Устройство для измерения парциального давления газа в вакууме

(191 Ц 1 114 С 01 1 21/ Я / ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ инстибрьско ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Киевский политехнический тут им. 50-летия Великой Октя социалистической революции(56) Авторское свидетельство СССР В 851143, кл. С 01 1 21/30, 1981Авторское свидетельство СССР У 1008632, кл. С 01 Е 21/30, 1983. (54) .УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ ГАЗА В ВАКУУМЕ (57) Изобретение относится к облас вакуумной техники. Цель изобретени повышение точности измерения. Устройство формирует импульс, длитель ность которого равна времени, в течение которого нагреватель за счеттеплового излучения охлаждается натемпературу ь Т. Это время однозначносвязано с температурой нагревателя.Если это время больше заданного, тоблок 7 управления увеличивает напряжение на нагревателе 4 до величиныН сохранив соотношение Н, =Н(1++ ЫлТ), и цикл измерения повторяетсядо тех пор, пока длительность импульса от компаратора 9 не станет равйазаданной (Н-. напряжение, котороеподается от блока 7 управления нанагреватель 4, находящийся в исходном состоянии, А- температурный коэффициент сопротивления материала,используемого для изготовления нагревателя), 2 ил.Изобретение относится к вакуумнойехнике, а точнее к устройствам длязмерения парциальных Давлений в вакууме.Целью изобретения является повышение точности измерения.На фиг, 1 показана конструкцияатчика, на фиг. 2 - вариант исполения блока регулировки тока нагрева Оеля в зависимости от скорости егохлаждения,Устройство содержит корпус 1, слуащий для крепления выводов датчиказащиты его элементов от повреждения 15корпусе 1 установлена диэлектричесая подложка 2, на которой с однойтороны нанесен слой 3, чувствительый к давлению, а с другой - нагреваель 4, В корпусе 1 со стороны нагреателя 4 выполнено окно 5 для отводаеплового излучения нагревателя 4.,Кходу нагревателя 4 подключен блокрегулирования величины тока нагревателя 4 в зависимости от скоростиего охлаждения. В качестве блока 6возможно использование устройства,содержащего блок 7 управления, токовый резистор 8, компаратор 9, конденсатор 10 и диод 11,ЗОУстройство работает следующим образом,В исходном состоянии на нагреватель 4 от блока 7 управления подается напряжение Б+,. На токовом резисторе 8 выделяется это напряжение, которое подается на оба входа компаратора 9. В момент времени т, блок 7,управления уменьшает напряжение довеличины Б, причем40Ц= и(1 +мат) Величина напряженйя на одном из входов компаратора 9 остается неизменной за счет конденсатора 10 и диода 45 11, а величина напряжения Б на втором входе компаратора 9 уменьшается в (1 + Ы ьТ) раз. На выходе компаратора 9 появляется выходное напряже- ние (передний Фронт импульса). По мере охлаждения нагревателя 4 его сопротивление падает, а ток через нагреватель 4 растет. Через время Аэтот ток станет равным первоначальному току, так как .К,; - К(1 +МАТ) и на выходе компаратора 9 напряжение примет первоначальную величину (задний Фронт, импульса).Таким образом, устройство Формирует импульс, длительность которого равна времени, в течение которого нагреватель за" счет теплового излучения охладился на температуру ЬТ. Если это время больше заданного, то блок 7 управления увеличивает напряжение на нагревателе до величины Нл сохранив соотношение БО+Я = Б(1 + ЫЬТ), и цикл измерения повторяется до тех пор, пока длительность импульса от компаратора 9 не станет равна заданной,Формула изобретенияУстройство для измерения парциального давления газа в вакууме, содержащее корпус и установленную в нем диэлектрическую подложку с расположенными на ней слоем нагревателя и чувствительным слоем, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью повыше" ния точности измерения, в него введен блок регулирования величины тока нагревателя в зависимости от скорости его охлаждения, подключенный кЪ входу нагревателя, который расположен на подложке с противоположной стороны относительно чувствительного слоя, а в корпусе со стороны нагревателя выполнено сквозное окно,1409870 орректор О. Кравцова ем Тираж 8 сное/5 ул. Проектная роизводственно-полиграфическое предприяти Редактор М.К Заказ .3472/3 оставитель В.Казехред М,Дидык ВНИИПИ Тосударственного к по делам изобретений и3035, Москва, Ж, Раушск итета СССткрытийнаб д.