Способ измерения толщины покрытия

(51) В 15 ГОСУД ПОД РЕТ ТОРСКОМУ СВИ 4 - 2 РСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ(71) Научно-исследовательский институт электронной интроскопии при Томском политехническом институте им. С.М.Кирова(56) Р 1 оесЬ 3 .Н.Ра 1 пс СоаЫп 8 Ие 1 фг шеазпгешепГ ТесЬпхдпе Пзез Нцс 1 еаг Р 1 цогезсепсе. - Эгоп апй У 1 ее 1 Епя 1 пеег, 1968, 45, И, 145.Авторское свидетельство СССР 9 665208, кл, С 01 В 15/02, 199. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩЙНЫ ПОКРЫТИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытия. Цель изобретения - повышение точности измерения толщины покрытия переменносостава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия. Облучают изделие состороны покрытия и со стороны основания рентгеновским излучением одной энергии и регистрируют интенсивности (соответственно 1 и 1 ) рассеянного излучения. Определяют логарифм отношения интенсивностей 1 и 1 , величина которого зависитоот состава покрытия р,и от толщины покрытия ш. Измерение проводят последовательно в нескольких точках, фиксируют минимальную толщину логарифма отношения и определяют толщину покрытия по формуле ш =А 1 Ь 1 /1, где 1 - интенсивность рассеянногогв покрытии излучения; А - коэффициент пропорциональности, получаемыи от предварительно построенного графика, имеющего вид линейной функции.Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к орласти исследования материалов с помощью отраженного излучения, и предназначено для измерения толщины покрытия.Цель изобретения - повышение точности измерения толщины покрытия переменного состава путем исключения зависимости результатов измерения от состава покрытия.На чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого способа.Измерение толщины покрытия осуществляют следующим образом.Потоками рентгеновского излучения одной энергии рентгеновских источников 1 и 2 облучают контролируемое изцелие со стороны покрытия 3 и со стороны основания 4 . Со стороны источников излучения относительно контролируемого изделия регистрируют интенсивность рассеянного излучения детекторами 5 и 6 (1 и 1,). Между источником 1 излучения детектором 5 предварительно устанавливают защитный экран 7 толщиной, обеспечивающей защиту детектора 5 от прямого излучения источника 1 и от попадания квантов рассеянного в покрытии излучения в детектор 5. Защитный экран 8, такой же как и экран 7, обеспечивает зашиту детектора 6 от прямого излучения источника 2 и одинаковые условия измерения интенсивностей рассеянного излучения детекторами 5 и 6. Определяют логарифм отношения интенсивности рассеянного излучения 1 , регистрируемой детектором 5, и интенсивности рассеянного излучения 1 регистрируемой детектором 6, с помощью блока 9 и индицируют выходным прибором О1 а 1 ь 1 п - = 1 п(- -- -) = Р ш о где р - коэффициент ослабления материала покрытия для первойэнергии облучения Е;ш - толщина покрытия1Величина ).и -з завгсит от состава покрытия (, и от толщины покрытия (и.Указанное измерение проводят последовательно в нескольких точках контролируемого изделия и фиксируютКУ 25 где р, - коэффициент ослабления материалом покрытия излучения энергии ЕК - функция рассеяния, не зависящая от энергии облучения,Умножают величину интенсивности 1 на логарифм отношения величин ингтенсивностей, зарегистрированных детекторами 5 и 6 при начальной энер-. гии облучения Е: 30 1, К ш1 п -1 40 и определяют толщину покрытия по ФормулеЛ") ш = А 1 1 п -д.1г 1 ф- коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенногографика, который имеетвид линейной функции,где А 50 формула изобретения С по соб измерения толщины покрытия, заключающийся в том, что контро минимальную величину логарифма отношения. По предварительно снятомуграфику зависимости энергии облучения Е, для которой толщина покрытияявляется насыщенным слоем, от1 оопределяют энергию облучения ЕгУстанавливают на рентгеновском источнике 1 напряжение питания, обес- (О печивающее энергию облучения второй энергией Е , облучают потокомрентгеновского излучения этой энергии контролируемое изделие со стороны покрытия 3. Регистрируют интен- ( сивность 1 рассеянного в покрытиигизлучения детектором 5, для чегоэкран 7 устанавливают в положение,обеспечивающее показание квантоврассеянного в покрытии излучения вдетектор 5, а коммутатор 1 - в положение, обеспечивающее поступлениесигнала с детектора 5 на выходнойпоказывающий прибор 2124588 рируют интенсивность рассеянного излучения и определяют толщину покрытия ш по формуле А. 1 п 1 оУ где А7 В.Парна остави рректор В.Бутяга Техред М.Хо Редактор А,Козо Тираж 670 П Государственного комитета о делам изобретений и открытМосква, Ж, Раушская наб аказ 3985/31 ис СР ВНИИПИ и 3035жгород, ул.Проект оизводственно-полиграфичЕское предприяти лируемое изцелие облучают пучкомрентгеновского излучения, регистрируют интенсивность рассеянного излучения от основания без покрытия иинтенсивность рассеянного излучения от основания с покрытием, находят их отношение и определяют толщину покрытия, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышенияточности измерения толщины покрытия 1 Опеременного состава, по величине найденного отношения интенсивностейрассеянного излучения определяютэнергию, для которой толщина покрытия является насыщенным слоем, пучком рентгеновского излучения указанной энергии облучают контролируемоеизделие со стороны покрытия, регисткоэффициент пропорциональностиинтенсивность рассеянного в покрытии излучения приопределенной энергии пучкарентгеновского излучения;интенсивности рассеянногоизлучения пучка рентгеновского излучения от основания без покрытия и с покрытием,