Нетканый полировальный материал

(51) 4 1.) 04 Н 5/асьЦ фЦотовф ф.Цф 0 В ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ЛЬСТВУ допол ое по боксилна осй киси д та из тноше 10 0 ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИ(54) (57) НЕТКАНЫЙ ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ, выполненный в видехолста из полиэфирного волокна, пропитанного вспененным латексным связующим, отличающийся тем, что, с целью повышения качества полируемой поверхности,одна из сторон пропитанного холста нительно имеет пористое замшевидн крытие, выполненное из смеси кар содержащего латекса, загустителя нове бутилакрилата и метакрилово лоты, взятых в соотношении 50:50, персионного порошкового регенера шинной резины, при следующем соо нии компонентов, мас. ч.:КарбоксилсодержащийлатексЗагуститель на основебуталакрилата и метакриловой кислоты 2,5 Дисперсионный порошковый регенерат из шинной резины 5Изобретение относится к нетканому полировальному материалу и может быть использовано в электронной промышленности для химико-механического полирования всевозможных полупроводниковых монокристал лических соединений и диэлектриков. Целью изобретения является повышение качества полируемой поверхности.Нетканый полировальный материал выполняют в виде холста из полиэфирного волокна, пропитанного вспененным латексным связуюшим, при этом одна из сторон пропитанного холста имеет пористое замшевидное покрытие, выполненное из смеси карбоксилсодержащего латекса, загустителя на основе бутилкрилата и метакриловой кислоты, взятых в соотношении 50:50, и дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины, при следующем соотношении компонентов мас. ч.:Карбоксилсодержа шийлатекс 100Загуститель 2,5 - 30 Дисперсно нный порошковый регенерат из шиннойрезины 5 - 30Изобретение иллюстрируется следуюшими примерами.Пример /, Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюшим из полиуретанового латекса Латур - 1 (30 - 50 мас./о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 100 мас.ч. каучукового карбоксилсодержащего латекса СКН - 40- - 1 ГП (30 - 35 мас.%), 2,5 мас.ч, загустителя и 5 мас. ч. дисперсионного порошкового регенерата из шинной резины (диспора) .Пример 2. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюшим из полиуретанового латекса Латур - -1 (30 -- 50 мас,/о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 00 мас.ч. каучукового карбоксилсодержагцего латекса СКН - 40- - 1 ГП (30 - 50 мас о/о). 15 мас ч загустителя и 15 мас.ч. диспора.Пример 3. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связуюшим нз полиуретанового латекса Латур -(30- 50 мас./о), при этом на одну из сторон про 5 10 15 20 25 30 35 40 45 питанного холста наносят пористое замше- видное покрытие из смеси 100 мас.ч. каучукового карбоксилсодержашего латекса БНК - 40/4 (40 - -45 мас./о), 30 мас.ч. загустителя и 30 мас.ч. диспора.Пример 4. Нетканый полировальный материал выполнякт из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связук)шим из акрилового карбоксилсодержашего латекса МБМ - 3 (45 - 50 мас./о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое зам шевидное покрытие из смеси 100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержащего латекса с 7/о МАК - АК 211 (45 - 50 мас.о/о), 2,0 мас.ч. загустителя и 4 мас.ч. диспора.Покрытие сформировать не удается, так как жидкая смесь проходит через холст.Пример 5. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержашего латекса МБМ - 3 (45 - 50 мас.о/о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое зам шевидное покрытие из 100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержашего латекса с 7/о МАК - -АК(45 - 50 мас./о), 3,5 мас. ч. загустителя и 35 мас.ч. диспора.Покрытие сформировать не удается ввиду коагуляции смеси.Пример б. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из каучукового карбоксилсодержашего латекса СКН - 40 - 1 ГП (30 - 35 мас.о/о), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из 100 мас.ч. карбоксилсодержашего латекса с 3% МАК - МБМ 3 (45 50 мас./о), 15 мас.ч. загустителя и 15 мас.ч. диспора.Причер 7. Нетканый полировальный материал выполняют из смеси полиэфирных волокон, пропитывают связующим из акрилового карбоксилсодержашего латекса с 3 /о МАК - МБМ (45 - 50 мас.о/О), при этом на одну из сторон пропитанного холста наносят пористое замшевидное покрытие из 100 мас.ч. акрилового карбоксилсодержашего латекса с 5 О/о МАК МБМ - 5 с (45 - 50 мас./о), 30 мас.ч. загустителя и 30 мас.ч. диспора.Сравнительные данные испытаний нетканого полировального материала даны в таблице (обраоатываемый материал А-" - Б" ).1313922 Шероховатость Р, мкм Скоростьудале -ния,Времяработы,ч рН Нетканый Удель -полиро- вальный ная нагрузматериал ка,й мкм мин НП"(прототип) 0,032 0,6 60 1-7 200 Предлагаемый по примерам80 0,6-0,8 0,025 80 0,8-1,2 0,025 90 1, 0-1,2 О, 025 90 1,1-1,3 0,025 90 1, 1-1,3 0,025 1-14 300 300 1-14 1 - 14 300 300 1 - 14 300 1-14 Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность,с хорошей геометрией, есть риски."и Обеспечивает гладкую зеркальную поверхность, практически без рисок, ухудшения геометрических параметров не происходит. Составитель М. ВоеводинаРедактор Л. Веселовская Техред И. Верес Корректор г 1 ПатаиЗаказ 2001/28 Тираж 40 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4