Неравноплечий лазерный интерферометр

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1)4 601 В 90 ГОСУДАРСТ ПО ДЕЛАМ АНИЕ ИЗОБРЕТЕ(54) НЕРАВ ТЕРФЕРОМЕ (57) Изобре ной технике и контроле и и Цель изобре измерений в НОПЛЕЧИЛ ЛАЗЕР ТРение относится к и может быть использ пытаниях оптически ения - повышение условиях вибраций з меритель овано при изделий точности а счет по 4 в НЫЙ НОМИТЕТ СССРОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(21) 3909486/2 (22) 07.06,85 (46) 23.06.88. (72) В. В. Гер и А. В. Лукин (53) 531.715.1( (56) Коломийц Л.: Машиностр ЯО 140481 вышения контраста интерференционной картины. Сферическая волна после амплитудного деления на светоделителе образует обьектную и опорную ветви, пучки которых, отразившись от образцового и контролируемого зеркал соответственно, соединяются в светоделителе и образуют интерференционную картину, которая фотографируется, После амплитудного деления на втором светоделителе пучки формируют интерференционную картину в плоскости диафрагмы и фоторегистратора. Сигнал с фотоприемника через усилитель поступает в блок определения контраста интерференционных полос и далее в формирователь управляющего импульса на привод фотозатвора. 2 ил.Изобретение относится к измерительной1 схнике и может быть использовано приконтроле и испытаниях оптических изделий,;акже при исследованиях неоднородностейпрозрачных средах преимущественно в усовиях вибраций.Целью изобретения является повышение:нности измерений в условиях вибраций засчет повышения контраста интерференционной картины.На фиг. 1 показана принципиальнаяс хема неравноплечего интерферометра; нафиг. 2 - блок-схема электрической частиинтерферометра,И нтерферометр содержит последовательно установленные лазерный источник 1непрерывного излучения, микрообъектив 2,светоделитель 3 и образцовое сферическоезеркало 4, расположенное в опорной ветви.Контролируемое сферическое зеркало 5 расположено в объектной ветви. Далее интерферометр содержит объектив 6 и второй светоделитель 7, направляющий часть света нарегулируемую диафрагму 8 фотоприемник 9,преобразующий световой сигнал в электрический, усилитель 10 постоянного тока,блок 11.определения контраста интерференционных полос, формирователь 12 управляющего импульса, привод 13 спуска фотозатвора 14, фоторегистратор 15.Блок 11 определения контраста интерференционных полос включает в нем электрически соединенные интегратор 16, сумматор 17, второй интегратор 18, второй сумматор 19, блок 20 вычитания сигналов, третий сумматор 21 и блок 22 деления сигналов.Интерферометр работает следующим образом.Излучение лазера 1 проходит через микрообъектив 2 и преобразуется им в сферическую волну. Сферическая волна, претерпев амплитудное деление в светоделительном кубике 3, поступает в опорную и объектнуюветви. Отраженные от образцового сферического зеркала 4 в опорной ветви и от контролируемого сферического зеркала 5 в объектной ветви интерферометра пучки соединяются в светоделительном кубике 3 иинтерферируют. Интерференционная картина фотографируется с помощью объектива 6, сопрягающего зеркало 5 с плоскостьюрегистрации.Пройдя объектив 6 и испытав амплитудное деление на светоделителе 7, пучки формируют четкую интерференционную картину в плоскостях диафрагмы 8 и держателяфотоматериала. Диаметр регулируемой диафрагмы 8 выбирается не более ширины интерференционной полосы. Снимаемый с фотоприемника 9 электрический сигнал подается на усилитель 10 постоянного тока, откуда он поступает в блок 11 определенияконтраста интерференционных полос. Далеесигнал, пропорциональный значению конт 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 раста полос, попадает в формирователь 12 управляющего импульса, который, в случае превышения вычисленного значения контраста над заранее заданным, выдает управляющий импульс на привод спуска фотозатвора 14. Происходит экспонирование фотоматериала. Оптическая часть предлагаемого интерферометра может быть выполнена как по схеме интерферометра с совмещенными, так и раздельными ветвями,Электрическая часть предлагаемого интерферометра работает следующим образом.Фотоприемник 9 совместно с усилителем 1 О постоянного тока (фиг. 2) преобразуют входной оптический сигнал в соответствующий ему электрический положительный сигнал, который одновременно поступает на интегратор 16 и сумматор 17 (фиг. 2). В сумматоре 17 производится сложение сигнала с постоянным отрицательным напряжением, амплитуда которого больше максимальной амплитуды сигнала. В блоке интегратора 18 происходит выделение отрицательного сигнала, пропорционального 1, . Этот сигнал суммируется с постоянным положительным напряжением в сумматоре 19, в результате чего на его выходе получается положительный сигнал, пропорциональный 1. В то же время сигнал поступает на интегратор 16, где преобразуется в сигнал, пропорциональный 1. В блоке 20 производится вычитание сигнала, приходящего от сумматора 19, из сигнала от интегратора 16. Таким образом, на выходе блока 20 формируется сигнал, пропорциональный 1 макс - 1 нцн . В то же время в блоке сумматора 21 происходит сложение этих сигналов, т.е, образуется сигнал, пропорциональный 1 кс +1 . Далее в блоке 22 деления производится операция деления сигнала от блока 20 на сигнал от сумматора 21, таким образом сигнал на выходе блока 22 пропорционален значению контраста полос,В формирователе 12 происходит сравнение этого сигнала с заранее заданным (оператором) значением контраста полос (уровень напряжения К), В случае равенства или превышения сигнала над этим заданным значением контраста полос, или превышения сигнала над этим заданным значением контраста полос на выходе формирователя 12 появляется активный уровень сигнала, который приводит в действие привод 13 спуска фотозатвора 14 (фиг. 1).Таким образом, экспонирование фотоматериала происходит только при достижении интерференционной картиной высокого контраста. В противном случае экспонирования не происходит. Это приводит к тому, что вместо серии снимков достаточно сделать один.формула изобретенияНеравноплечий лазерный интерферометр, содержащий последовательно установлен)изводственно.полиграфич РедакЗаказВНИИ ССР по делам нзобр Раушскан наб., д. приитие, г. Ужгород ные источник излучения, микрообъектив, первый светоделитель и последовательно установленные в обратном ходе излучения от светоделителя объектив, фотозатвор и фоторегистратор, отличающийся тем, что, с 5 целью повыщения точности измерений в условиях вибраций, оно снабжено вторым светоделителем, установленным между объективом и фотозатвором, диафрагмой, размещенной в ходе излучения, отраженного от вгорого светоделителя, и последовательно элс кт рически соединенными оптически связанным с диафрагмой фотоприемником, усилителем постоянного тока, блоком определения контраста интерференционных полос и формирователем управляющ 1; импульсов, электрически соединенным с фотозатвором через привод его спуска.