Устройство для измерения параметров диэлектриков

СООЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН . 27/ ий хвысо измемости етроР98 4 ь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Парватов Г.Н. и др. Свекочастотный метод контактногрения диэлектрической проници проводимости материалов,логия, 1976, У 9, с, 56-62.Авторское свидетельство С9 1166012, кл. С 01 К 27/26,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ДИЭЛЕКТРИКОВ(57) Изобретение относится к измерительной технике СВЧ-диапазона, Цельизобретения - упрощение измеренийпараметров диэлектриков с переменной толщиной. Устройство содержитгенератор 1 СВЧ, делитель 2 мощности,выполненный трехканальным, три изЯО 1264 лучателя (И) 3, 4 и 5, расположенные на общем металлическом фланце6 и соприкасающиеся с исследуемымдиэлектриком 7, два коммутатора (К)8 и 9, два управляемых фазовращателя(УФ) 10 и 11, циркулятор 12, детектор 13 и измеритель 14. В каждыймомент времени один из К 8 или 9 открывается, а другой закрывается.УФ 10 или 11, в который проходитсигнал через К 8 или 9, выставляеттакое значение фазового сдвига, прикотором сигнал с циркулятора 12 имеет максимальную амплитуду, фиксируемую измерителем 14, По известным значениям фазовых сдвигов, получаемыхза один цикл измерений, и по известным значениям расстояний между И 3,4 и 5 определяют с помощью системыуравнений искомые значения диэлектрической проницаемости исследуемогоматериала и изделия. Цель достигается введением И 5, К 8 и 9 и УФ 11,1 и, ( ,.Л 30 35 40 50 Изобретение относится к измерительной технике СВЧ-диапазона,Цель изобретения - упрощениеизмерений параметров диэлектриковс переменной толщиной,На чертеже изображена структурнаяэлектрическая схема устройства дляизмерения параметров диэлектриков.Устройство для измерения параметров диэлектриков содержит генератор1 СВЧ, соединенный с делителем 2мощности, первый 3, второй 4 и третий 5 излучатели, расположенные наобщем металлическом фланце 6 и соприкасающиеся с исследуемым диэлектриком 7. Расстояние между излуча 1телями 3 и 4 равно Г , а между излучателями 3 и 5 - 1 . В каналы излучателей 4 и 5 включены коммутаторы 8 и 9 и управляемые фазовращатели10 и 11, а в канал излучателя 3 включен циркулятор 12, соединенный через детектор 13 с измерителем 14,Устройство для измерения параметров диэлектриков работает следующимобразом,Сигнал непрерывной генерации сгенератора 1, поступая на делитель2, делится поровну между каналамиизлучателей 3-5. В первый моментвремени один из коммутаторов 8 илиа(или 11), в который проходит сигнал через коммутатор 8 (или 9), выставляется такое значение фазовогосдвига Ч, , при котором сигнал с циркулятора 12 имеет максимальную амплитуду, что фиксируется с помощьюизмерителя 14. Во второй момент времени положение коммутаторов 8 и 9меняется на обратное и по вышеизложенной методике определяется фазовый сдвиг 9Искомые значения диэлектрическойпроницаемости Е исследуемого материала и изделия определяются по известным значениям фазового сдвигаЧ, и У , получаемых за один циклизмерений,а по известным значениям1расстояний между излучателями 11и 1 из системы уравнений при расположении излучателей 3-5в лирейку в плоскости вектора Нполя возбуждающего излучателя. где- рабочая длина волны генератора 1.Для однозначности измерения необходима, чтобы где 1 - максимальное значение диБЛОХэлектрической проницаемости измеряемого диэлектрика 7.При использовании предлагаемого устройства отпадает необходимость в измерении толщины диэлектрика, что позволяет измерять его параметры в случаях, когда толщину диэлектрика измерить невозможно, а также в случае изменения его толщины в процессе измерения, например за счет уноса материала. Формула изобретения Устройство для измерения параметров диэлектриков, содержащее последовательно соединенные генератор СВЧ, делитель мощности, циркулятор и первый излучатель, последовательно соединенные детектор и измеритель, последовательно соединенные первый управляемый фазовращатель и второй излучатель, при этом вход детектора подсоединен к третьему плечу циркулятора,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения измерений параметров диэлектриков с переменной толщиной, делитель мощности выполнен трехканальным, к второму выходу делителя мощности последовательно подключены первый коммутатор, второй управляемый фазовращатель и тре1264108 4 первого управляемого фазовращателя введен второй коммутатор. тий излучатель, а между третьим выходом делителя мощности и входом Составитель Б.СкороходовТехред Л. Сердюкова Корректор Г.Решетникщ Редактор А.Ревин Тираж 728 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5