Интерференционный способ определения изменения расстояния

= А/А где Р, дра степеней щ, излучения; ы светового пучк иномы. Лежанина волны и; Л - дл - радиус а. 1 ил. етяжк ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕН 1 И ИЗМЕНЕНИЯ РАССТОЯНИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интерферометрическим способам определенияизменения расстояния. Цель изобретения - повышение точности определенияизменения расстояния путем измеренияамплитуды переменной составляющей интерференционного сигнала. В излучении.801449841 источника 1 выделяют моду высокого порядка ТЕМ , затем выделенное излучение направляется в интерферометр со светоделителем 2 и отражателями 3, 4, на выходе интерферометра образуется интерференционный сигнал. Перемещением опорного отражателя 4 добиваются максимального значения А амплитуды переменной составляющей интерференционного сигнала, измеряемого фотоприемником 5 на выходе интерферометра. После перемещения объекта регистрируют значение амплитуды А переменной составляющей интерференционного сигнала и определяют величину в изменении расстояния до объекта из выражения Р(1/(3) 1Ао 30 Исследование этого выражения показывает, что зависимость амплитуды А переменной составляющей интерференпионного сигнала от разности хода д г при увеличении порядка и, п выделяемой моды становится круче, и определенное изменение Д г приводит к более значительным изменениям д при более высоких значениях тп, и. Таким образом выделение в излучении источника 1 моды высокого порядка позволяет увеличить точность и чувствительность определения д г более чем на порядок. Фо рмула изобретенияИнтерференционный способ определения изменения расстояния, заключающийся в том, что направляют излучение на объект, регистрируют интерференционный сигнал до и после перемещения объекта и определяют изменение расстояния, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, перед направлением излучения из него вьделяют одну из мод высокого порядка ТЕ 11 , до перемещения объекта смещают опорный отражатель интерферометра до получения максимального значения А амплитуды переА Е) Рв 1 Р( ---- 1"о1М(2)Гси55 50 Изобретение относится к иэмери"тельной технике, в частности к интерферометрическим способам определенияизменения расстояния.Цель изобретения - повышение точности определения изменения расстояния путем измерения амплитуды переменной составляющей интерференционного сигнала, 10На чертеже изображено устройство,Реализующее способ,Устройство содержит источник 1излучения, иитерферометр со светоделителем 2 и отражателями 3 и 4 и фотоприемник 5, отражатель 3 закрепленна объекте, изменение расстояния докоторого определяется а отражатель4 является опорным.Способ осуществляется следующим 20образом.В излучении источника 1 вьделяютмоду высокого порядка ТЕМ , например, способом раэъюстировки зеркалрезонатора источника. Порядок выдеоленной моды (значение ш, и) определяют визуально, Распределение поляизлучения моды ТЕМ описывается формулой Е(х, у, г)- Н (Г 2 -- ) Н(2 -- х ц)( г) ь)2)где НН- полиномы Эрмита порядка т, и;О 3(г) - радиус пучка на расстоянии г от "перетяжки".Затем вьделенное излучение направля ется в иитерферометр, На выходе интерферометра образуется интерферометрический сигнал, зависимость амплитуды А переменной составляющей которого от разности хода д г в плечах ин терферометра имеет вид где Р, Р- полииомы ЛежандРа поРЯд ка щ и и;- длина волны излучения;ы, - радиус "перетяжки" пучка,11 еремещением опорного отражателя 4 добиваются максимального значения А амплитуды переменной составляющей интерференционного сигнала, измеряемого фотоприемником 5 на выходе интерферометра, Согласно формуле (2) такое положение соответствует д г = О. Изменение расстояния до объекта на величину 1 приводит к появлению к плечах интерферометра разности хода в г = 21, в результате чего изменяется амплитуда переменной составляющей интерференционного сигнала, Значению зарегистрированной приемником амплитуды А переменной составляющей интерференционного сигнала соответствует величина 1 изменения расстояния до объекта, определяемая из выражения4ФА ндра степе лны излучениями еретяжки" свеучка.",( И Составитель С. Дмитриев Бугренкова Техред М.Ходанич Корректор И. Мускаодписное КНТ СС изобретениям и откр 5, Раушская наб., д. м. Проектна ор 1449841 менной составляющей интерференционного сигнала, после перемещения объектарегистрируют значение амплитуды А переменной составляющей интерйеренциои- В ного сигнала и определяют величину 1изменения расстояния до объекта изгде Р выражения Производственно-полиграфическое предприятие, г полино мы нейа, и длина во радиусто во го п