Раствор для травления меди

СОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБВИК ЗР 1/ БРЕТЕНСТВУ 21) 22) 46) 7) 4241 720/3 -0207.05.875,02.89. Бюл. У 6Тульский политехничетВ,В. Любимов, В.Д. СКочеткова и Г.В. Гущ621.794.42(088.8) стит (72) З,И. (53) руковна и мепрекра- поненто ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ И ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(56) Патент Японии В 48-11458, кл, 12 А 52, опублик. 13.04.73, (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ БДИ 1,Изобретение относится к составам для химической обработки поверхности металлов.Цель изобретения - повьппение шероховатости поверхности и увеличение скорости травления.Изобретение может быть проиллюстрировано следующими примерами.Состав растворов и результаты травления приведены в табл. 1.Перед травлением с поверхности ди удаляли окисный. слой в 103-ном растворе серной кислоты. Образцы после этого хроматировали в водном растворе со следующим соотношением компонентов, г/л:Вихромат калия 100Серная кислота 15Шероховатость поверхности меди под готовленныхобразцов Р, = 0,1 6- 0,20 мкм.Эксперименты проводили в растворах с температурой 40 С. Выбор данной тем пературы произведен на основе рекомендаций и по применению известного(57) Изобретение относится к составдля химической обработки медной поверхности. Целью изобретения является повышение шероховатости поверхности и увеличение скорости травления. Состав содержит, г/л: хлорнаямедь 6,7-46; хлористый аммоний 10750; персульфат аммония 40-70. Повышение шероховатости и увеличениескорости травления достигается засчет введения персульфата аммония.2 табл. 3 раствора и из-за возможности разложения персульфата аммония при болеевысокой температуре. Активное его разложение происходит при температуреоболее 55 С. которая является верхней а границей рекомендуемой температуры рассматриваемого раствора для травле- Эфд" ния меди. .4 ьСкорость травления и шерохова- ф тость травленой поверхности меди о - О ределяли после 3-минутной обработки ф образцов в исследуемом растворе.Про-.должительность травления была выбра- на на основе рекомендаций по применению известного раствора.Как показали предварительные эксперименты, максимальная концентрация компонентов ограничивается из-за выпадения солей в осадок и осаждения кристаллов меди, которые препятствуют дальнейшей обработке поверхности медной фольги, а также уносятся израствора.Выпадение солей в осадокщается при концентрациях ком в,1458429 Таблице 1 рость аления рохотостьверхноЦЭ рнстмя Персульфатоний аммониян е50 7050 7080 70 Хлорнаямедь466046 сн мнн 20,91 стеллы на иохности 0,97 1,30 1 0 Кристаллм на иверхности Кристаллм ыа иверхности 1,5 ЭО,6) 0,3 э 2 20 0,5 Ое 5 выдерхив аотновення ц 1 /с 1О,приведенные в примере 1 (см. табл.1) При превышении этих концентраций одним (см. примеры 2-4) или всеми компонентами(см, пример 5) на п; верхности травлений меди выпадают кристалло соли.Если концентрация компонентов в допустимых пределах между максимальной (см. пример 1) и минимальной 10 (см.пример 10), то шероховатость и скорость травления меди находятся в заданных пределах (см. пример 6-10).Нижние пределы концентрации компонентов ограничиваются из эа умень шения ниже допустимых пределов шероховатости травленой поверхности и скорость травления меди (см, пример 11-14). Таким образом, в резуль. тате экспериментов, описанных в 20 табл. 1, обоснованы границы концентраций компонентов раствора, г/л:Хлорная медь 6,7-46Хлористый аммоний 107-150Персульфат аммония 40-70 25Проводили исследование влияния добавки персульфата аммония в известный Концентрация компонентов водного раствора г/л раствор (см. табл. 2, опыт 1,4,7) нашероховатость поверхности травленыхобразцов и скорости травления раствора. Предлагаемый .раствор позволяетпо сравнению с известным повысить шероховатость травленой поверхности меди в 2-3. раза, а скорость травления в 2-5 раз. Формула изобретения Раствор для травления меди, содер,жащий хлорную медь и хлористый аммоний с, соотношением молярных концентраций ионов меди и ионов хлора 1 Сц 1 /1 С 1 1 меньше или равным 0,1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения шероховатости поверхности и увеличения скорости травления, раствор дополнительно содержит нерсульфат аммония при следующем соотношении компонентов, г/л:.Хлорная медь 6,7-46Хлористый аммоний 107-150Персульфат аммония 40-701458429 Таблица 2 Опыт Соотношение компонентов водного раствора,г/л Хлорная медь.1 30 1,05 6,7 0,28 0,06 107 40 0,52 0,23 107 40 9,61 0,70 6,7 Составитель Н. СкопинцеваРедактор Н. Киштулинец Техред Л.Олийньк Корректор С. Черни Заказ 331/31 Тирах 938 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ухгород, ул. Проектная, 4 Хлористыйаммоний Персульфатаммония Шероховатость, Рс мкм Скорость травления меди,2 мг/см мин