Способ настройки интегральных тензометрических мостов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ .РЕСПУБЛИК 19) (Н) А В 7/ 1 В 17 Е ИЗ РЕТ ИСА но влбния е измеь ис- ометготов аллопле- етеГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ .ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Н АВТОРСКОМУСВ(54) СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТКГРТВНЗОИКТРИЧЕСКИХ МОСТОВ(57) Изобретение относится крительной технике и монет бы:пользовано при настройке тенрнческих мостов, датчиков, иленных но интегральной и метночной технологии. Цель изоб ния - повышение точности настройкипутем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур. Измеряют величину выходного сигнала тензометрическогомоста. Изменяют температуру на тензомосте до величины настройки и измеряют снова величину выходного сигнала,Измеряют величину выходного сигналатензомоста с включенным технологическим шунтом. Рассчитывают.по величинеизменения выходного сигнала и значениям сопротивлений плеча и технологического шунта сопротивление шунтирующего резистора с точностью, позволяющей компенсировать температурный уход начального выходного сигнала мостовой схемы в пределах +0,3 -1,03 в температурном диапазоне 300 С,1 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензометрических мостов датчиков, изготовленных по интегральной микроэлектронной и металлопленочной технологии.Цель изобретения - повышение точности настройки за счет уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур.На чертеже показана схема включения моста, по которой реализуется способ.Способ осуществляется следующим 15 образом.При изготовлении тензометрическогбмоста 1, включающего в себя четыре замкнутых тенэорезистора 2-5, определяют.их номинальные сопротивления (не показаны), с помощью клем- мной колодки 6 подключают к источнику 7 питания и вольтметру 8, при этом переключатель 9 находится в разомкнутом положении. 25Подают напряжение питания на тензометрический мост 1 и измеряют величину выходного сигнала (М). Изменяют температуру на тензомосте 1 до величины настройки и измеряют величи- З 0 ну выходного сигнала (Ж,), В зависи" мости от направления ухода величины начального выходного сигнала под влиянием температуры подключают технологический шунт 10 параллельно выявленному плечу с помощью переключателя 9 (положение 1 - параллельно тензорезистору 3, положение 11 - параллельно тензорезистору 4).Измеряют величину выходного сигна ла тензометрического моста с включенным технологическим шунтом (Ют). Рассчитывают сопротивление шунтирующего резистора по Формуле, Иэ ряда номинальных сопротивлений, например резисторов 2 С = Зб, выбирают наиболее близкий по значения к расчетному значению шунтируящий резистор и подключают вместо технологического шунта 1 О, Затем измеряют величину выходного сигнала и по его знаку выявляют плечо, которое необходимо изменить для балансировки схемы. До" рабатывают выявленный тензорезистор лазером, т.е. методом, при котором не меняется ТКС плеча моста, до получения величины начального выходного сигнала в требуемых пределах, На этом процесс настройки интегрального тенэометрического моста заканчивается.Выигрыш по точности на порядок по,сравнения с известным техническим решением получают за счет того,чтр в расчетнуя Формулу определения шунтируящего резистора входят только изменения напряжений и величина напряжения питания, которые можно определить с погрешностью не более 0,23, Сопротивление плеча шунтирующего резистора можно определить с точностью 0,05%.Предложенный способ, в отличие от прототипа, позволяет производить балансировку беэ изменения общего ТКС моста, в результате чего повышаается эААективность настройки. Кроме того, уменьшается аддитивная чувствительность мостовой схемы, т.е. повышается точность измерения,Формула.изобретенияСпособ настройки интегральных тензометрических мостов, заключающийся в том, что измеряют сопротивления тенэореэисторов моста при одной температуре, определяют температур. - ный дрейй напряжения выходного сигнала моста для двух различных значений температур, рассчитывают значение сопротивления шунтируящего резистора и определяют плечо моста для его включения, о т л и ч а ю ш и йс я тем, что, с целью повышения точности настройки, подключают в выявленное плечо моста технологический шунт, измеряют:температурный дрейф напряжения выходного сигнала моста при подключенном технологическом шунте для двух значений температур, рассчитывают требуемое значение сопротивления шунтируящего резистора по формулеГ . 11 г - Цф тг,=г 1 - , ------- (1+ш т 1. 11 Щ 111;+ - . - , ),гт где г - сопротивление технологического шунта;г - сопротивление плеча;П 1, У 1 - напряжения выходного сигнала при значениях температур 1 и 1 соответственно;1 й - напряжения выходногосигнала при подключенном тех,1448288 нологическом шунте при значениях температур 1 и 1 со, ответственно,подключают шунтирующий резистор с расчетным значением в выявленное пле-чо моста и подгоняют значение сопроСоставитель В.Семенчук Редактор М.Келемеш Техред А.Кравчук Корректор С.ШекмарПодписноепо изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР-35, Раушская наб., д . 4/5 роизводственно-полиграФическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Заказ 6843/50 Тираж 772НИИПИ Государственного комитета113035, Москва,тивления одного из тензорезисторовмоста без изменения его температурного коэФФициента сопротивления до такого значения, при котором напряжение выходного сигнала достигает заданного предела.