Устройство для электрохимического маркирования

СОаЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 3 Н ИТЕТ РЫТИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ИПРИ ГКНТ СССР 1 сг:Р ; ..:., .Я 1 ТГ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ТВУ У СВИ Бюл, У 4политехнический инсти И.Ю.Никольски 6(088,8)детельство СССР3 Н 9/06, 1985,ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИ 1 ЯЧЕСКОтносит охимиче с стности к о с топ Изобре физически дам обраб ствам для ение относится к э и электрохимически ктро- мето- трой- аркики в частности клектрохимического рования я - повыше п тем исЦель изобретени ние точ- пл ности маркирования у ключения влияния соседних, элек- л тродов на распреде в рабочей зоне, 10 тНа фиг.1 представл ия втройства с отдельны я- с ми пластинами; на фс общей пластиной,Устройство содержит диэлектричес пр кий корпус 1, в котором изготовлена р полость 2 с отверстиями 3, при этом 5 расположение отверстий 3 соответству и ет числу и расположению маркируежх щ знаков. в выключенныхление тока ена конструкц ми фотопровод иг,2 - то же,ус щи(57) Изобретениефизическим и элекдам обработки и в устройств для электрохимического маркирования, Цель изобретения - повышение точности маркирования путемисключения влияния соседних, выключенных электродов на распределенией тока в рабочей зоне. В полости 2 корпуса 1 со стороны отверстий 3 установлена фотопроводящая пластина 4,Нроцесс маркирования выполняется путем освещения частей фотопроводящейпластины 4 излучением от световодов7. Так как темновое сопротивлениеэлектро- пластины 5 велико, ее неосвещенныем мето- участки не влияют на процесс маркиасается рования. 1 з,п,ф-лы, 2 ил,В полости 2 корпуса 1 с тороны отверстий 3 установлена фо роводящая пластина 4, которая может быть выполнена в виде отдельных сегментов (фиг.1) либо в виде одной монолитнойасти ны ( фи г, 2),Фотопроводящая пластина 4 закрепена с помощью токопроводного клея (например, ХС) или изготовлена фоолитографическими методами формироания топологии из соединений типа ульфида кадмия СйЯ, селенида кадмия Сне, халькогенида свинца РЬБ и др.Кроме тогов полости 2 корпуса 1 сотивоположной стороны отверстий 3 асположена токопроводящая пластинав которой соосно отверстиям 3 выолнены отверстия 6. Устройство оснаается источником направленного свето". ого излучения (не показан), светово3 14545 , ды 7 которого вмонтированы в отверс". тия 6 токопроводящей пластины 5, Пластина 5 оснащается токоподводом 8, подключенным к Источнику технологическо 5 го напряжения (не показан).Устройство работает следующим образом,Корпус 1 прикладывают к маркируемой поверхности, смоченной электроли том, Источник технологического напряжейия подключают к обрабатываемому изделию и к токопроводящей пластине 5 через токопровод 8, Технологическое напряжение может подаваться постоян но независимо от длительности процесо са маркирования,Процесс электрохимического маркирования начинается после освещения отдельных частей фотопроводящей плас тины излучением, поступающим через световоды 7.Происходит поглощение излучения полупроводниковым веществом пластины 4, что увеличивает ее проводимость, 25 Может быть достигнуто значение проводимости, обеспечивающее прохождение тока плотностью до 0,3 - 1,0 А/мм достаточного для осуществления процесса маркирования, 30Конструкция обеспечивает надежную защиту неработающих секций от рас"гравливания, являющегося основным нв-, остатком секционных электродных устойств, Сопротивление ппастины 4 в направеиии тока растравливания достигаетб 8 начений порядка 10 -10 Ом, т,е, поупроводник в данном случае является актически диэлектриком, что уменьшаг щ т растравливание до исключительно малой величины,944Повышение надежности работы происходит также потому, что в конструк"ции отсутствуют отдельные, изолированные электрически друг от друга токопроводящие элементы, которые в известных конструкциях нередко пересы"каются друг с другом из-за малых расстояний между ними,Световоды 7 не требуют изоляции,так как не наблюдается взаимного проникновения света в соседние световоды 7 из-за полного отражения световых.лучей от стенок,Таким образом, предлагаемая кон"струкция устройства для электрохимического маркирования обеспечиваетувеличение его надежности и уменыпение износа от межсекционного растрав.ливания,1Формула изобретенияУстройство для электрохимического маркирования, содержащее корпус и установленные в нем источник направленного светоизлучения, фотопроводящую пластину и токоподвод, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности обработки, токойодвод выполнен в виде пластины с отверстиями, соответствущцими рас" тру маркируемых знаков, и установлен на фотопроводящей пластине со стороны источника направленного излучения.2. Устройство по п,1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что источник направленного излучения оснащен светоподводами, торцы которых установлены в отверстиях токоподвода и-примыкают к фотопроводящей пластине.1454594 ф ф ф ф ф Составитель Р,МельдерТехр ед М. Ходанич Ведактор Т,Лазоренко Корректор С. Шекмар Производственно-полиграфическоепредприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Заказ 7388/17 Тирак 892 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5