;М - -.исло возбуждаемых в рсзснатсрепоперечных мод,Е аличина 1 сгоедаляет допускаемый диапазон Оазьюстирсехи резонатора, прикотором з;",.:аса;ыеаатся сигнал рассогласования,На фиг.2 предстаелан вариант устройства,;ря гаалиации сг,особа, в котсссм выделение излучения в пределах однойпспаречно. мс.г.,ы и измерение измеренияСтагани ПРССТРаНСтваННОй КОГЕР 8 НтНОСтиОсущесталястся с ПОМОщью схемы Юнга. Вэтом случа 8 эмастс диафраГмы 3 и устройства 4 для измерения изменений степени прсСТРЕ СТЭЕ - Ной КогаРаНТНССТИ ЛаЗЕРНОГОизлучения используют непрозрачный экран Разъюстироека резонатора приводит куменьшению посс ранс, ванной ксгерантнссги лазерногг излучения т.е, к уменьшению контраста указанных Г, т.;с+арен:. Ионны, пс лос, Вращением экрана с Отверстия"1 и зс, ругоси, параллельной оптической сс 1: резонатора., определяют пслсж,ниа е кстсрсм контраст полос минимален, Зтс . слсжачиа соответствуетнаправлению разьюстирсеки, т,е, угол саз,-, БО,сстирсвки лежит в плоскости, прсхсдчщсй через линию, ссадиняюси-к 1 центры отверстий,и Оптическую ось резонатора, Таким сбслзом, величину разьюстиссвки сграделя 1 ст пс еалиЧИН 8 ОТКЛонаНИЯ; таП 8 НИ Г 1 РССТРаНСТЕанной 55 когарентнссти От сесагс макс,.мгльнсгс значения, Направление разьюстир:еки спредалясг по направл 8 нию мяксимельнсгс уг 18 ньшсния степени пссстранстваннсй сгарантнс-тн азарногс излучения1464856 П р и м е р, Согласно описанному способу осуществлялась юстировка резонатора электроразрядного эксимерного лазера типа ЭЛ Иактивной средой на Хе-С 1 ( Я = =308 нм). Плоскопараллельный резонатор лазера был образован непрозрачным алюминированным зеркалом и кварцевым эталоном бе; порь:тия. Резонатормел длину около Ж см, а поперечное сечение выходного пуха излучения составляло 2010 м гпля измерения изменений сте; ени пространственной когеренгности лаз:.оного;: учения использовалась схема Онга, т.е. по ходу,чка лазерного иэл".чени": вводился непоозрачный экран с двумя отврстиями, Диаметры отверстий были рав ны друг др,.ч и составляли 15 мм, Рас"тояние :ежд, цен грзми о веостий было раьно 100 мкм,Для случая съюстированно о реэанато. ра кон.раст;,нтерференционной картины :-.оставил 0,35 (видность полос равнялась 0,18), в то врем.": как для оезонатора, разьюстированног,: н 3 6 мрад, контрастинтерфеген ионной картины не превьшал 0,08 видно ь полос ".коло 0,04).;.писанный сп;сгб юстировки резонатор иззвол:".т с :соксй точностью оуще стаи, ь ю:.,тир. у резонатора лазера, об, с; ечиваяои этм достижение максима/.ьнпй напсавленности выходного излу й 1 Составитель Г,КузнецоваТехред М.Моргентал Корректор М.Кучерявая Редактор Т рчиков Подписноетета по.изобретениям и открытивд, Ж, Рдушская ндб., 4/5 при ГКНТ СС Про тельский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 1 ввод твенно Заказ 593 .Тираж ВНИИПИ Государственного ком 113035, Мочения, в том числе резонаторов лазеров, работающих на аксиальных модах более высокого порядка, чем мода ТЕМооя, а также лазеров с высоким фоном суперлюминес ценции в выходном излучении. Достоинством предлагаемого способа является также возможность экг.рессцого контроля юстировки резонатора лазера посредством визуального наблюдения контоастности 10 интерференцисч ,ых олос на экране,Формула изобретения .:,пособ;остир;.:. и зеркал резонаторалазера, заключаюгцийся в выделении части 15 потока излучения из области поперечногосечения пучка излучения лазера и последующем определении величины и направлении угловой разьюстиоовки зеркал резо чатооа, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с 20 целью повышения точности юстировки, изобласти поперечного сечения пучка излучения лазера выделяют зону, размеры которой не превышают размеры поперечных мод ц" ля данного типа резонатора, измеряют 25 из ене;:иестепени пространственнойкогерентности лазерного излучения в пределах указанной зонь. и определяют величину и напоавление ула разьюстировки по величине и направлению уменьшения степени 30 пространственной когерентности от своегомаксимального значения.