Вакуумная установка

,П; Созинов Г,И.; СО 1 ОЗ СОВЕТСКИХсОциАЛистических РеспуБлик ТОСУДЮСТВЕННОК ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ББ,АНКЕ ИЗ(21) И 86473/29 (22) 23.01.87 (46) 15.10.93 Бюл, Мо 37-38 (71) Специальное конструкторское бюро по энергохимической аппаратуре и машинам "ЭнергохиммаВ (72) Деменева В.ССекисов Б Шишкина ТА . (Я) ВА 1(УУМНАЯ УСТАНОВКА (57) Изобретение может быть использовано в конструкциях автоматизированных вакуумных установок на базе холодных диффузионных насосов, Цель изобретения - ооеспечение непрерывности выкуумной установки с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования. Холодный диффузионный насос выполнен в виде корпуса (К) 1 с вхоцным патрубком 2 и размещенными в( 1 соО 9) "О (и) 3.459355 А 1 пловым блоком 3 и криогенным экраном (КЗ) 4. Форвакуумный насос 6 соединен с К 1 и емкостью 5 ,цпя хранечия рабочего тела. Второй холодный диффузионный насос выполнен в виде К 9 с входным патрубком 10 и размещенным в К 9 сопловым блоком 11 и КЗ 12. Насос 6 соединен с К 9 и ем - костью 13 для хранекия рабочего тела второго насоса. Емкости 5, 13 снабжены КЗ 17, 18 и тепло- изолированными криогенными трубопроводами (КТ) 19, 20 с регулирующими вентилями 21, 22. )(Т соединен с КЗ 12. КТ 20 соединен с КЭ 4. КЗ 4, 12, 17, 18 снабжены нагревателями 23 - 26 и датчиками 2 - 30 т - ры. Датчики 31 - 34 давления установлены на К 1,9 и емкостях 5, 13, Вентили 21, 22 и запорная арматура 8, 15 через сстеу 16 управления связаны с датчиками 27 - 30, 31 - 34. 1 ил.Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к конструкциям автоматизированных вакуумных установок на базехолодных диффузионных насосов.Цель изобретения - обеспечение йепрерывности работы с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования,На чертеже представлена схема установкиВакуумная установка содержит холодный диффузионный насос, выполненный в .виде корпуса 1,с входным патрубком 2 иразмещенными в корпусе 1 сопловым блоком 3 и криогенным экраном 4 и снабженный емкостью 5 для хранения рабочего тела, 16и форвакуумный насос 6, соединенный форвакуумной магистралью 7 с запорной арматурой 8 с корпусом 1 диффузионного насоса.и емкостью 5 для хранения;рабочего тела,, установка дополнительно содержит второй 20холодный диффузионный насос, выполненный в виде корпуса 9 с входным патрубком10 и размеценными в корпусе 9 солловымблоком 11 и криогенным экраном 12 и снаб-.женный емкостью 13 для хранения рабочего 25.тела, дополнительную форвакуумную магистраль 14 с запорной арматурой 16; соединяющую форвакуумный насос 6 С корпусом9 и емкостью 13, и систему 16 управления.Емкости 5 и 13 для хранения рабочего тела 30снабжены криогеннйми,экранами 17 и 18 итеплоизоли рованн ыми криогенными трубопроводами 19 и 20 с регулирующими вен-,тилями 21 и 22, причем криогенныйтрубопровод 19 емкости 5 соединейс крио.генным экраном 12, криогенный трубопровод 20 емкости 13 - с криогенным экраном4. Криогенные экраны 4, 12,17.и 18 снабжены нагревателями 23-26 и датчиками 27-30температуры, а установка снабжена датчиками 31-34 давления, установленными накорпусах 1 и 9 и емкостях 5 и 13 диффузионных насосов, а датчиками 35 и 36 давления,установленными на форвакуумных магистралях 7 и 14, при этом. регулирующие вентили 21 и 22 и запорная арматура 8 и 15 через систему 16 управления связань 1 сдатчиками27-36 температуры и давления.Установка работает следуюцим образом, 50Корпуса 1 и 9 диффузиох насосовпараллельно подсоединяются к откачиваемому обьему, а емкости 5 и 13 заправляютсярабочим телом, например двуокисью угле.