Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

".ТЕЛЬСТ У АВТОРС ески кит во СС 196 СССР 198ни метиэиротения - позации. Наи 6 устаОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(57) Изобретение относитс ляторам, работающим в ге ванном объеме. Цель изобр вышение надежности гермет ружные гибкие диаФрагмы 5 новлены со смещением относительновнутренней гибкой диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметиэированного объема (камеры), образуякомпенсирующую герметичную полость,сообщенную каналом 8 с вакуумнойконтролирующей аппаратурой 9. Этопозволяет .снять концентрацию напряжений в узлах сопряжений диафрагм 5 и6 с упругодеформируемой трубой 1,а также создать раэряаение воздухав полости, компенсирующее перепаддавлений в рабочем и нерабочем пространствах манипулятора, воздейству-,ющих на гибкие диафрагмы. Контрольэа разряжением воздуха в полостипозволяет своевременно выявить возможную разгерметизацию манипуляторав случае усталостного разрушения одной нз наружных гибких диафрагм.3 илИзобретение относится к манипуляторам, работающим в герметиэированном объеме (камере), и может бытьиспользовано, например, в качествеманипулятора подложки электронографа.Целью изобретения является повышение надежности герметизации,На фиг. 1 показано предлагаемоеустройство, общий вид; на фиг, 2 -сечение А-Ана фиг. 1; на фиг. 3сечение Б-Б на фиг1; на фиг,испытательные механизмы; на фиг 5 -сечение В-В на фиг. 4,Манипулятор содержит упругодеформируемую трубу 1, которая одним концом связана с задающим генератором2 деформации, а другим - с ведомымвалом,(генератором) 3 и эакренленаодной внутренней 4 и двумя наружными5 и 6 гибкими диафрагмами, которыеустановлены со смещением относительно внутренней диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемойтрубой 1 и стенкой 7 герметизированного объема (камеры), образуя компенсирующую герметичную полость, подключенную каналом 8 к вакуумно-измерительной контролирующей аппаратуре.На стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры), со стороны органов управления манипулятора смонтировано и связано с концентрирующейгерметичной полостью через канал 8измерительно-сигнализирующее устройство 9. На внутренней диафрагме 4внутри упругодеформируемой трубы 1закреплен сильфон .10, к которому герметично приварен шток 11 поступательного движения в герметизированныйобъем (камеру).Привод задающего генератора 2 деформации состоит иэ подшипниковойопоры 12, закрепленной в корпусе 13,н приводного маховичка 14, Шток 11имеет воэможность перемещаться поступательно от винта 15 и при помощишпонки 16 предотвращает сильфон 10от скручивания.Исполнительный механизм состоитиз поворотного кронштейна 17 с подшипниковой опорой 18, смонтированной на кронштейне 19 подшипниковойопоры 20, в которой установлен объект21, рычага 22, соединенного с однойстороны при помощи шарнирного с.оединения и шарикоподшипника 23 со штоком.11, а с другой стороны - с объек Все устройство смонтировано на стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры),При вращательно-качательном движении объект 21 получает вращение 10 от задающего генератора 2 через упругодеформируемую трубу 1, закрепленную на одной внутренней 4 и двух наружных 5 диафрагмах, ведомый вал 3и кронштейн 17, а качание его осуществляется рычагом 22, связанным 15 через подшийник 23 со штоком 11 поступательного движения,При вращательно"поступательном движении объект 21 получает поступательное движение от кронштейна 7,связанного со штоком 11. При этомразрежение воздуха в компенсирующейгерметичной полости контролируетсяиэмерительно-сигнализирующим устройством 9, следящим: за необходимойстепенью разрежения в компенсирующейгерметичной полости и ее герметизацией,30 Разнесение одной внутренней идвух наружных гибких диафрагм друготносительно друга позволяет снятьконцентрацию напряжений в узлах сопряжения этих диафрагм с упругодеформируемой трубой и образовать герметичную полость между двумя наружнымигибкими диафрагмами, а также создатьразрежение воздуха в этой полости,компенсирующее перепад давлений врабочем и нерабочем пространствахманипулятора, воздействующих на гибкие диафрагмы герметиэирующего элемента.Контроль за разрежением воздуха45 в этой полости позволяет своевременно выявить возможную разгерметизациюманипулятора в случае усталостногоразрушения одной из наружных гибкихдиафрагм,50Формула изобр ет ения Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, по авт.св,У 2745 б 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности герметизации, он снабжен вакуумной контролирующей аппаратурой и 4922 3том 21, и (для варианта вращательнопоступательного движения) кронштейна 24 с закрепленным на нем объектом 21, подшипник 25 которого может перемещаться по пазу кронштейна 17.3 1274922 4двумя нарукными гибкими диафрагмами ванного объема, обраэуя при этом комрасполоаенньки параллельно друг другу, пенсирующую герметичную полость, соустановленными со смещением относи- общенную каналом, выполненным в стен- тельно гибкой диафрагмы упругодефор- ке герметиэированного объема, с вакумируемой трубы и герметично соединен-умной контролирующей аппарату - ныл с ней и со стенкой герметиэиро- рой. оставитель Т.Костиковаехред К.Ходанич Кор ктор И.Николайч 1 Подписи венного комитета СС тений и открытий -35, Рауаская наб.,аэ 6524/1 д. 4 иэводственно-полиграфнческое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Тирам 10 ВНИИПИ Государс по делам иэобр 13035, Москва,иг,5тор А. Зимоко