Устройство для измерения давления

СОЮЗ СОВЕТСКИХЮ 4 ИЛЯМазикРЕСПУБЛИН ЯО.1281523 О 1 Ь 9,00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ стороны диэлектрической подложки 3, установленной на мембране 2, размещены на общем керне 9 электроды-катоды 5 и 6 измерительного 7 и вспомогатель. ного 8 диодов . При воздействии на мембрану 2 давления изменяется ток измерительного диода 7., регистрируемый измерительным прибором 3, отградуированным в единицах давления.При колебаниях температуры окружаю" щей среды меняется ток вспомогательного диода 8. Сигнал с анода 11 диода 8 через систему 15 стабилизации регулирует мощность подогревателя 4, обеспечивая стабилизацию тока обоих диодов. Размещение анодов 10 и 1 наО закрепленной на корпусе 1 диэлектрической подложке 12 позволяет умень- шить токи утечки, имеющие место при высоких температурах, относительно измеряемых токов.ил. ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ двтоескомю СаидктЮьСТВМ(71) Московский авиационный технологический институт им. К, Э. Циолковского(56) Авторское свидетельство СССРУ 575513, кл. С 01 Ь 9/00, 1976,Авторское свидетельство СССРВ 872990, кл. С 01 Ь 9/00, 1981,(54) УСТРОЙСТВО ДЗИ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и позволяет уменьшить погрешность измеренияпри высоких температурах. С одной ИЯ - . ",1281523 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в области высоких температур.Цель изобретения - уменьшение по грешности измерения при высоких температурах.гНа чертеже показана схема устройства для измерения давления.Устройство содержит вакуумированный металлический корпус 1, в котором закреплена чувствительная к давлению мембрана 2. На последней установлена диэлектрическая подложка 3, с одной стороны которой размещен по-. догреватель 4, а с другой - электроды (катоды) 5 и б соответственно из-мерительного 7 и вспомогательного 8 диодов. Катоды 5 и 6 размещены на общем керне 9, который вместе с одним .выводом подогревателя 4 соединен с металлическим корпусом 1, Электроды-аноды 10 и 11 соответственно измерительного 7 и вспомогательного 8 диодов размещены неподвижно на диэлект 25 рической подложке 12, закрепленной на корпусе 1, Анод 10 измерительного диода 7 соединен через измерительный прибор 13 с плюсом источника 14 питания постоянного тока, минус которого соединен с корпусом. Система 15 температурной стабилизации включена между анодом 11 вспомогательного диода 8 и вторым выводом подогревате-, ля %. 35 Устройство для измерения давленияработает следующим образом. Измерительный диод 7 работает в 40 режиме ограничения тока пространственным зарядом, когда его вольт-амперная характеристика подчиняется закону степени /2, В этом режиме ток измерительного диода 7 зависит глав- д ным образом от расстояния между подвижным катодом 5 и анодом 10. Этот режим работы обеспечивается за счет подачи на измерительный диод 7 соответствующего напряжения с источника 14 питания постоянного тока.В результате воздействия давления на мембрану 2 происходит ее перемещение вместе с катодно-подогревательным узлом. Расстояние между катодом 5 и анодом 10 измерительного диода 7 изменяется, что приводит к изменению тока измерительного диода, который регистрируется измерительным прибором 13 (например микроамперметром), отградуированным в единицах давления.Для исключения погрешности измерения давления, вызванной изменением эмиссионных характеристик катода 5 в результате изменения параметров окружающей среды, например температуры, служит вспомогательный диод 8, который работает в режиме насыщения анод- ного тока. В этом режиме ток вспомогательного диода 8 зависит в основном от температуры его катода б и не зависит от расстояния между ним и анодом 11. Режим насьпцения вспомогательного диода 8 обеспечивается за счет подачи на его анод соответствующего напряжения, подаваемого с системы 15 температурной стабилизации.При изменении температуры окружающей среды изменяется ток дополнительного диода 8. Сигнал с анода 11 дополнительного диода 8 поступает на систему 15 температурной стабилизации, которая в виде обратной связи приводит к изменению мощностиподо-. гревателя так, что ток вспомогательного диода стабилизируется на определенном уровне. Поскольку оба катода имеют идентичные эмиссионные характеристики и общий подогреватель, при стабилизации тока дополнительного диода происходит также стабилизация тока измерительного диода и исключается влияние температуры окружающей среды при измерении давления. Так как катодный узел устройствадля измерения давления расположен наподвижной мембране, а катоды обоихдиодов и один вывод подогревателясоединены с металлическим корпусом,аноды обоих диодов значительно легчеизолировать от корпуса, поскольку онирасположены на нем неподвижно. Приэтом имеется возможность вынести места крепления анодов к корпусу черездиэлектрическую изоляцию из высокотемпературной зоны устройства. В результате токи утечки, которые имеют место при высоких температурах, по своей величине значительно меньше, чем измеряемые токи, и не влияют на точность измерения. Кроме того, при таком расположении катодов сокращено до минимума количество выводов, что значительно упрощает конструкцию катодного узла и всего устройства в целом.1Тираж 776 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 7199/17 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 281523 4 ф о р м у л а и з о б р е т е н и я ду подогревателем и вспомогательнымиэлектродами, о т л и ч а ю щ е е с яУстройство для измерения давления, тем, что, с целью уменьшения погрешсодержащее вакуумированный корпус, в ности измерения при высоких темпера- котором размещены чувствительная к 5 турах, подложка установлена на мембдавлению мембрана, подложка с подо- ране, а электроды, противостоящие гревателем, два измерительных и два электродам подложки, закреплены на вспомогательных электрода,.располо- корпусе, который выполнен металличесженные напротив друг друга, причем кнм, н изолированы от него диэлектриодин электрод из каждой пары электро ком, прн этом электроды подложки дов расположен на подложке, и систе- гальваннчески соединены между собой му термостабилизации, включенную меж- и корпусом.1