рода,После создания предварительного вакуума в корпусе 1 при помощи форвакуумногонасоса 6 по сигналу датчика 35 арматура 8 закрывается, а вентиль 22 на криогенном трубопроводе 20 открывается и в экран 4 подается жидкий азот, охлаждая его до температуры, обеспечивающей конденсацию рабочего тела. По достижении необходимой температуры экрана 4, фиксируемой датчиком 27, в соплавой блок 3 из емкости 5 подается рабочее тело, Одновременно открывается арматура 8, корпус 1 откачивается насосом 6. Истекающее из соплового блока 3 в виде сверхзвуковой газовой струи рабочее тело захватывает откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 через входной патрубок 2, и переносит его в форвакуумную зону корпуса 1. откуда он удаляется насосом 6, При этом рабочее тело конденсируется на экране 4, образуя слой криоосадка. Запуск второго диффузионного насоса и последовательность его работы аналогична вышеописанной для первого диффузионного насоса.Вакуумная установка позволяет в автоматическом режиме работать поперечно каждомуиз дифФузионных насосов, причем при работе первого насоса второй регенерируется,и наоборот.Регенерация насоса осуществляется следующим образом,В экран 4 корпуса 1 диффузионного.насоса прекращается подача криогенной жидкости, и включается нагреватель 23, Ранее сконденсированный на экране 4 слой рабочего тела сублимируется, и его пары через открытую запорную арматуру 8 попадают в емкости 5,.где конденсируются на охлаждаемом экране 17. Процесс продолжается до полной утилизации рабочего теда в емкости 5.Момент включения насоса ка регенерациюопределяется по показаниям датчиков 31 и 32 давления на входе в насосы.Таким образом, описанная вакуумная установка позволяет обеспечить непрерывностьвакуумирования в автоматическом режиме, что достигается попеременным включением одного из диффузионных насосов на откачку обьекта, а другого - на регенерацию, а также выполнением емкостей для хранения рабочего тела вне корпусов насосов, позволяя обеспечить снять по криогенной жидкости между контуром охлаждения одного из насосов и контуром охлаждения емкости для хранения рабочего ,тела другого насоса,Ф56) Авторское свидетельство СССРМ 981708, кл, Г 04 Г 9/02, 1981,Составитель Г.РожковаТехред М.Моргентал Корректор А.Мотыль Редактор Н.Коляда Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Заказ 3185 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, улХагарина, 101 Формула изобретения Вакуумная установка, содержащая холодный диффузионный насос, выполненный е виде корпуса с входным патрубком и раз- . . мещенными в корпусе сопловым блоком и 5 криогенным экраном и снабженный емкостью для хранения рабочего: тела, и форвакуумный насос, соединенный форва. куумной магистралью с запорной арматурой с корпусом диффузионного насоса.и емкостью для хранения рабочего тела, О тл и ч аю щ а я с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы с одновременной автоматизацией процесса вакуумирования; установка дополнительно содержит втоРой холодный диффузионный насос, выполнейный в виде корпуса С входным патрубкоми - размещенными в корпусе.сопловым блоком и криогенным экраном и снабженный емко.стью для хранения рабочего тела, доаанительную форвакуумную магистраль с О запорной арматурой, соединяющую Форва 1 куумный насос с корпусом и емкостью для хранения рабочего тела второго диффузионного насоса, и систему управления, при этомемкости для хранения рабочего тела снабжены криогенными экранами и тепло- изолированными криогенными трубопроводами с регулирующими венчлями, причем криогенный трубопровод емко:ти первого диффузионного насоса соединен с криогенным экраном второго диффузионного насоса, криогенный трубопровод емкости второго диффузионного насоса соединен с криогенным экраном первого диффузионного насоса,. криогенные экраны диффузионным насосов и емкостей снабжены нагревателями и датчиками температуры, а установка снабжена датчиками давления, установленными на корпусах и емкостях диффузионных насосов на форвакуумных магистралях, при этом регулирующие вентили и запорная арматура через систему управления связана с.датчиками давления и температуры.