Устройство для изготовления периодических структур

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 2 51) 4 0 02 В 27/4 тво СССР42,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт электроники АН БС(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ П РИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР(57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может бы использовано для изготовления шабФ лонов, шкал и дифракционных решеток. Для повьппения точности изгото ЯО 134 З 154 ления структур путем уменьшения гармонической составляющей погрешности расстояние между выходными осями светоделительного блока 3 кратно периоду гармонической составляющей погрешности эталонной структуры. Блок 3 делит поток от источника 1 когерентного излучения на два параллельных пучка равной интенсивности, падающих нормально на эталонную структуру 4. Прошедшие через телескопические системы 5 и 6 пучки, совмещаясь нг заготовке 8, образуют на ее светочувствительном слое интерференционную картину. В процессе перемещения каретки 7 перпендикулярно осям пучков по длине заготовки 8 фор мируется периодическая структура.1 ил,51015 Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найтиприменение, например, для изготовления шаблонов, шкал, дифракционныхрешеток.Целью изобретения является повышение точности изготовления,На чертеже изображена схема устройства.Устройство содержит источник 1когерентного излучения, расширитель2 пучка, светоделительный блок 3эталонную структуру 4, телескопические системы 5 и 6, подвижную каретку 7, заготовку 8 со светочувствительным слоем.Расширитель 2 расположен на путипучка от источника 1 излучения, Зарасширителем установлен оптическисвязанный с ним светоделительныйблок 3. Светоделительный блок 3 имеет коэффициент деления 2 и его выходные оси параллельны оптической осирасширителя. Расстояние 1 между выходными осями светоделительного блока 3 кратно периоду Т гармоническойсоставляющей погрешности эталоннойструктуры и равно 1 = (2 п + 1)Т/2,где и = О, 1, 2Эталонная структура 4 ориентирована по нормали к осям снетоделительного блока 3 и размещена на каретке 7. Каретка 7 установлена с возможностью перемещения в направлении,перпендикулярном штрихам эталоннойструктуры 4. Две телескопическиесистемы 5 и 6 с увеличением Г1размещены в симметричных порядкахдифракции, реализуемой на эталоннойструктуре 4, Оси телескопических систем 5 и 6 пересекаются в плоскостизаготовки 8, которая также установ. лена на подвижной каретке 7.Устройство работает следующим образом.Выходящий из источника 1 когерентного излучения пучок расширяется системой 2 и, пройдя светоделительныйблок 3, разделяется на два параллельных пучка, которые падают нормально на эталонную структуру 4. Врезультате дифракции двух освещающих пучков на эталонной структуре заней распространяютсядве группы дифракционных порядков, В телескопических системах 5 и 6 диафрагмами,установленными н Фокусе первых линз,отфильтровываются все порядки, кро 20 25 30 35 40 45 50 55 ме выбранных. Кроме того, телескопические системы сужают и оборачиваютих на 180", После прохождения телескопических систем пучки совмещаются на заготовке 8 с образованиеминтерференционной картины, При перемещении каретки .7 с эталонной структурой 4 и заготовкой н направлении,перпендикулярном осям освещающихпучков, полосы в интерференционнойкартине остаются неподвижными относительно понерхности заготовки и поее длине формируется периодическаяструктура. Пример конкретного исполнения.В качестве источника 1 взят Не-Бе лазер ЛГ( Я = 0,63 мкм). Пройдя расширитель 2 с увеличением г = 3, пучок направляется в светоделительный блок 3, представляющий собой, например, систему из 3 отражателей и светоделителей. Отражателями блока 3 путем их перемещения перпендикулярно оси расширителя 2 расстояние 1 между выходными осями светоделительного блока установлено равным Т/2 (2 п + 1). При Т100 мм, и = О, 1 = 50 мм, На выходе светоделительного блока 3 получают два параллельных пучка равной интенсивности, падающих нормально на эталонную структуру 4. Эталонная структура имеет пространственную частоту 100 лин/мин, За эталонной структурой распространяются дне группы дифракционных порядков. На пути + 4 порядков, угол дифракции которых равен 14,6 , установлены телескопические системы 5 и 6 с увеличением г1/г = 1/3, которые оборачивают волновые Фронты пучков на 180 и сужают выходные пучки. Кроме того. Фокусе первых линз телескопических систем установлены диафрагмы, перекрывающие все порядки, кроме четвертых. Диаметр диафрагм 15 мкм. Выходящие из телескопических систем 5 и 6 пучки совмещаются на поверхности заготовки 8 со светочуьстнительным слоем с образованием интерференционной картины, Эталонная структура и заготовка размещены на каретке прецизионного устройства перемещения с аэростатическими направляющими, При перемещении каретки, например, с помощью линейного электродвигателя, по длине заготовки формируется струк1345154 тура с пространственной частотой800 лин/мм. изобретения5 Формула Составитель В,КравченкоРедактор А.Долинич Техред И.Ходанич Корректор А.Ворович Заказ 4916/45 Тираж 521 ПодписноеВИИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Иосква, Ж, Раушская наб д.4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул,Проектная,4 Устройство для изготовления периодических структур по авт.св.У 1280561, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьшения точности изготовления путем уменьшения гармонической составляющей погрешности,расстояние между выходными осями светоделительного блока определяетсяиз соотношения (2 п + 1)Т/2, где Тпериод гармонической составляющейпогрешности эталонной структуры, и =