Способ контроля герметичности полых изделий

(61 (21 (22 (46 (72 (53 56 льство СССР 3/40, 982,ГЕРМЕТИЧНОСТИ ОСУДАРСТВЕННЬЙ НОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИИ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к испытаниям полых иэделий на герметичность, является усовершенствованием известного устройства по авт.св,В 1145256 и позволяет повысить производительность за счет увеличения скорости . очкачки воздуха из полости изделия. путем принудительного вывода потока электронов через отверстие сферической поверхности автоэмиссионного катода. Полость иэделия герметиэируют, создают вакуум, при этом в начальный момент откачки воздуха отгибается клапан-пробка, что обеспечивает выход большого потока Воздуха, затем клапан-пробка закрывается, Автоэмиссионный катод, имеющий отверстие в сферической поверхности, введен в полость оболочки так, чтобы сферическая поверхность сегмента была обращена к контролируемой поверхности. Прикладывают разность потенциалов к автоэмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду, что приводит к возникновению потока движущихся к катОду положительных ионов воздуха, который под воздействием электричес- кого поля устремляется в отверстиеС катода .и через него в полость поса- Е дочного гнезда к вакуум-насосу. При наличии микрощели в оболочку изделия втекает воздух из атмосферы, который под воздействием электронного потока ярко люминесцирует, Место натекания определяют по месту свечения. 1 ил. ФейИзобретение относится к испытательной технике, а именно к контролюгерметичности стеклянных оболочек .свпаянным электродом, может быть использовано при производстве кинескопов, радиоламп, преимущественнобольших размеров, осциллографическихтрубок и других электровакуумныхприборов и является усовершенствованием известного устройства, описан- Оного н автсв.Нф 1145256,Целью изобретения является повышение производительности способапутем принудительного вывода молекул газа из полости изделия черезотверстие в сферической поверхностиавтоэмиссионного катода,На чертеже изображена схема, реализующая предлагаемый способ. 20Контролируемая стеклянная оболочка 1 со сварным швом 2 и впаянным электродом 3 установлена н посадочном гнезде 4 откачного поста (на чертеже не показан), В гнезде 4 закреплен 25 автоэмиссионный катод 5 в форме шарового сегмента на стойке 6, Впаянный электрод 3 и катод 5 подключены к источнику 7 постоянного напряжения. Полость оболочки 1 сообщается с полостью посадочного гнезда 4 только посредством отверстия 8, выполненного н сферической поверхности катода и стойке, так как хвостовик оболочки 1 прикрыт клапаном-пробкой 9, выполнен.ным из вакуумной резины и укрепленным на стойке б выше выхода отверстия 8 на цилиндрическую поверхность стойки 6, Гнездо 4 и стойка б выполнены из электропроводного материала, а уплот няющий край гнезда 4, контактирующий с оболочкой 1, выполнен из вакуумной резины.Способ контроля герметичности реализуется следующим образом. 45Стеклянную оболочку 1 устанавливают на посадочное гнездо 4. С помощью источника 7 постоянного напряжения прикладывают разность потенциалов к катоду 5 и впаянному электроду 3. Откачивают воздух из стеклянной оболочки 1, До достижения внутри оболочкидавления порядка 1 гПа электрический разряд не возникает и откачка воздуха происходит обычным путем, когда воздух выталкивается из оболочки 1 к всасывающему отверстию вакуумного насоса благодаря взаимному столкновению молекул. При этом в начальный момент откачки ноздуха возникающая разность давлений н оболочке 1 и в посадочном гнезде 4 может отогнуть клапан-пробку 9, чем обеспечит выход относительно большого потока ноздуха Из оболочки 1, так как пропускная способность отверстия 8 может оказаться низкой для начаЛьной стадии откачки. Затем клапан-пробка 9 вновь закрываетсяПо мере дальнейшего разрежения воздуха в процессе откачки столкновения его молекул ослабляются и затем практически прекращаются, а процесс выхода молекул воздуха из оболочки замедляется, чем удлиняется время откачки. При понижении давления ниже 1 гПа под воздействием автоэлектронной эмиссии внутри оболочки 1 возникает тихий разряд в виде светящейся розовой змейки, которая непрерывно утолщается и постепенно заполняет своим светом все поперечное сечение оболочки 1 по мере дальнейшего понижения давления н ней, что приводит к возникновению потока движущихся к катоду положительных ионов воздуха, так называемых "каналовых лучей . Этот поток принудительно, . под воздействием электрического поля источника 7, устремляется в полость посадочного гнезда 4 через отверстие 8 катода 5, быстро освобождая от воздуха полость оболочки 1, Иэ гнезда 4 воздух выкачивается насосом, а возврату воздуха из гнезда 4 в оболочку 1 препятствует клапан-пробка 9. По достижении давления менее0,1 Па свечение воздуха в оболочке 1 прекращается иэ-за большой его разреженности, но в результате анто электронной эмиссии с поверхности катода 5 контролируемая поверхность оболочки 1 подвергается воздействию электронного потока, при этом стекло оболочки 1 люминисцирует слабым желто-зеленым светом, При наличии микро- щели по шву 2 или вокруг электрода 3 в оболочку втекает струйка воздуха из окружающей внешнюю поверхность контролируемой оболочки атмосферы, которая под воздействием электронного потока ярко люминисцирует розовым светом вблизи микрощели, где концентрация втекающего воздуха наибольшая. Место натекания определяют по месту свечения.1280365 Составитель С.МалькевичТехред В. Кадар Корректор,И, Эрдейи ор Т.Парфено Тираж 778 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений113035, Москва, Ж, Рауш каз 7049 Подпискомитета ССи открытий е 4/ ая наб роектная,Производственно-пол ческое предприятие, г,ужгоро Автоэмиссионный катод 5 вводят в оболочку 1 таким образом, что сферическая поверхность шарового сегмента обращена к наиболее вероятным местам негерметичности контролируемой поверхности - сварному шву 2 и электроду 3, при этом радиус сферы, высота сегмента и высота .стойки 6 выбираются такими, чтобы линия от любой точки шва 2 и от любой точки контакта электрода 3 со стеклом оболочки 1 до ближайшей точки сферической поверхности катода 5 была перпендикулярна касательной в этой точке поверхности, так как электроны вылетают с поверхности катода 5 перпендикулярно касательной к ней в данной точке, и при таком условии имеет место оптимальное воздействие потока электронов на поверхность оболочки, обеспечива- ется максимальная чувствительность. Клапан-пробку 9 крепят на стойке 6 на такой высоте, при которой после установки оболочки 1 на посадочное гнездо 4 хвостовая часть оболочки 1 нажимает на клапан-пробку 9, слег,ка отгибая его, чем обеспечивается беззазорное разделение полостей ободочки и посадочного гнезда,В качестве пробного газа служитатмосферный воздух, что упрощает процесс контроля.Принудительное удаление молекулвоздуха из полости иэделия сокращаетвремя откачки до необходимого значения вакуума, что повышает производительность способа контроля герметичности полых изделий.10 Предлагаемый способ легко реализуется в условиях производства электровакуумных приборов с использованиемимеющегося оборудования при незначительной его доработке, например, на 15 конвейерной машине алюминирования,при этом простота и высокая производительность способа позволяют исполь зовать его в условиях поточного производства без снижения производитель ности производственного процесса.Формула изобретенияСпособ контроля герметичности полых изделий по авт.св, В 145256,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, 25 с целью повышения производительности,используют автоэмиссионный катод сотверстием, а вакуум при воздействиипотока электронов на контролируемуюповерхность создают через отверстие 30 в сферической поверхности катода.